База ГОСТовallgosts.ru » 01. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ. ТЕРМИНОЛОГИЯ. СТАНДАРТИЗАЦИЯ. ДОКУМЕНТАЦИЯ » 01.040. Словари

ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения

Обозначение: ГОСТ 5197-85
Наименование: Вакуумная техника. Термины и определения
Статус: Действует
Дата введения: 06/30/1986
Дата отмены: -
Заменен на: -
Код ОКС: 01.040.23, 23.160
Скачать PDF: ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения.pdf
Скачать Word:ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения.doc

Текст ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения



ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

СОЮЗА ССР

ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА

ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ

ГОСТ 5197-85

(СТ СЭВ 4751-84, СТ СЭВ 4839-84, СТ СЭВ 4840-84)

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ

Москва

УДК 001.4:533.5:006.354    Группа ТОО

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА

Термины и определения

Vacuum technology. Terms and definitions

ГОСТ

5197-85

tCT СЭВ 4751—84, CT СЭВ 4839—84, СТ СЭВ 4840—84)

ОКСТУ 6360

Взамен

ГОСТ 5197—70

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27 ноября 1985 г. № 3743 срок введения установлен

Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области вакуумной техники.

Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу действия стандартизации или использующих результаты этой деятельности.

Настоящий стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 4840—84.

Стандарт соответствует СТ СЭВ 4751—84, СТ СЭВ 4839—84 в части, указанной в справочном приложении 2.

Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин.

Применение терминов — синонимов стандартизованного термина не допускается.

Приведенные определения можно при необходимости изменять. вводя в них производные признаки, раскрывая значение используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в данном стандарте.

В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приведено и в графе «Определение» поставлен прочерк.

В стандарте в качестве справочных приведены иноязычные эквиваленты стандартизованных терминов на немецком (D), английском (Е), французском (F) языках.

с 01.07.86

Издание официальное

Перепечатка воспрещена

(6) Издательство стандартов, 1986

В стандарте имеется справочное приложение терминов общетехнических понятий, применяемых в вакуумной технике.

В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и иноязычных эквивалентов. Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом.

Термин

Определение

1.    Вакуум

D.    Vakuum

E.    Vacuum

F.    Vide

2.    Вакуумная техника

D.    Vakuumtechnik

E.    Vacuum technology

F.    Technique du vide

3.    Степень вакуума

D.    Vakuumbereiche

E.    Ranges of vacuum

F.    Domaines de vide

4. Вакуумное масло

D.    Vakuumpumpenol

E.    Vacuum pump oil

F.    Huiie de pompe a vide primaire

ОЕЩИЕ понятия

I Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного

Техника получения, поддержания вакуума и проведения вакуумных измерений

Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса

Примечание. Принимают следующие интервалы давлений: от 100 кПа до 100 Па — для низкого вакуума;

от 100 Па до 0,1 Па — для среднего вакуума;

от 0,1 Па до Ю мкПа — для высокого вакуума;

ниже Ю мкПа — для сверхвысокого вакуума

Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения в вакуумных насосах

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ

5. Вакуумная система

D.    Vakuumsystem

E.    Vacuum system

F.    Systeme a vide

Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов

Термин

Определение

6 Вакуумная установка

D Vakuumanlage Е Vacuum plant F Installation de vide

Установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие

7 Вакуумный агрегат

D Vakuumemheit E Vacuum unit F Unite а л ide

Вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое

8 Откачной пост

D Pumpstand E Pumping station F Stand de pompage

Вакуумная установка, предназначенная для откачки, наполнения и тренировки изделий

9    Откачиваемый вакуумный сосуд

D Vakuumkamer E Pumped container F Enceinte pompee

10    Элемент вакуумной системы

D Vakuumsystemselement E Element of \ acuum system F Element du s^steme a vide

Сосу а, в котором создается вакуум

11 Вакуумный насос

D Vakuumpumpe E Vacuum pump F Pompe a vide

Устройство, предна шаченное для создания, повышения и поддержания вакуума

12    Вакуумная ловушка

D Falle E Trap R Piege

13    Вакуумный клапан

D Vakuumventil E Vacuum \ al\e F Soupape de \ide

14    Вакуумный затвор

D Vakuumschlensenxentil E Vacuum gate valve F Vanne-ecluse

Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения проникновения паров 1И газов из одной части вакуумной системы в другую или для снижения их парциального давления

Элемент вакуумной системы, позволяющий регулировать или полностью перекрывать поступление газа в вакуумную систему

Вакуумный клапан, позволяющий coej динять и разобщать элементы вакуумной системы

15 Напускной вакуумный клапан

D Beluftungsv akuum-ventil

E Admittance vacuum valve

F Robinet d’entree d’air

Вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему

2 Зак 3687

Термин

Определение

16 Вакуумный натекатель

D Nadelvakuumventil Е Air admittance vacuum \ ah е

F Robinet a aiguille

Напускной вакуумный клапан, предназначенный для напуска малых потоков газа и их регулировки

17 Вакуумный ввод

D Vakuumdurohfuhrung E Vacuum feedthrough F Passage du vide

Элемент вакуумной системы, служащий для передачи в откачиваемый вакуумный сосуд механической или электрической энергии без нарушения вакуума

18 Вакуумный трубопровод

D Vakuumrohrleitung E Vacuum pipework F Conduite a \ide

Элемент вакуумной системы, представляющий собой трубопровод, по которому перемещается газ

19 Форвакуумный трубопровод

D Vorpumpenrohrleitung E Backing line F Conduite a vide preh-minaire

Вакуумный трубопровод, служащий для присоединения к форвакуумному насосу

20 Байпасный трубопровод

D Umwegleitung E Bypass line F Conduite by-pass

Вакуумный трубопровод, предназначенный для откачки сосуда, минуя высоковакуумный насос

21 Вакуумное защитное устройство

D Vakuumsicherheitsvor-ricihtung

E Vacuum protective device

F Dispositif de securite

Элемент вакуумной системы, предназначенный для быстрого разобщения участка вакуумной системы, где произошел прорыв атмосферного воздуха, и остальной ее части

22 Уравнительный вакуумный баллон

D Druckausgleichskolben E Equal vessel F Ballon d’equilibrage de pression

Элемент вакуумной системы, предназначенный для выравнивания колебаний давления в ней

ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

23 Низковакуумный насос

D Grobvakuumpumpe Е Rough vacuum pump F Pompe a vide piimaire

Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме, начиная от атмосферного, и создающий давление, лежащее в интервале* характерном для низкого вакуума

Термин

Определение

24 Высоковакуумный насос

D Endvakuumpumpe Е High \ acuum pump F Pompe a \ ide secon-daire

Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов

25 Форвакуумный насос

D Vorv akuumpumpe E Backing vacuum pump F Pompe primaire pour le vide

Вакуумный насос предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки

26 Бустерный вакуумный насос

D Booster\ akuumpumpe E Booster \ acuum pump F Pompe a \ ide intermedia ire

Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением фор-вакуумного насоса

27 Вакуумный насос предварительного разрежения

D Vor\akuumpumpe E Roughing \ acuum pump F„ Pompe prehmmaire pour le vide

Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работ у другой вакуумный насос или система насосов

ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

28 Газоперекачивающий вакуумный насос

D Gastransferv akuumpumpe Е Pump for gas transpor ting

F. Pompe a vide du transport gazeus

Вакуумный насос, в котором перемеще-ние газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата i аза или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля

29 Механический вакуумный насос

D Rotationsv akuumpumpe E Vacuum mechanical pump F Pompe mecanique a vide

Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса

30 Вакуумный насос объемного действия

D Verdrangerv akuumpumpe E Positive displacement vacuum pump

F Pompe a vide volumetri-que

Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу

Термин

Определение

31 Поршневой вакуумный на сос

D Hubkolbem akuumpumpe Е Piston vacuum pump F Pompe a \ide a piston alternatif

Вакуумный насос объемного деист вияг в котором сжатие и выброс i аза происходят в результате возвратно поступательного движения поршня

32 Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением

D Ulgediehtete (flussigkeits gedichtcle) Vakuumpumpe E Oil sealed (liquid sealed) vacuum pump F Pompe a \ide a bain d huile (a bain de liquid?)

Вакуумный насос объемною действия, в котором для заполнения шзоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного прост ранства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость

33 Газобалластный вакуумный насос

D Gasballastvakuumpumpe E Gas ballast \ acuum pump

F Pompe a vide a injection de gaz

Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе

34 Вакуумный насос с сухим уплотнителем

D Trockenlaufende Vakuumpumpe

Е Dry sealed vacuum pump F Pompe a \ide seche

Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкости oi о) уплотнения

35 Вращательный вакуумный насос

D Rotatins\ erdrangerv akuum pumpe

E Rotary vacuum pump F Pompe a vide tournant

Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора

36 Пластинчато-роторный вакуумный насос

D Drehschiebervakuumpumpe E Sliding vane rotary vacuum pump

F Pompe a vide a palettes

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом

Термин

Определение

37 Пластинчато-статорный вакуумный насос

D Drehkolbem akuumpumpe Е Rotary piston vacuum pump

F Pompe a \ ide a piston tournant

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращае гея, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом

38 Плунжерный вакуумный насос

D Sperrschiebervakuumpumpe E Rotary plunger vacuum pump

F Pompe a \ide a piston oscillant

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полост и с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора

39 Жидкостно-кольцевой вакуумный насос

D Flussigkeitsrmgvakuum pumpe

E Liquid ring vacuum pump F Pompe a vide a anneau liquide

Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке стал ора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом

40 Двухроторный вакуумный насос

D Walzkolbenvakuumpumpe E Roots \acuum pump F Depresseur roots

Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях

41 Трохоидный вакуумный насос

D Kreiskolbenvakuumpumpe E Trochoid pump F Pompe trochoide

Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды

42 Кинетический вакуумный насос

D Kinetische Vakuumpumpe E Kinetic vacuum pump F Pompe a \ide cinetique

Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса

43 Вакуумный турбонасос

D Turbov akuumpumpe E Turbine vacuum pump F Depresseur a turbine

Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей

Термин

Определение

44 Осевой вакуумный турбонасос

D Axiahsche Turbovakuum-pumpe

Е Axial flow turbine vacuum pump F Depresseur a turbine a flux axial

Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения

45 Центробежный вакуумный турбонасос

D Radialische Turbovakuum-pumpe

E Radial flow turbine a acuum pump

F Depresseur a turbine a flux radial

Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении

46 Струйный вакуумный насос

D Treibmittelvakuumpumpe E Jet kinetic vacuum pump F Pompe a \ ide a jet cinetique

Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа

47 Жидкостно-струйный вакуумный насос

D Flussigkeitsstrahh akuum pumpe

E Liquid jet \ acuum pump F Pompe a vide a anneau liquide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости

48 Газоструйный вакуумный насос

D Gasstrahlvakuumpumpe E Gas jet vacuum pump F Ejecteur a gaz pour le vide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа

49 Пароструйный вакуумный насос

D Dampfstrahlvakuumpumpe E Vapour jet vacuum pump F Ejecteur a \ apeur pour le vide

Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара

50 Эжекторный вакуумный насос

D Treibmittelstrachh aku-umpumpe

E Ejector \ acuum pump F Pompe a vide a ejecteur

Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей

Термин

Определение

51 Диффузионный вакуумный насос

D Diffusionsvakuumpumpe Е Diffusion pump F Рошре a diffusion

Пароструйный высоковакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю

52 Диффузионно-эжекторный вакуумный насос

D Diffusionsjekterpumpe Е Diffusion ejector pump F Pompe a diffusion et a ejecteur

Пароструйный вакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю и турбулентно вязкостного захвата газа струей

53 Самоочищающийся диффузионный вакуумный насос

D Selbstreinigende Oldiffu-sionspumpe

Е Se]f purifying diffusion pump

F Pompe a diffusion auto rectifiante

Диффузионный вакуумный насос специальной конструкции, в котором летучие примеси не возвращаются в кипятильник, а направляются к выходу

54 Фракционный диффузионный вакуумный насос

D Fraktionierende Oldiffu-sionspumpe

Е Fractionating diffusion pump

F Pompe a diffusion fracti-onnante

Диффузионный вакуумный насос, в котором откачка газа из ступени самого низкого давления осуществляется более плотными компонентами рабочего вещества, представляющими собой струю пара низкого давление, а откачка из ступеней более высокого давления —. менее плотными компонентами с более высоким давлением пара

55 Ионный вакуумный насос

D lonentransferpumpe Е Ion transfer vacuum pump F Pompe a ionisation a vide

Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля

ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

56 Газоулавливающий вакуумный насос

D Gasbindende Vakuumpum-ре

Е Entrapment vacuum pump F Pompe a vide a fixation

Вакуумный насос, в котором используется принцип сорбции или конденсации молекул газа на внутренних поверхностях насоса

57 Сорбционный вакуумный насос

D Sorptionspumpe Е Sorption vacuum pump F Pompe a vide a sorption

Газоулавливающий вакуумный насос, a котором откачка происходит вследствие сорбции газа

Термин

Определение

58 Адсорбционный вакуумный насос

D Adsorptionspumpe Е Adsorption vacuum pump F Pompe a vide a physi-sorption

Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре

59 Геттерный вакуумный насос

D Getten akuumpumpe E Getter \ acuum pump F Pompe a \ ide a sorbeur

Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером

60 Испарительный геттерный вакуумный насос

D Sublimations getter vaku-umpumpe

E Sublimation vacuum pump F Pompe a vide a sublimation a sorbeur

Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера

61 Геттерно-ионный вакуумный насос

D Ionengetterv akuumpumpe E Getter ion vacuum pump F Pompe a vide lonique a sorbeur

Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера

62 Испарительно-ионный вакуумный насос

D Ionenverdampfervakuum-pumpe

E Sublimation ion vacuum pump

F Pompe a vide lonique a sublimation

Геттерно ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодичес кого испарения

63 Магнитный электроразряд-ный вакуумный насос

D lonenzerstauberpumpe Е Sputter ion pump F Pompe lonique a pulverisation

Геттерно ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле

64 Конденсационный вакуумный насос

D Kondensationspumpe E Condenserpump F Pompe condenser

Г азоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях

65 Вакуумный крионасос

D Kryovakuumpumpe E Cryopump F Pompe cryostatique

Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур

Тс рм ия

Опрсделс гше

66 Комбинированный вакуумный насос

D Vakuumpumpkombmation Е Combined vacuum pump Г Pompe a \ide combinee

Комбинации геттерного вакуумного насоса, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных а одном корпусе

ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК

67 Конденсационная вакуумная ловушка

D Kublfaile Е Cold trap F Piege refroidi

Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газон на внутренних охлаждаемых поверхностях

68 Сорбционная вакуумная ловушка

D Sorptionsfalle E Sorption trap F Piege a sorption

Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого сорбента

69 Ионная вакуумная ловушка

D Iomsierungsfalle E Ion trap F Piege lomque

Вакуумная ловушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов из газовой смеси используется их ионизация

ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

70 Быстрота откачки

D Saug\ermogen Е Pumping rate F Debit volumetrujue

Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении

71 Быстрота действия вакуумного насоса

D Pfurderleichtung E Volume flow rate of vacuum pump

F Debit \olurne d’une pompe a \ide

Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе

72 Наибольшее давление запуска вакуумного насоса

D Startdruck Е Starting pressure F Pression d’amorcage

Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать

3 Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса

D Maximal zulassiger Vor-\akuumdruck

E Maximum backing pressure F Pression maximale de refoulement

Наибольшее давление в выходном се-» чении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку

Термин

Определение

74. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса

D.    Maximaler Arbeitsdruck

E.    Maximum working pressure

F.    Pression maximale de fonctiounement

Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия

75. Предельное остаточное давление вакуумного насоса

D.    Enddruck einer Vakuum-pumpe

E.    Ultimate pressure of vacuum pump

F.    Pression limite d’une pom-pe a vide

Давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе

76. Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды

D.    Maximal zulassiger Mas-sendurchfluB fur Wasser-dampf

E.    Maximum rate of handling water vapour

F.    Capacite de poinpage de vapeur d'eau admissible

Наибольшее количество паров воды в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластным вакуумным насосом при длительной работе в нормальных климатических условиях

77. Наибольшее допустимое давление паров воды

D.    Wasserdampvertraglich-keit

E.    Maximum tolerable water vapour inlet pressure

F.    Pression maximale tolerable d’aspiration de vapeur d’eau

Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях

78. Степень сжатия вакуумного насоса

D.    Kompressionsverhaltnis

E.    Compression ratio

F.    Taux de compression

Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия

ВАКУУММЕТРЫ

79. Вакуумметр

D.    Vakuummeter

E.    Vacuummeter

F.    Manometre a vide

По ГОСТ 8.271—77

Термин

Определение

80 Абсолютный вакуумметр

D Absolutes Vakuummeter Е Absolute л acuum gauge F Manometre absolu

Вакуумметр, чувствительность которого одинакова для в^ех газов и может быть рассчитана по измеряемым фиш чески и величинам

81 Дифференциальный вакуумметр

D Differenzdruck\ akuum-meter

E Differential vacuum gauge

E Manometre differentiel

Вакуумметр для измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента

82 Измерительный преобразователь давления

D Druckmessunformer E Gauge pressure transducer F Transducteur de mesure pression

По ГОСТ 8 271—77

83 Измерительный блок вакуумметра

D Betnebs und Anzeigerat ernes Vakuumefigerates E Gauge control unit F Coffret d’alimentation et de mesure

Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы вакуумметра

84 Отсчетное устройство вакуумметра

D Anzeigegerat ernes V akuummefigerates E Gauge indicating unit F Dispositif indicateur

Часть измерительного блока вакуумметра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины

85 Вакуумметр полного давления

D Totaldruckvakuummeter E Total pressure \acuum gauge

F Manometre de pression totale

Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси

86 Жидкостный вакуумметр

D Flussigkeitsvakuummeter E Liquid level manometer F Manometre a liquide

Вакуумметр полного давления, действие которого основано иа уравновешивании измеряемого давления или разности дав* лений давлением столба жидкости

87 U-образный вакуумметр

D D-Ieitung Vakuummeter E U-tube vacuum gauge F \vec unetube en U manometre

Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости

Термин

Определение

88 Компрессионный вакуумметр

D Kompressionsv akuum meter

Е Compression gauge F Manometre a compression

Жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предварительному сжатию

89 Деформационный вакуумметр

D Federelastisches Vaku ummeter

E Elastic element gauge F Manometre a deformation

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления

ВО Мембранный вакуумметр

D Membranv akuummeter E Diaphragm gauge F Manometre a membrane

Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка

91 Грузопоршневый вакуумметр

D Druckwaage E Pressure balance F Manometre a piston

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения

92 Вязкостный вакуумметр

D Reibungsvakuummeter E Viscosity gauge F Manometre a viscosite

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от измеряемого давления

93 Тепловой вакуумметр

D Warmeleitungsvakuummeter

E Thermal conductivity gauge

F Manometre a conduction thernnque

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теп лопроводности разреженного газа от давления

94 Термопарный вакуумметр

D Thermokreuz E Thermocouple gauge F Manometre a thermo^ couple

Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость эдс термопары от измеряемого давления

95 Вакуумметр сопротивления

D Thermistor Vakuummeter E Thermistor gauge F Manometre a thermistance

Тепловой вакуумметр, действие которо го основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа

Термин

Определение

96 Термомолекулярный вакуумметр

D Molekularvakuummeter Е Thermo-molecular gauge F Manometre thermomolecu-laire

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувстви тельному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверх ностей, имеющих различную температуру

97 Ионизационный вакуумметр

D Iomsations\ akuummeter E Ionisation \acuum gauge F Manometre a ionisation

Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ион но го тока, образованного в газе в результа те ионизации молекул разреженного газа, от давления

98 Радиоизотопный ионизационный вакуумметр

D Iomsationsvakuummeter nut radioaktiver Strahl-ungsquelle

b Radioacti\e ionization gauge

F Manometre a source ra-dioactne

Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников

99 Магнитный электроразряд-ный вакуумметр

D Ionenzerstaubervakuum-meter

E Sputter ion gauge F Manometre lomque a pulverisation

Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном по ле от измеряемого давления

100 Вакуумметр Пеннинга

D Pennmg\ akuummeter E Penning gauge F Manometre de Penning

Магнитный электроразрядный ваку> м-метр, преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами

101 Электронный ионизационный вакуумметр

D Elektronenionisations Vakuummeter

E Electronic type ionization \ acuum

F Manometre a ionisation a faisceau electromque

Ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого ионизация газа осуще ствляется электронами, ускоряемыми электрическим полем

102 Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором

D Elektroneniomsations Vakuummeter nut Axialkollek-tor

E Twin wire oscillator gauge

F Manometre a electrons oscillants

Электронный ионизационным вакуумметр, в котором фоновое давление уменьшено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки

Термин

Определение

103. Экстракторный вакуумметр

D.    Ionisationsvakuummeter mit Extraktor—System

E.    Extractor gauge

F.    Manometre a extracteur

Электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации

104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем

D.    Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode

E.    Cold cathode magnetron gauge

F.    Manometre magnetron a cathode froide

Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное поле используется для удлинения траектории электронов и увеличения числа образованных ионов

105. Индикатор с разрядной трубкой

D.    Hochfrequenzvakuumprufer

E.    Discharge tube indicator

F.    Tube temoin

Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа

106. Вакуумметр парциального давления

D.    Partialdruckv'akuummeter

E.    Partial pressure vacuum gauge

F.    Analyseur de pressions partielles

Вакуумметр для измерения давления* которое оказывал бы ояин из газов, входящих в газовую смесь, если из нее удалить остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры.

Примечание. Обычно это масс-спектрометры, не имеющие собственной откачной системы

107. Масс-спектрометр

D.    Massenspektrometer

E.    Mass spectrometer

F.    Spectrometre de masse

По ГОСТ 15624—75

ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ

108. Диапазон измерений

D.    Meftbereich

E.    Pressure range

F.    Etendue de mesurage

По ГОСТ 16263—70.

Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота.

Термин

Определение

109. Чувствительность

D.    Empfindlichkeit

E.    Sensitivity

F.    Sensibilite

По ГОСТ 16263—70.

Примечание. Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота

110. Относительная чувствительность вакуумметра

D.    Relative Vakuummeter-empfindlicnkeit

E.    Relative sensitivity factor

F.    Facteur de sensibilite relative

Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при 'том же давлении и идентичных условиях измерения

111. Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра

D.    Vakuummeterkonstante eines Ionisationsvakuum-meters

E.    Ionization gauge coefficient

F.    Coefficient d*un manometre a ionisation

Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления

112. Эквивалентное азотное давление

D.    Stickstoffaqulvalent-druck

E.    Equivalent nitrogen pressure

F.    Pression equivalente d’ azote

Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом

113. Фоновое давление вакуумметра

D.    Untergrunddruck

E.    Background pressure

F.    Pression residuelle

Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ

Агрегат вакуумный

Баллон вакуумный уравнительный

Блок вакуумметра измерительный

Быстрота действия вакуумного насоса

Быстрота откачки

Вакуум

Вакуумметр

Вакуумметр абсолютный

Вакуумметр вязкостный

Вакуумметр грузопоршневой

Вакуумметр деформационный

Вакуумметр дифференциальный

Вакуумметр жидкостный

Вакуумметр ионизационный

Вакуумметр ионизационный радиоизотопный

Вакуумметр ионизационный электронный

Вакуумметр ионизационный электронный с магнитным полем Вакуумметр ионизационный электронный с осевым коллектором

Вакуумметр компрессионный

Вакуумметр магнитный электроразрядный

Вакуумметр мембранный

Вакуумметр парциального давления

Вакуумметр Пеннинга

Вакуумметр полного давления

Вакуумметр сопротивления

Вакуумметр тепловой

Вакуумметр термомолекулярный

Вакуумметр термопарный

Вакуумметр U-образный

Вакуумметр экстракторный

Ввод вакуумный

Давление вакуумметра фоновое

Давление вакуумного насоса выпускное наибольшее

Давление вакуумного насоса предельное остаточное

Давление запуска вакуумного насоса наибольшее

Давление вакуумного насоса наибольшее рабочее

Давление паров воды наибольшее допустимое

Давление эквивалентное азотное

Диапазон измерений

Затвор вакуумный

Индикатор с разрядной трубкой

Клапан вакуумный

Клапан вакуумный напускной

Крионасос вакуумный

Ловушка вакуумная

Ловушка вакуумная ионная

Ловушка вакуумная конденсационная

Ловушка вакуумная сорбционная

Масло вакуумное

Масс-спектрометр

Насос вакуумный

Насос вакуумный адсорбционный

Насос вакуумный бустерный

Насос вакуумный вращательный

7

22

83

71 70

1

79

80

92 91

89 81 80

97

98 101

104

102

88

99

90 106 100

86

95

93

96

94 87

103

17

113

73 75

72

74 77

112

108

14

105 13

15 65 12 69

67

68 4

107

И

58

26

35

Насос вакуумный газобалластный    33

Насос вакуумный газоперекачивающий    28

Насос вакуумный газоструйный    43

Насос вакуумный газоулавливающий    36

Насос вакуумный геттерный    39

Насос вакуумный геттерный испарительный    60

Насос вакуумный геттерно-ионный    01

Насос вакуумный двухроторный    49

Насос вакуумный диффузионный    31

Насос вакуумный диффузионно-эжекторный    52

Насос вакуумный диффузионный самоочищающийся    53

Насос вакуумный диффузионный фракционный    34

Насос вакуумный жидкостно-кольцевой    39

Насос вакуумный жидкостно-струйный    47

Насос вакуумный ионный    35

Насос вакуумный испарительно-ионный    62

Насос вакуумный кинетический    42

Насос вакуумный комбинированный    66

Насос вакуумный конденсационный    64

Насос вакуумный магнитный электроразрядный    63

Насос вакуумный механический    29

Насос вакуумный объемного действия    30

Насос вакуумный пароструйный    49

Насос вакуумный пластинчато-роторный    36

Насос вакуумный пластинчато-статорный    37

Насос вакуумный плунжерный    38

Насос вакуумный поршневой    31

Насос вакуумный предварительного    разрежения    27

Насос вакуумный с масляным    (жидкостным) уплотнением    32

Насос вакуумный с сухим уплотнением    34

Насос вакуумный сорбционный    57

Насос вакуумный струйный    46

Насос вакуумный трохоидный    41

Насос вакуумный эжекторный    50

Насос высоковакуумный    24

Насос низковакуумный    23

Насос форвакуумный    25

Натекатель вакуумный    16

Преобразователь давления измерительный    82

Производительность вакуумного насоса по парам воды

наибольшая    76

Пост откачной    8

Система вакуумная

Сосуд откачиваемый вакуумный    9

Степень вакуума    3

Степень сжатия вакуумного насоса    78

Техника вакуумная    2

Трубопровод байпасный    20

Трубопровод вакуумный    18

Трубопровод форвакуумный    19

Турбонасос вакуумный    43

Турбонасос вакуумный осевой    44

Турбонасос вакуумный центробежный    45

Установка вакуумная    6

Устройство вакуумметра отсчетное    84

Устройство защитное вакуумное    21

Чувствительность    1 од

Чувствительность вакуумметра относительная    110

Чувствительность ионизационного вакуумметра    приведенная    111

Элемент вакуумной системы    10

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ

Absolutes Vakuummeter Adsorptionspumpe

Anzeigegerat ernes VakuummeSgerates Axiahsche Turbo\ akuumpumpe Beluftungsvakuurm entil

Betriebs und Anzeigegerat ernes Vakuummefigerates

Booster\ akuump шире

Dampfstrahh akuumpumpe

Diffeienzdruc! \ akuummcter

Diffusionsjekterpumpe

Diffusionsvakuumpumpe

Drehkolben\ akuumpumpe

Drehschieben akuumpumpe

Druckausgleichskolben

Druckmessunformer

Druckwaage

Elektronemonisations Vakuummeter

Elektronemonisations Vakuummeter mit Axialkollektor

Empfmdlichkeit

Enddruck einer Vdvuumpumpe

End\ akuumpumpe

Falle

Federelastisches Vakuummeter

Fliissigkeitsrmg\ akuumpumpe

Flussigkeitsstrahlvakuumpumpe

Flussigkeitsvakuummeter

Fraktiomerende Oldiffusionspumpe

Gasballastvakuumpumpe

Gasbindende Vakuumpumpe

Gasstrahlvakuumpumpe

Gastransfervakuumpumpe

Getten akuumpumpe

Grobvakuumpumpe

Hochfrequenz\ akuumprufer

Hubkolbenvakuumpumpe

lonengettervakuumpumpe

lonentransferpumpe

lonenverdampfen akuumpumpe

lonenzerstauberpumpe

lonenzerstaubervakuummeter

lonisationsvakuummeter

lonisahons\ akuummeter mit Exiraktor System

lonisationsvakuummeter mit radioaktner Strahlungsquelle

Iomsierungsfalle

Kmet ische Vakuumpumpe

Kompressionsvakuummeter

Kompressions\ erhaltms

Kondensationspurnpe

Kreiskolbenvakuumpumpe

80

58 84 44 15 83 26 49 81

52 51 37 36 22 82 91

101

102

109

75

24

12

89

39

47

86

54

33

56

48 28

59 23

105

31

61

53 62

63 99

97 103

98 69 42 88 78

64 41

Kryovakuumpumpe    65

Kuhlfalle    67

Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode    ИМ

Massenspekirometer    107

Maximal zulassiger Massendurchflufi fur Wasserdanipf    76

Maximal zulassiger Vorvakuumdruck    73

Maximaler Arbeitsdruck    74

Membram akuummeter    90

Meftbereich    108

Molekularv akuummeter    96

14 adeh akuumventil    16

Olgedichtete (flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe    32

Partialdruckvakuummeter    106

Pen nmgv akuummeter    100

Pfui dcrleichtimg    71

Pumpstand    8

Radiahsche Turbovakuumpumpe    45

Reibuugs\ akuummeter    92

Relati\e Vakuummeterempfundhchkeit    110

Rotabonsvakmjxupiimpe    29

Rotationsverdrangervakuumpumpe    35

S a u g\ ermo ge n    70

Selbstreimgende Oldiffusionspumpe    53

Sorptionsfalle    68

Sorptionspumpe    57

Sperrschieber vakuumpumpe    38

Startdruck    72

Stiekstoffaqui\ alentdruck    112

Subhmationsgettervakuumpumpe    60

Tliermistor Vakuummeter    95

Thermokreuz    94

Totaldruckv akuummeter    85

Treibmiltelstrachlvakuumpumpe    50

Treibnuttelvakuumpumpe    46

1 rockenlaufende Vakuumpumpe    34

T urbox akuutnpumpe    43

U leitung Vakuummeter    87

Umwegleitung    20

Uniergrunddruck    113

V akuum    1

Vakuumanlage    6

Vakuumbereiche    3

Vakuumdurchfuhrung    17

Vakuumemheit    7

Vakuumkamer    9

Vakuummeter    79

Vakuummetei konstante ernes lomsationsvakuumnieters    111

Vakuumpumpe    11

Vakuumpumpenol    4

Vakuumpumpkombination    66

Vakuumrohrleitung    jg

Vaknumschlensenventi]    14

Vakuumsicherheitsvorrichtung    21

Vakuums^stem    5

Vakuumsystemselement    Ю

Vakuumtechnik    2

VaKuumventil    13

Verdrangen akuuinpumpe    30

Vorpumpenrohrleitung    19

Vorv akuumpumpe    25, 27

Wa[zkolbenv akuumpumpe    40

Warmeleitungsv akuummetei    93

Wusscrdumph ei ti uglichkeit    77

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ

Absolute vacuum gauge    80

Admittance л асцит valve    15

Adsorption \acuum pump    58

Air admittance vacuum \aJ\e    36

Axial How turbine \ acuum pump    44

Background pie^uie    113

Backing line    19

Backing \ acuum pump    25

Booster x acuum pump    26

pass line    20

Cold cathode magnetron gauge    104

Cold trap    67

Combined л acuum pump    66

Compression gauge    88

Compression ratio    78

Condenser pump    64

Cr>opump    65

Di aphragm ga uge    90

Differential vacuum gauge    81

Diffusion ejector pump    52

Diffusion pump    51

Discharge tube indicator    105

Dry sealed \ acuum pump    34

Ejector vacuum pump    50

Elastic element gauge    89

Electronic type ionization \ acuum    101

Element of x acuum system    10

Entrapment x acuum pump    56

Equal vessel    22

Equivalent nitrogen pressure    112

Extractor gauge    103

Fractionating diifuston pump    54

Gas ballast vacuum pump    33

Gas jet vacuum pump    48

Gauge control unit    83

Gauge indicating unit    84

Gauge pressure tiansducer    82

Getter ion vacuum pump    61

Getter vacuum pump    59

High vacuum pump    24

Ion transfer vacuum pump    55

Ion trap    69

Ionization gauge coefficient    111

Ionization vacuum gauge    97

Jet kinetic vacuum pump    46

Kmet с \ acuum pump    42

Liquid jet \acuum pump    47

Ljqujd ]ел el manometer    86

I lquid ring vacuum pump    39

Mass spectrometer    107

Maximum backing pressure    73

Maximum rate of handling water \ apour    76

Maximum tolerable water л apour mlet pressure    77

Maximum working pressure    74

Oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump    32

Paitial pressure vacuum gauge    106

Penning gauge    100

Piston vacuum pump    31

Positive displacement vacuum pump    30

Pressure balance    91

Pressure range    108

Pumped container    9

Pumping rate    70

Pumping station    8

Pump /or gas transporting    28

Radial How turbine vacuum pump    45

Radioactive ionization gauge    98

Ranges of vacuum    3

Relative sensitivity factor    110

Roots vacuum pump    40

Rotary piston vacuum pump    37

Rotary plunger vacuum pump    38

Rotary vacuum pump    35

Rough vacuum pump    23

Roughing vacuum pump    27

Self purifying diffusion pump    53

Sensitiv Иу    Ю9

Sliding \ ane rotary vacuum pump    36

Sorption trap    68

Sorption vacuum pump    57

Sputter ion gauge    99

Sputter ion pump    63

Starting pressure    72

Suhhmation ion vacuum pump    62

Sublimation vacuum pump    60

Thermal conductivity gauge    93

Theimistor gauge    95

Thermocouple gauge    94

Thermo molecular gauge    96

Total pressure vacuum gauge    85

Trap    12

Trochoid pump    41

Tuihme vacuum pump    43

Twin wire oscillator gauge    J02

Ultimate pressure of vacuum pump    75

U-tube vacuum gauge    87

Vacuum    1

Vacuum feedthrough    17

Vacuum gate vallve    14

Vacuum mechanical    pump    29

Vacuum pipework    18

Vacuum plant Vacuum protective device Vacuum pump Vacuum pump oil Vacuum system Vacuum technology Vacuum unit Vacuum valve Vacuummeter Vapour jet vacuum pump Viscosity gauge

Volume flow rate of vacuum pump

6

21

11

4

5

2

7

13

79

49

92

71

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА ФРАНЦУЗСКОМ ЯЗЫКЕ

Amalyseur de pressions partielles

Avec unetube en U manometre

Ballon d’equilibrage de pression

Capacite de pompage de vapeur d’eau admissible

Coefficient d’un manometre a ionisation

Coffret d’ahmentation et de mesure

Conduite by pass

Conduite a vide

Conduite a vide prehminaire

Debit volume d’une pompe a \ ide

Debit volumetrique

Depresseur a turbine

Depresseur a turbine a flux axial

Depresseur a turbine a flux radial

Depresseur roots

Dispositif de securite

Dispositif indicateur

Domaines de vide

Ejecteur a gaz pour le vide

Ejecteur a vapeur pour le vide

Element du systeme a vide

Enceinte pompee

Etendue de mesurage

Facteur de sensibihte relative

Huile de pompe a vide primaire

Installation de vide

Manometre a compression

Manometre a conduction thermique

Manometre a deformation

Manometre differentiel

Manometre a electrons oscillants

Manometre a extracteur

Manometre a ionisation

Manometre a ionisation a faisceau electromque

Manometre a liquide

Manometre a membrane

Manometre a piston

Manometre a source radioacti\e

Manometre a thernnstance

Manometre a thermocouple

Manometre a vide

106

87 22 76

111

83 20 18 19 71 70

43

44

45 40 21

84

3

48

49 10

9

108

110

4 6

88

93

89 81

102

103

97

101

86

90

91

98 95

94 79

Manometre a viscosite    92

Manometre absolu    80

Manometre de Penning    10q

Manometre de pression totale    85

Manometre differentiel    81

Manometre ionique a pulverisation    99

Manometre magnetron a cathode froide    104

Manometre thermomoleculaire    96

Passage du vide    17

Piege    12

Piege a sorption    08

Piege ionique    59

Piege refroidi    57

Pompe a    diffusion    51

Pompe a    diffusion autorectifiante    53

Pompe a    diffusion et aejecteur    52

Pompe a    diffusion fractionnante    54

Pompe a    ionisation a vide    55

Pompe a    vide    11

Pompe a vide a anneau liquide    39^ 47

Pompe a vide a bain d’huile (a bain de liquide)    ’ 32

Pompe a vide a ejecteur    59

Pompe a vide a fixation    50

Pompe a vide a physisorption    58

Pompe a vide a injection de gaz    33

Pompe a vide a jet cinetique    46

Pompe a vide a palettes    36

Pompe a vide a piston alternatif    31

Pompe a vide a piston oscillant    38

Pompe a vide a piston tournant    37

Pompe a vide a sorbeur    59

Pompe a vide a sorption    57

Pompe a vide a sublimation a sorbeur    60

Pompe a vide cinetique    42

Pompe a vide combinee    06

Pompe a vide du transport gazeus    28

Pompe a vide intermediate    26

Pompe a vide ionique a sorbeur    61

Pompe a vide ionique a sublimation    62

Pompe a vide primaire    23

Pompe a vide seche    34

Pompe a vide secondaire    24

Pompe a vide tournant    35

Pompe a vide volumetrique    30

Pompe condenser    64

Pompe cryostatique    65

Pompe ionique a pulverisation    63

Pompe meoanique a vide    29

Pompe preliminaire pour le vide    27

Pompe primaire pour le vide    25

Pompe trochoide    41

Pression d’amorcage    72

Pression equivalent d’azote    112

Pression maximale de fonctionnement    74

Pression maximale de refoulement    73

Pression limite d’une pompe a vide    75

Pression maximale tolerable d’aspiration de vapeur d’eau    I'l

Pression геыёиеНе    JK?

Robinet a aiguille    1(5

Robmet d entree d’air    lb

Sensibihte    100

Soupape de vide    13

Spectrometre de masse    107

Stand de pompage    $

Systeme a vide    b

Taux de compression    7&

Technique du vide    2

Transducteur de mesure pression    82

Tube temoin    105

Unite a \ide    7

Vanne ecluse    14

Vide    t

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 Справочное

ТЕРМИНЫ* ПРИМЕНЯЕМЫЕ В ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКЕ

Термин

Определение

J. Газ

Состояние вещества, при котором движение молекул практически не ограничено межмолекулярными силами, так что вещество может занимать любое доступное пространство

Примечания:

1.    Под газом понимают химически индивидуальный газ и смесь газов.

2.    В вакуумной технике этот термин применяют к некойденсирующемуся газу и к пару

2. Неконденсирующийся газ

Газ, который во всем диапазоне рабочих температур не может быть переведен в конденсированную фазу только путем увеличения его давления

3. Идеальный газ

По ГОСТ 23281—78

4. Парциальное давление газа

Давление, оказываемое химически индивидуальным газом, содержащимся в газовой смеси, равное давлению, которое оказывал бы этот газ, если удалить из занимаемого газовой смесью объема остальные газы, при условии сохранения первоначальных объема и температуры

5. Полное давление газа

Сумма парциальных давлений компонентов газовой смеси.

Примечание. Термин применяют, если термин «Давление» четко не указывает на разницу между отдельными парциальными давлениями и их суммой

6. Давление газа на ограничивающую поверхность

Нормальная составляющая силы, действующей со стороны газа на ограничивающую поверхность, деленная на площадь этой поверхности.

Примечание.

1. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию поверхности по отношению к вектору этого потока.

Термин

Определение

2. Термин «Давление» без дополнительных определений означает статическое давление в газе при его установившемся течении

7. Давление в определенной точке газового пространства

Скорость переноса нормальной составляющей количества движения, связанного с движением молекул в обоих направлениях через площадку на воображаемой плоскости, проходящей через эту точку, деленная на величину этой площадки.

Примечание При наличии потока молекул газа указывают ориентацию плоскости по отношению к вектору этого* потока

8. Количество газа

Произведение объема, занимаемого газом, находящимся в равновесном состоянии, на его давление

9. Пар

Газ, верхний предел рабочих температур которого ниже критической температуры сжижения

10. Насыщенный пар

Пар, находящийся при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из конденсированных фаз рассматриваемого вещества

11. Давление насыщенного пара

Давление пара, находящегося при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из его конденсированных фаз

12. Ненасыщенный пар

Пар, давление которого меньше давления насыщенного пара рассматриваемого вещества при заданной температуре

13. Степень насыщенна пара

Отношение давления пара к давлению насыщенного пара

14. Молекулярная концентрация

Число молекул газа в единице объема

15. Молекулярная концентрация заданного компонента

Число молекул заданного компонента в единице объема

16. Плотность газа

Масса единицы объема газа

17. Плотность газа, приведенная к единице давления

Плотность газа, деленная на его давление

Термин

Определение

18 Длина свободного пути молекул

Длина пути, пройденного молекулой между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами

19.

пути

Средняя длина свободного молекулы

Среднее арифметическое значение длин свободного пути молекул

20 Число столкновений молекул в единицу времени

Среднее арифметическое число столкновений, испытываемое молекулой за единицу времени при движении ее относительно других молекул

21 Число столкновений молекул в единице объема за единицу времени

22

Диффузия газа

Движение газа в другой среде под влиянием градиента концентрации.

Примечание. Средой может быть другой газ (в этом случае наблюдается взаимная диффузия) или конденсированная фаза

23

за

Коэффициент диффузии га-

По ГОСТ 23281—78

24

Течение газа

Перемещение газа в трубопроводе под действием разности давлений или температур на его концах

25

Ламинарное течение

По ГОСТ 23281—78

26

Турбулентное течение

По ГОСТ 23281—78

27

Вязкостное течение

Течение газа в трубопроводе в условиях, когда средняя длина свободного пути молекул очень мала по сравнению с наименьшим внутренним поперечным размером трубопровода, так что поток зависит от плотности газа.

Примечание. Течение может быть ламинарным или турбулентным

28

Пуазейлевское течение

Ламинарное вязкостное течение в длинной трубе круглого сечения

29

Молекулярное течение

Течение газа в трубопроводе при условиях, когда средняя длина свободного пути молекул значительно превышает внутренний размер поперечного сечения трубопровода

Термин

Определение

30 Молекулярно-вязкостное течение

Течение газа в трубопроводе при условиях, промежуточных между ламинарным вязкостным течением и молекулярным течением

31 Эффузионное течение

Течение газа через отверстие, когда наибольший размер отверстия меньше средней длины свободного пути молекул

32 Температурная транспира имя

Течение газа между соединенными сосуда ми вследствие разности температу р сосудов, результатом которой является об разование градиента давлений

33 Поток молекул

Число молекул, проходящих через некоторое сечение в единицу времени

34 Результирующий поток молекул

Разность числа молекул, пересекающих в единицу времени некоторую поверхность в одном направлении, и числа молекул, пересекающих ее в обратном направлении

35 Плотность потока молекул

Результирующий поток молекул, деленный на площадь поверхности, которую он пересекает

36 Массовый поток газа

Масса газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени

37 Объемный поток газа

Объем газа при указанных температуре и давлении, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени

38 Молярный поток газа

Число молей газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени

39 Распределение Максвелла по скоростям

Распределение по скоростям, соответствующее функции распределения Максвелла Больцмана

Примечание Распределение Максвелла-Больцмана по скоростям соответствует распределению по скоростям молекул газа, находящегося в состоянии равновесия при заданной температуре на расстоянии от стенок сосуда намного большем, чем средняя длина свободного пути молекул

40 Вероятность прохождения

Вероятность того, что молекула, вошедшая через входное отверстие канала, выйдет через его выходное отверстие и не пройдет входное отверстие в обратном направлении

Термин

Определение

41 Проводимость элемента вакуумной системы

Свойство, характеризуемое отношением потока газа, проходящего по каналу или через отверстие, к разности давлений в двух указанных сечениях канала или по обеим сторонам отверстия

42 Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы

Проводимость в частном случае, когда канал (или отверстие) соединяет два сосуда при условии максвелловского распределения молекул по скоростям в обоих сосудах

Примечание В случае молекулярного течения внутренняя проводимость равна произведению проводимости входного отверстия и вероятности его прохождения

43 Молекулярная проводимость элемента вакуумной системы

Проводимость, определяемая отношением потока молекул к разности средних чисел молекул в единице объема по обеим сторонам отверстия или в двух поперечных сечениях канала

44 Сопротивление элемента вакуумной системы

Величина, обратная проводимости элемента вакуумной системы

45 Сорбция

Захват газа или пара твердым телом или жидкостью

46 Адсорбция

Сорбция, при которой газ или пар удерживаются на поверхности твердого вещества или жидкости

47 Абсорбция

Сорбция, при которой газ диффундирует в объем твердого тела или жидкости

48 Физическая сорбция

Сорбция под действием физических сил, при которой не образуются химические связи

49 Хемосорбция

Сорбция, при которой происходит образование химических связей

50 Коэффициент аккомодации

Величина, определяемая отношением средней энергии, реально передаваемой поверхности налетающими молекулами, к средней энергии, которая была бы передана поверхности налетающими молекулами, если бы они отрывались от поверхности после достижения с нею полного теплового равновесия

Термин

Определение

51. Частота столкновений

Число молекул, сталкивающихся с единицей площади поверхности в единицу времени

52. Скорость конденсации

Число молекул, конденсирующихся на единице площади поверхности в единицу времени

53. Скорость прилипания

Число молекул, сорбирующихся на единице площади поверхности в единицу времени

54. Вероятность прилипания

Отношение скоростей прилипания к частоте столкновений

55. Время удержания

Среднее время, в течение которого молекулы удерживаются на поверхности в состоянии сорбции

56 Миграция

Движение молекул на поверхности

57. Десорбция

Освобождение газов или паров, сорбированных каким-либо материалом

58. Скорость десорбции

Количество газа, десорбирующееся с единицы площади поверхности в единицу времени

59. Скорость испарения

Число молекул вещества, испаряющегося с единицы площади поверхности в единицу времени

60. Просачивание

Процесс прохождения газа через твердый барьер.

Примечание. Процесс включает в себя диффузию газа в твердом теле и различные поверхностные явления

61. Проницаемость твердой иерегородки

Отношение потока газа через перегородку к потоку газа через то же сечение при отсутствии перегородки, являющееся функцией давлений по обе стороны перегородки и структуры перегородки

62. Коэффициент проницаемости газа

Величина, определяемая произведением проницаемости на отношение толщины перегородки к ее площади

63. Условный проход

Диаметр проходного сечения элемента вакуумной системы, определяющий присоединительные размеры по действующим стандартам

Термин

Определение

64. Манометр

1 По ГОСТ 8.271—77

65. Откачка

Уменьшение молекулярной концентрации газа при помощи устройств, удаляющих или поглощающих газ

66. Газовыделение

Самопроизвольное выделение газа из материала в вакуум

67. Обезгаживание

Принудительное удаление газа из материала

68. Обратная диффузия

Диффузия газа в направлении, противоположном направлению откачки

69. Обратная миграция

Поверхностная миграция масла в откачиваемый объем по внутренним поверхностям вакуумной системы в направлении, противоположном направлению откачки

70. Рабочее вещество

Вещество или его пары, используемое для увлечения откачиваемых газов л струйных вакуумных насосах

71. Радиочастотный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в радиочастотном продольном электрическом поле

72. Квадрупольный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельными электродами

73. Монополярный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, состоящего из двух электродов

74. Масс-спектрометр с магнитным отклонением

Масс-спектрометр, в котором ускоренные ионы, имеющие разные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям

75. Циклоидальный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются скрещенными электрическим я магнитным полями, в которых они следуют по различным циклоидным траекториям, в результате чего ионы фиксируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду

Термин

Определение

76 Омегатронный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движении по спиральным траекториям в радиочастотном электрическом и постоянном магнитном полях, перпендикулярных друг другу

77. Времяпролетный масс-спектрометр

Масс-спектрометр, в котором газ ионизируется электронным пучком с импульсной модуляцией и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ионы разделяются по времени прибытия на коллектор в зависимости от отношения массы иона к заряду

ПРИЛОЖЕНИЕ 2 Справочное

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ О СООТВЕТСТВИИ ГОСТ 5197—85

СТ СЭВ 4839-

-84 И СТ СЭВ 4751—84

Термин по ГОСТ 5197—85

Термин по СТ СЭВ 4839—84, по СТ СЭВ 4751—84

Вакуумная ловушка

Ловушка

Вакуумное защитное устройство

Устройство задержки газового потока

Бустерный вакуумный насос

Бустерный насос

Вакуумный насос предварительного разрежения

Насос предварительного разрежения

Трохоидный вакуумный насос

Трохоидальный вакуумный насос

Струйный вакуумный насос

Струйный кинетический вакуумный насос

Газоструйный вакуумный насос

Газоэжекторный вакуумный насос

Термин по ГОСТ 6197—8Э

Термин по СТ СЭВ 4839—81, по СТ СЭВ 4751—84

Пароструйный вакуумный насос

Пароэжекторный вакуумный насос

Вакуумный крионасос

Криогенный вакуумный насос

Испарительный геттерный вакуумный насос

Сублимационный вакуумный насос

Рабочее вещество

Откачивающий элемент

Конденсационная вакуумная ловушка

Конденсационная охлаждаемая ловушка

Сорбционная вакуумная ловушка

Сорбционная ловушка

Ионная вакуумная ловушка

Ионная ловушка

Быстрота откачки

Быстрота откачки вакуумного насоса

Молекулярная концентрация заданного компонента

Концентрация молекул заданного компонента

Число столкновений в единице объема за единицу времени

Объемное число столкновений в единицу времени

Полное давление газа

Полное давление

Парциальное давление газа

Парциальное давление

Массовый поток газа

Массовый расход газа

Объемный поток газа

Объемный расход газа

Молярный поток газа

Молярный расход газа

Проницаемость твердой перегородки

Проницаемость

Физическая сорбция

Физисорбция

Средняя длина свободного пути молекул

Средняя длина свободного пробега молекул

Проводимость элемента вакуумной системы

Проводимость

Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы

Внутренняя проводимость

Сопротивление элемента вакуумной системы

Сопротивление

Термин по ГОСТ 5197—85

Термин по СТ СЭВ 4839—84, по СТ СЭВ

4751—84

Проницаемость

городки

твердой пере-

Проницаемость

Коэффициент

газа

проницаемости

Коэффициент проницаемости

Наибольшее давление запуска вакуумного насоса

Наибольшее давление запуск а вакуумного насоса (начальное давление)

Предельное остаточное давление вакуумного насоса

Предельное давление вакуумного са

насо-

Наибольшая ность вакуумного рам воды

производитель-насоса по па-

Производительность вакуумного по водяному пару

насоса

Наибольшее допустимое давление паров воды

Максимально допустимое впускное давление водяного пара

Редактор О. К~ Абашкова Технический редактор М. И. Максимова Корректор Т. И. Кононенко

Сдано в наб. 12 12 85 Подл в печ* 07 04 86 2',25 усл гЛ* л. 2,375 уел кр.-отт 2,91 уч -изд. л.

Тир 10 000 Цена 15 коп.

Ордена «Знак Почета» Издательство стандартов, 123840, Москва, ГСП,

Новопресненский пер. , 3.

Калужская типография стандартов, ул. Московская, 256 Зак 3687

Цена 15 кап,

F динкца

Пол И 1 И И4

Наммп «ванн*

Обозначение

международное

русское

ОСНОВНЫЕ ЕДИНЕ

[ЦЫ

СИ

Длина

метр

ш

М

Масса

килограмм

kg

КГ

Время

секунда

S

с

Сила электрического тока

ампер

А

А

Термодинамическая темпера-

тура

кельвин

К

К

Количество вещества

моль

mol

моль

Сила света

кандела

cd

кд

ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ЕДИНИЦЫ СИ

Плоский угол

радиан

rad

рад

Телесный угол

стерадиан

sr

ср

ПРОИЗВОДНЫЕ ЕДИНИЦЫ СИ, ИМЕЮЩИЕ СПЕЦИАЛЬНЫЕ

НАИМЕНОВАНИЯ

Единица

Выражение через

Величина

Обозначение

основные и до

Нанменова

лолнительные

кие

меж дун а

единицы СИ

родное

русское

Частота

герц

Hz

Гц

с-'

Сила

ньютон

N

Н

м кг с*2

Давление

паскаль

Ра

Па

м"1 кг с-2

Энергия

джоуль

J

Дж

м2 кг с~2

Мощность

ватт

W

Вт

м2 кг с-3

Количество электричества

кулон

С

KJT

с А

Электрическое напряжение

вольт

V

в

м2 кг с“э А~’

Электрическая емкость

фарад

F

ф

м“2 кг'1 сА А2

Электрическое сопротивление

ом

Я

Ом

м2 кг с“3 А~2

Электрическая проводимость

сименс

S

См

м 2 кг'1 с3 А2

Поток магнитной индукции

вебер

Wb

Вб

м2 кг с"2 А~‘

Магнитная индукция

тесла

т

Тл

кг с"2 А-1

Индуктивность

генри

н

Гн

м2 кг с-2 А-2

Световой поток

люмен

лм

кд ср

Освещенность

люкс

лк

м~2 кд ср

Активность радионуклида

беккерель

Bq

Бк

С"1

Поглощенная доза

грэй

Gy

Гр

м2 С"2

ионизирующего излучения

Эквивалентная доза излучения

знверт

Sv

Зв

м2 с-2