allgosts.ru01. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ. ТЕРМИНОЛОГИЯ. СТАНДАРТИЗАЦИЯ. ДОКУМЕНТАЦИЯ01.040. Словари

ГОСТ 21006-75 Микроскопы электронные. Термины, определения и буквенные обозначения

Обозначение:
ГОСТ 21006-75
Наименование:
Микроскопы электронные. Термины, определения и буквенные обозначения
Статус:
Действует
Дата введения:
06/30/1976
Дата отмены:
-
Заменен на:
-
Код ОКС:
01.040.31

Текст ГОСТ 21006-75 Микроскопы электронные. Термины, определения и буквенные обозначения



МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ

Группа П00 СТАНДАРТ

МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ

Термины, определения и буквенные обозначения

Electron microscopes. Terms definitions and letter symbols

ГОСТ

21006-75

МКС 01.040.31

Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 17 июля 1975 г. № 1835 дата введения установлена

01.07.76

Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта СССР от 10.12.81 № 5329

Настоящий стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины, определения и буквенные обозначения величин электронных микроскопов.

Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения в документации всех видов, учебниках, учебных пособиях, технической и справочной литературе. Приведенные определения можно при необходимости изменять по форме изложения, не допуская нарушения границ понятия.

Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин. Применение терминов — синонимов стандартизованного термина запрещается. Недопустимые к применению термины-синонимы приведены в стандарте в качестве справочных и обозначены пометой «Ндп».

Для отдельных стандартизованных терминов в стандарте приведены в качестве справочных их краткие формы, которые разрешается применять в случаях, исключающих возможность их различного толкования.

В стандарте в качестве справочных для ряда стандартизованных терминов приведены иностранные эквиваленты на немецком (D) и английском языках (Е).

В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и их иностранных эквивалентов.

К стандарту дано приложение, содержащее термины общих понятий электронно-оптических приборов.

Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы — курсивом.

Издание официальное ★

Перепечатка воспрещена

Переиздание.

Термин

Буквенное

обозначение

Определение

1. Электронный микроскоп

D.    Elektronenmikroskop

E.    Electron Microscope

F.    Microscope electronique

Микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками средствами электронной оптики

ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ

2. Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ)

Ндп. Трансмиссионный электронный микроскоп

D.    DurchstraUmgs-Elektronenmicroskop

E.    Transmission electron microscope

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, проходящими сквозь этот объект

3. Растровый электронный микроскоп

(РЭМ)

Ндп. Сканирующий электронный микроскоп

D.    Rasterelelektronenmikroskop

E.    Scanning electron microscope

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом

4. Отражательный электронный микроскоп

D.    Reflexions-Eletronenmikroskop

E.    Reflection electron microscope

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, отраженными этим объектом

5. Эмиссионный электронный микроскоп

D.    Emissions-Elektronenmikroskop

E.    Emission electron microscope

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмитти-руемыми этим объектом

6. Зеркальный электронный микроскоп

D.    Spiegelelektronenmikroskop

E.    Mirror electron microscope

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта, являющегося катодом электронного зеркала

7. Автоэлектронный проектор

Ндп. Микропроектор

Микроскоп -проектор

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмитти-руемыми этим объектом под воздействием электрического поля

КОНСТРУКТИВНЫЕ

ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ

8. Электронная пушка электронного микроскопа

Электронная пушка

D.    Elektronenstranhler

E.    Electron gun

Эмиссионная система, предназначенная для ускорения электронов в электронном микроскопе

9. Электронное зеркало

D.    Elektronenspiegel

E.    Electron mirror

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для изменения направления осевых составляющих скоростей электронов электронного пучка на обратное

10. Видеоконтрольное устройство растрового электронного микроскопа (ВКУ)

Система визуального наблюдения процессов, протекающих в растровом электронном микроскопе при взаимодействии электронного зонда с объектом

11. Электронная линза электронного микроскопа

Линза

D.    Elektronenlinse

E.    Electron lens

Электронно-оптический элемент, предназначенный для фокусировки электронных пучков в электронном микроскопе

12. Магнитная линза электронного микроскопа

Магнитная линза

D.    Magnetische Linse

E.    Magnetic lens

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков магнитным полем

Термин

Буквенное

обозначение

Определение

13. Электростатическая линза электронного микроскопа

Электростатическая линза

D.    Elecktrische Linse

E.    Electric lens

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков электрическим полем

14. Формирующая линза

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая электронный зонд в плоскости объек-

15. Конденсаторная линза электронного микроскопа

Конденсор

D.    Kondensoriinse

E.    Condenser lens

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект

16. Двойной конденсатор электронного микроскопа

Двойной конденсор

D.    Doppelkondensor

E.    Double condenser

Часть электронно-оптической системы, состоящая из двух конденсаторных линз, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект

17. Объективная линза электронного микроскопа

Объектив

D.    Objektivlinse

E.    Objective lens

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая первое увеличенное изображение объекта

18. Дифракционная линза

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости промежуточной линзы

19. Промежуточная линза электронного микроскопа

Промежуточная линза

D.    Zwischenlinse

E.    Intermediate lens

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости проекционной линзы

20. Проекционная линза электронного микроскопа

Проекционная линза Ндп. Проектив

D.    Projektiv

E.    Projector

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая увеличенное конечное изображение объекта или его дифракционной картины

21. Регистрирующая система электронного микроскопа

Регистрирующая система

Устройство, предназначенное для регистрации электронов и вторичных излучений в электронном микроскопе

22. Фотокамера электронного микроскопа

Фотокамера

D.    Aufnahmekammer

E.    Photographic chamber

Часть регистрирующей системы электронного микроскопа, предназначенная для фотографирования изображения в электронных пучках

23. Вакуумная система электронного микроскопа

Вакуумная система

D.    Vakuumanlage

E.    Vacuum system

Система, предназначенная для создания вакуума в электронном микроскопе

24. Юстировочная система электронного микроскопа

Юстировочная система

Устройство, предназначенное для совмещения электронного пучка с оптической осью электронно-оптической системы электронного микроскопа

25. Отклоняющая система электронного микроскопа

Отклоняющая система

D.    Ablenksystem

E.    Deflection system

9*

99

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магнитными полями

Термин

Буквенное

обозначение

Определение

26. Сгипматор

D.    Stigmator

E.    Stigmator

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для исправления приосевого астигматизма

27. Полюсный наконечник электронного микроскопа

Полюсный наконечник

D.    Polschuh

E.    Pole piese

Часть магнитопровода электронного микроскопа, концентрирующая поле магнитной линзы в при-осевой области

28.    Колонна электронного микроскопа

Колонна

D.    Mikroskoprohr

E.    Microscope column

29.    Шлюзовое устройство электронно-

Совокупность конструктивно объединенных электронно-оптических и механических элементов электронного микроскопа

Устройство, предназначенное для ввода и выво-

го микроскопа

Шлюз

D.    Schleuse

E.    Airlock

да из колонны электронного микроскопа сменных элементов без существенного нарушения в ней рабочего вакуума

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

30. Светлопольное изображение

D.    Hellfeldabbildung

E.    Bright-field image

Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе электронными пучками, содержащими нерассеянные в объекте электроны, а также рассеянные в пределах апертурного угла объективной линзы

31. Темнопольное изображение

D.    Dunkelfeldabbildung

E.    Dark-field image

Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе только рассеянными в объекте электронными пучками

32. Микродифракция

D.    Feinbereichsbeugung

E.    Selected ared diffraction

Дифракционное изображение малого участка объекта, сформированное в задней фокальной плоскости объективной линзы и увеличенное электронными линзами просвечивающего электронного микроскопа

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

33.    Изображение во вторичных электронах

D.    Abbildung mit sekundarelelektronen

E.    Secondary-Emission mobe

34.    Изображение в отраженных электронах

D.    Abbildung mit Riickstreuelektronen

E.    Backscackscattered Electron mode

35.    Изображение в поглощенных электронах

D.    Abbildung mit Probenstomen

E.    Absorbed specimen current mode

36.    Катодолюминесцентное изображение

D.    Abbildung mit Kathodolumineszenz

E.    Cathodoluminescence mode

37.    Изображение в наведенном электронным зондом токе

D.    Abbildung mit induzierten Proben-stromen

E.    Induced current mode

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием отраженных от объекта электронов

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием электронов, поглощенных объектом

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием оптического излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием тока, возникающего в цепи с полупроводниковым объектом при воздействии на него электронного зонда

Термин

Буквенное

обозначение

Определение

38. Изображение в рентгеновском характеристическом излучении

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом

39. Изображение в Оже-электронах

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием Оже-электронов

40. Изображение в прошедших электронах

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе электронами, прошедшими сквозь объект

41. Изображение картин каналирования электронов

D.Abbildung mit Channelling

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием эффекта каналирования электронных пучков в объекте

Diagrammen

E. Electron Channeling Pattern mode

42. Изображение при Y-модуляции

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе сложением видеосигнала с током (напряжением) кадровой развертки

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ЭМИССИОННОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

43. Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта ионами

44. Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта электронами

45. Изображение в термоэлектронах

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием термоэлектронов, испускаемых объектом при нагревании

46. Изображение в фотоэлектронах

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием фотоэлектронов, испускаемых объектом под действием оптического излучения

ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

47. Ускоряющее напряжение электронного микроскопа

Ускоряющее напряжение

и

Разность потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроскопа

D.    Beschleunigungsspannung

E.    Accelerating voltage

48. Нестабильность напряжения электронного микроскопа

Нестабильность напряжения

д и

Самопроизвольное изменение значения ускоряющего напряжения электронного микроскопа во времени

49. Нестабильность тока электронного микроскопа

А1

Самопроизвольное изменение значения тока электронного микроскопа во времени

Нестабильность тока

50. Электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа

D.    Elektronenoptische Vergr6|3enmg

E.    Electron optical magnification

мэ

Отношение линейного размера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру соответствующего элемента объекта

51. Общее увеличение

D.    Gesamtvergr6|3enmg

E.    Total magnification

К

Увеличение изображения объекта, равное произведению электронно-оптического увеличения и дополнительного увеличения, полученного вне электронного микроскопа

Термин

Буквенное

обозначение

Определение

52. Разрешающая способность электронного микроскопа

D.    Auflosungsvermogen

E.    Resolving power

5

Наименьшее расстояние между двумя деталями объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе

53. Разрешающая способность электронного микроскопа по кристаллической решетке

D.    Netzebenenabbildung

E.    Lattice plane resolution

5г

Наименьшее межплоскостное расстояние кристаллической решетки, плоскости которой изображаются раздельно в электронном микроскопе

54. Разрешающая способность электронного микроскопа по точкам

D.    Punktauflosung

E.    Point resolution

8Т

Наименьшее расстояние между двумя микрочастицами объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе

55. Электронная яркость

D.    Richtsrtahlwert

E.    Brightnes

В

Ток электронного пучка в пределах единичного телесного угла, приходящийся на единицу площади облучаемой поверхности

56. Апертурный угол формирующей линзы

аФ

Половина угла расхождения траекторий электронов в электронном зонде

57. Апертурный угол объективной линзы электронного микроскопа

Апертурный угол объективной линзы

«об

Половина угла расхождения траекторий электронов, покидающих объект и формирующих изображение

58. Апертурный угол осветительной системы электронного микроскопа

Апертурный угол осветительной системы

«ос

Половина угла расхождения траекторий электронов, падающих на объект

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ

ВКУ    10

Зеркало электронное    9

Изображение в наведенном электронном зондом токе    37

Изображение во вторичных электронах    33

Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке    43

Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке    44

Изображение в Оже-электронах    39

Изображение в отраженных электронах    34

Изображение в поглощенных электронах    35

Изображение в прошедших электронах    40

Изображение в рентгеновском характеристическом излучении    38

Изображение в термоэлектронах    45

Изображение в фотоэлектронах    46

Изображение картин каналирования электронов    41

Изображение катодолюминесцентное    36

Изображение при У-модуляции    42

Изображение светлопольное    30

Изображение темнопольное    31

Колонна    28

Колонна электронного микроскопа    28

Конденсор    15

Конденсор двойной    16

Конденсор электронного микроскопа двойной    16

Линза    11

Линза дифракционная    18

Линза магнитная    12

Линза проекционная    20

Линза промежуточная    19

Линза формирующая    14

Линза электронного микроскопа конденсорная    15

Линза электронного микроскопа магнитная 12 Линза электронного микроскопа объективная 17 Линза электронного микроскопа проекционная 20 Линза электронного микроскопа промежуточная 19 Линза электронного микроскопа электронная 11 Линза электронного микроскопа электростатическая 13 Линза электростатическая 13 Микродифракция 32 Микропроектор 1 Микроскоп-проектор 1 Микроскоп электронный 1 Микроскоп электронный зеркальный 6 Микроскоп электронный отражательный 4 Микроскоп электронный просвечивающий 2 Микроскоп электронный растровый 3 Микроскоп электронный сканирующий 3 Микроскоп электронный трансмиссионный 2 Микроскоп электронный эмиссионный 5 Наконечник полюсный 27 Наконечник электронного микроскопа полюсный 27 Напряжение ускоряющее 47 Напряжение электронного микроскопа ускоряющее 47 Нестабильность напряжения 48 Нестабильность напряжения электронного микроскопа 48 Нестабильность тока 49 Нестабильность тока электронного микроскопа 49 Объектив 17 Проектив 20 Проектор автоэлектронный 7 Пушка электронная 8 Пушка электронного микроскопа электронная 8 ПЭМ 2 РЭМ 3 Система вакуумная 23 Система отклоняющая 25 Система регистрирующая 21 Система электронного микроскопа вакуумная 23 Система электронного микроскопа отклоняющая 25 Система электронного микроскопа регистрирующая 21 Система электронного микроскопа юстировочная 24 Система юстировочная 24 Способность электронного микроскопа по кристаллической решетке разрешающая 53 Способность электронного микроскопа по точкам разрешающая 54 Способность электронного микроскопа разрешающая 52 Стигматор 26 Увеличение общее 51 Увеличение электронного микроскопа электронно-оптическое 50 Угол объективной линзы апертурный 57 Угол объективной линзы электронного микроскопа апертурный 57 Угол осветительной системы апертурный 58 Угол осветительной системы электронного микроскопа апертурный 58 Угол формирующей линзы апертурный 56 Устройство растрового электронного микроскопа видеоконтрольное 10 Устройство электронного микроскопа шлюзовое 29 Фотокамера 22 Фотокамера электронного микроскопа 22 Шлюз 29 Яркость электронная 55

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ

Abbildung mit Channelling Diagrammen    41

Abbildung mit Kathodolumineszengz    36

Abbildung mit induzierten Probenstromen    37

Abbildung mit Probenstomen    35

Abbildung mit Riickstreuelektronen    34

Abbildung mit sekundarelelektronen    33

Ablenksystem    25

Auflosungsvermogen    52

Aufnahmekammer    22

Beschleunigungsspannung    47

Doppelkondensor    16

Dunkelfeldabbildung    31

Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop    2

Elektrische Linse    13

Elektronenlinse    11

Elektronenmikroskop    1

Elektronenoptische VergroBerung    50

Elektronenspiegel    9

Elektronenstrahler    8

Emissions-Elektronenmikroskop    5

Feinbereichsbeugung    32

GesamtvergroBerung    51

Hellfeldabbildung    30

Kondensorlinse    15

Magnetische Linse    12

Mikroskoprohr    28

Netzebenenabbildung    53

Objektivlinse    17

Polschuh    27

Projektiv    20

Punktauflosung    54

Rasterelelektronenmikroskop    3

Reflexions-Elektronenmikroskop    4

Richtsrtahlwert    55

Schleuse    29

Spiegelelektronenmikroskop    6

Stigmator    26

Vakuumanlage    23

Zwischenlinse    19

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ

Absorbed specimen current mode    35

Accelerating voltage    47

Airlock    29

Backscattered Electron mode    34

Bright-field image    30

Brightnes    55

Cathodoluminescence mode    36

Condenser lens    15

Dark-field image    31

Deflection system    25

Double condenser    16

Electric lens    13

Electron Channeling Pattern mode    41

Electron gun    8

Electron lens    11

Electron microscope    1

Electron mirror    9

Electron optical magnification    50

Emission electron microscope    5

Induced current mode

37

Intermediate lens

19

Lattice plane resolution

53

Magnetic lens

12

Microscope column

28

Mirror electron microscope

6

Objective lens

17

Photographic chamber

22

Point resolution

54

Pole piese

27

Projector

20

Reflection electron microscope

4

Resolving power

52

Scanning electron microscope

3

Secondary-Emission mode

33

Selected ared diffraction

32

Stigmator

26

Total magnification

51

Transmission electron microscope

2

Vacuum system

23

ПРИЛОЖЕНИЕ

Справочное

ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ

Термин

Пояснение

1. Электронно-оптический элемент

2.    Электронно-оптическая система

3.    Осветительная система

4.    Изображающая система

5.    Аберрация

6.    Электронный луч

7.    Электронный пучок

8.    Кроссовер

9.    Электронный зонд

10.    Эмиссионная система

11.    Фиктивный катод

Нрк. Мнимый источник

12.    Г-образный катод

Нрк. Шпилькообразный катод

13.    Остроконечный катод Нрк. Точечный катод

Игольчатый катод Острийный катод

14.    Объект исследования Нрк. Препарат

Образец

15.    Столик объектов

16.    Апертурная диафрагма

17.    Селекторная диафрагма

Устройство, предназначенное для формирования электронных нучков или управления ими электрическими и (или) магнитными полями

Совокупность электронно-оптических элементов Часть электронно-оптической системы, предназначенной для формирования электронных пучков, освещающих объект

Часть электронно-оптической системы, формирующая увеличенное изображение объекта или дифракционной картины

Искаженное изображение объекта, возникающее вследствии не-параксиальности и немонохроматичности электронных пучков, дифракции электронов

Совокупность электронов, движущихся по одной траектории Совокупность электронных лучей, имеющих общую точку Минимальное сечение электронного пучка в эмиссионной системе

Электронный пучок, имеющий минимальное сечение в заданной плоскости

Электронно-оптическая система, предназначенная для формирования электронного пучка и управления его интенсивностью Мнимое изображение катода, образованное полем, прилегающим непосредственно к катоду

Катод, изготовленный из проволоки, согнутой под острым углом, вершина которого является эмиттером

Катод, эмиттер которого имеет заостренный конец

Предмет, исследуемый в электронном микроскопе

Устройство, предназначенное для установки и перемещения объектов

Диафрагма, ограничивающая апертурный угол Диафрагма, ограничивающая участок объекта, с которого получают дифракционную картину