allgosts.ru77. МЕТАЛЛУРГИЯ77.120. Цветные металлы

ГОСТ 16153-80 Германий монокристаллический. Технические условия

Обозначение:
ГОСТ 16153-80
Наименование:
Германий монокристаллический. Технические условия
Статус:
Действует
Дата введения:
01/01/1981
Дата отмены:
-
Заменен на:
-
Код ОКС:
77.120.99

Текст ГОСТ 16153-80 Германий монокристаллический. Технические условия



БЗ 9—93

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

СОЮЗА ССР

ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ

ТЕХНИЧЕСКИЕ УСЛОВИЯ

ГОСТ 16153-80

Издание официальное

ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ

Москва

УДК 669.783—172:006.354    Группа В5 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

ГЕРМАНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ

Технические условия

Monocrystalline germanium. Specifications

ГОСТ

16153—80

О КП 17 7441

Дата введения 01.01.81

Настоящий стандарт распространяется на монокристалличес-кий слиток германия, применяемый для производства полупроводниковых приборов и устанавливает требования к монокристалли-ческому германию, изготовляемому для нужд народного хозяйства.

1.1.    Монокристаллический слиток германия изготовляют в соответствии с требованиями настоящего стандарта электронного типа электропроводности, легированные сурьмой, и дырочного типа электропроводности, легированные галлием, по технологической документации, утвержденной в установленном порядке.

1.2.    Кристаллографическая ориентация монокристаллического слитка он).

L3. Предельное отклонение плоскости торцового среза монокристаллического слитка германия от плоскости ориентации (ш) не должно быть более 2°.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

1.4. Монокристаллический слиток германия по допускаемому относительному отклонению значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения должен соответствовать подгруппам, указанным в табл. 1.

1. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

Издание официальное ★

<6) Издательство стандартов, 1980 (6) Издательство стандартов, 1994

Перепечатка воспрещена

Переиздание с изменениями

2 Зак 1923

Г а б л и ц а 1

Подгруппа по допускаемому Относительному отклонению значений удельного э 1ектри ческого сопротивления торцов от номинального значения

Допускаемое относительное отклонение значений удель ного электрического соп ротивления торцов о г номина льного значения % не более

Интерва л номлна льнык значении уде ьного электрического сопропш ie ния Ом см

а

±25

0,1

—45

б

±20

г

±15

Выбор номинального значения удельного электрического сопротивления монокристаллического слитка проводят в соответствии с ГОСТ 8032—84 по следующим рядам

для удельного электрического сопротивления от 0,1 до 1 Ом-см—0,1, 0,12, 0,15; 0,2; 0,25, 0,31; 0,4, 0,5; 0,63, 0,8, 1 Ом-см;

для удельного электрического сопротивления от 1 до 10 Ом-см— 1,1; 1,40, 1,8; 2,2; 2,8; 3,5; 4,5, 5,6; 7,1; 9 Ом-см;

для удельного электрического сопротивления от 10 до 45 Ом-см — 11,2; 14; 18; 22,4; 28; 35,5, 45 Ом-см (Измененная редакция, Изм. № 1).

1 5 Плотность дислокаций и геометрические размеры моно-кристаллических слитков германия должны соответствовать требованиям табл 2

Таблица 2

Подгруппа по плот ности дислокации

Плотность дислока ций см —2 не более или в интервале

Интервал значений диаметров монокрис таллического слитка, мм

Длина монокристал лического слитка мм не менее

1

2

5-Ю4

2 103—2-104

о

о

со

60

3

8*103

По требованию потребителя монокристаллические слитки германия ГЭ 9 г1 изготовляют диаметром от 40 до 50 мм

Монокристаллические слитки германия 1 подгруппы по плотности дислокаций и с плотностью дислокаций ЫО4—2-104 см 2 подгруппы 2 по плотности дислокаций изготовляли до 01 01 91 (Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

16 Разница между наибольшим и наименьшим диаметрами каждого монокристаллического слитка не должна быть более 4 мм.

1 7 В монокристаллических слитках германия подгрупп 2 и 3

должна отсутствовать суммарная длина малоугловых границ дли ной более */б среднего диаметра монокристаллических слитков 1.8 Подвижность основных носителей заряда в монокристаллических слитках германия в зависимости от удельного электрического сопротивления и типа электропроводности должна соответствовать нормам, указанным в табл 3

Таблица 3

Интервал значений удельного электрического сопротив тения

Подвижность основных носителей заряда при температуре 23±2 °С см2/В с не менее

электронов

дырок

От

0,1

ДО

0,23

включ

1800

1300

Св

0,24

»

0,49

»

2300

1400

у»

0,50

»

0,89

»

2600

1500

У>

0,9

»

2,4

»

3100

1600

»

2,5

»

5,9

»

3300

1760

»

6,0

»

15,9

»

3400

1760

16,0

45,0

3600

1760

(Измененная редакция, Изм. № 2).

1.9 Монокристаллический слиток германия не должен иметь внешних дефектов сколов размером более 3 мм, трещин и раковин, а также внутренних раковин и трещин, обнаруживаемых при резке монокристаллического слитка

1.10.    Монокристалличность германия, кристаллографическая ориентация продольной оси монокристаллического слитка, предельное отклонение плоскости среза монокристаллического слитка от плоскости ориентации (III), подвижность основных носителей заряда, плотность дислокаций для подгруппы 1 и отсутствие внутренних раковин и трещин обеспечиваются технологией изготовления

(Измененная редакция, Изм. № 2).

1.11.    Коды ОКП приведены в приложении 7

(Введен дополнительно, Изм. № 1).

1 12. Монокристаллические слитки германия, легированные галлием, кристаллографической ориентацией (100) изготовляются с диаметром не менее 20 мм, номинальным значением удельного электрического сопротивления 0,4 и 0,45 Ом-см, с допускаемым относительным отклонением значений удельного электрического соп-ротивтения ±10 %, плотностью дислокаций не более 10 см^2, плотностью дефектов недислокационного происхождения не более 10 см-2, длиной монокристаллического слитка 50—120 мм

Норма плотности дефектов недислокационного происхождения

и верхняя длина монокристаллического слитка до 01.01.92 браковочными не являются.

(Введен дополнительно, Изм. № 3).

Примеры условного обозначения

Монокристаллический слиток германия электронного типа электропроводности, с номинальным значением удельного электрического сопротивления 14, подгрупп б и 3:

ГЭ 1463 ГОСТ 16153—80

То же, дырочного типа электропроводности, с номинальным значением удельного электрического сопротивления 45, подгрупп а и 1:

ГД 45а1 ГОСТ 16153—80

2. ПРАВИЛА ПРИЕМКИ

2.1.    Монокристаллический германий принимают партиями. Партия должна состоять из одного монокристаллического слитка. Приемо-сдаточным испытаниям подвергают монокристаллический слиток, определяя: тип электропроводности; значение удельного электрического сопротивления; плотность дислокаций; наличие и суммарную длину малоугловых границ для подгрупп 2,3; геометрические размеры и отсутствие внешних дефектов; для германия с кристаллографической ориентацией (100) — плотность дефектов недислокационного происхождения.

Определение плотности дефектов недислокационного происхождения проводят для набора статистических данных.

Периодическим испытаниям по гарантированным параметрам (по п. 1.10) подвергается один монокристаллический слиток, не реже одного раза в квартал.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

2.2.    Каждый монокристаллический слиток германия сопровождается документом о качестве, который должен содержать:

товарный знак или наименование и товарный знак предприятия-изготовителя;

наименование продукции и ее марки;

номер монокристаллического слитка;

тип электропроводности;

значение электрического удельного сопротивления и его отклонения от выбранного номинального значения;

значение средней плотности дислокаций на верхнем и нижнем торцах монокристаллического слитка для подгруппы 2 и на нижнем торце монокристаллического слитка для подгруппы 3;

длину и диаметр монокристаллического слитка в миллиметрах;

массу нетто в граммах;

дату изготовления;

штамп технического контроля;

обозначение настоящего стандарта;

штамп органа государственной приемки (для предприятий, в которых введена госприемка).

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

з. методы контроля

3.1.    Проверку германия на монокристаллнчность проводят визуально без применения увеличительных приборов и без дополнительной обработки монокристаллических слитков.

(Измененная редакция, Изм. № 1).

3.2.    Тип электропроводности германия определяют на каждом из торцов монокристаллического слитка по методике, приведенной в обязательном приложении 1.

3.3.    Кристаллографическую ориентацию монокристаллических слитков и отклонение плоскости торцевого среза от плоскости ориентации (III) определяют по методикам, приведенным в обязательных приложениях 2 и 3.

В случае разногласий в оценке качества определение проводят по рентгеновской методике (приложение 2),

3.4.    Удельное электрическое сопротивление монокристаллического слитка измеряют по ГОСТ 24392—80 на обоих торцах в точках, расположенных — одна в центральной и четыре в периферийной области торцов в соответствии с чертежом. Расположение зондов перпендикулярно радиусу слитка.

Относительное отклонение значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения удельного электрического сопротивления рассчитывают по формуле

§D =max

Pm in Рн Рн

]•loo % } ,

где£рн — относительное отклонение значений удельного эле-

Ртах* Pm in — максимальное и минимальное значения удельного

рений в пяти точках;

электрического сопротивления из результатов изме-рн — номинальное значение удельного электрического сопротивления.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

3.5.    Плотность дислокаций на плоскости (ш) и суммарную длину малоугловых границ определяют на нижнем торце монокристал-лического слитка германия по методике, приведенной в обязательном приложении 5.

Для подгруппы 2 значение средней плотности дислокаций определяют на верхнем и нижнем торцах монокристаллического слитка.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 4).

3.6.    Диаметр измеряют на двух концах и в середине монокристаллического слитка с погрешностью не более 0,5 мм, а длину — с погрешностью не более 1 мм мерительным инструментом, обеспечивающим заданную точность измерения.

3.6.1. За диаметр некруглых в поперечном сечении монокрис-таллических слитков принимают среднее арифметической измерений минимального и максимального габаритных размеров, проходящих через центр сечения монокристаллического слитка перпендикулярно оси его роста.

3.7.    Массу монокристаллического слитка определяют взвешиванием на весах с погрешностью не более ± 1 г.

3.8.    Подвижность основных носителей заряда определяют на двух образцах отрезанных от нижнего и верхнего торцов монокристаллического слитка, по методике, приведенной в обязательном приложении 6.

3.8а. Плотность дислокаций на плоскости (100) в слитках монокристаллического германия определяют по методике, приведенной в приложении 8.

(Введен дополнительно, Изм. № 4).

3.9.    Проверку монокристаллических слитков на отсутствие внешних дефектов проводят без применения увеличительных приборов, не применяя дополнительной обработки монокристаллических слитков.

ктрического сопротивления от номинального значения;

4. УПАКОВКА, МАРКИРОВКА, ТРАНСПОРТИРОВАНИЕ И ХРАНЕНИЕ

4.1.    Каждый монокристаллический слиток германия помещают в пакет из полиэтиленовой пленки марки С по ГОСТ 10354—82. В пакет с монокристаллическим слитком вкладывают документ о качестве.

4.2.    Полиэтиленовый пакет заваривают или заклеивают лентой с липким слоем по ГОСТ 20477—86 или аналогичной и упаковывают в картонную или пластмассовую коробку с мягкой прокладкой. Место соединения крышки с коробкой заклеивают полиэтиленовой лентой с липким слоем по ГОСТ 20477—86 или аналогичной, либо крышку с коробкой перевязывают указанной лентой внахлестку.

(Измененная редакция, Изм. № 1),

4.3.    На коробку наклеивают этикетку с указанием: товарного знака или наименования и товарного знака предприятия-изготовителя;

наименования продукции; номера документа о качестве; массы нетто в граммах; даты изготовления; обозначения настоящего стандарта.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

4.4.    Картонные или пластмассовые коробки упаковывают в деревянные дощатые ящики типа III—1 по ГОСТ 2991—85 или ящики из листовых древесных материалов типа III по ГОСТ 5959—80 и уплотняют прокладкой эластичного пенополиуретана, алигнина по ГОСТ 12923—82 или гофрированного картона по ГОСТ 7376—89.

Масса упаковочного места должна быть не более 50 кг.

В каждый ящик должен быть вложен упаковочный лист с указанием:

товарного знака или наименования и товарного знака предприятия-изготовителя;

наименования продукции; массы нетто в килограммах;

количества монокристаллических слитков в ящике; даты упаковки;

фамилии и номера упаковщика.

(Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

4.5.    Маркировка ящиков — по ГОСТ 14192—77 с нанесением предупредительных знаков:

«Осторожно, хрупкое»;

«Боится сырости».

С. 8 ГОСТ 16153-80

4.6.    Монокристаллический германий транспортируют железнодорожным транспортом в крытых вагонах мелкими отправками в соответствии с правилами перевозок грузов, действующими на транспорте данного вида.

При перевозке двух и более единиц упаковки продукции проводят пакетирование грузов на плоских универсальных поддонах по ГОСТ 9078-84 при помощи стальной ленты по ГОСТ 3560—73 или проволоки по ГОСТ 3282-74 диаметром не менее 5 мм,

Габаритные размеры и масса пакета не должны превышать норм, установленных ГОСТ 24597-81.

Допускается транспортирование монокристаллического германия автомобильным и авиационным транспортом в соответствии с правилами перевозок грузов, действующими на транспорте данного вида.

Допускается транспортирование отдельными почтовыми посылками. Масса брутто ящика посылки не должна превышать 10 кг

(Измененная редакция, Изм. № 1).

4.7.    Монокристалличсскчс слитки германия должны храниться в упаковке изготовителя, в закрытых складских помещениях.

5. ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ

5.1.    Изготовитель гарантирует соответствие монокристалличес-ких слитков германия требованиям настоящего стандарта при соблюдении условий их хранения.

5.2.    Срок замены материала устанавливается 1 год со дня отгрузки продукции.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

ПРИЛОЖЕНИЕ 1

Обязательное

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТИПА ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ

Тип электропроводности определяют по образующей и торцевой поверхности монокристаллического слитка методом термозонда (термоэлсктродвиж) щей силы) или методом точечно контактного выпрямления

Метод термозонда (холодного или горячего) рекомендуется для п и р-ти-ла германия, удельное электрическое сопротивление которого при комнатной температуре менее 40 Ом*см

Тип электропроводности германия с удельным электрическим сопротивлением выше 40 Ом*см определяют методом холодного термозонда

Метод точечно-контактного выпрямления рекомендуется для образцов till р-типа германия с удельным электрическим сопротивлением выше 1 Ом-см.

Основной метод определения типа электропроводности — метод определения знака коэффициента Холла (см обязательное приложение 6)

По сравнению с основным методом рекомендуемые обладают большей локальностью и могут быть использованы для выявления сбчастей с отличающимися типами электропроводности в пределах одного монокрисчаллического слитка Для материалов с электропроводностью* близкой к собственной* рекомендуется использование основного метода определения типа электропроводности по знаку коэффициента Холла.

1. Определение типа электропроводности методом термозонда

11 Сущность метода

Метод заключается в определении полярности термоЭДС, возникающей между нагретой и более холодной областями полупроводника с помощью чувствительного нуль индикатора

з    з

I — зонд, 2 — образец, 3 — путь индикатор, 4 ~ металлическая пластинка

Черт 1

Градиент температуры создается локальным нагревом (охлаждением) монокристаллического слитка в результате прижима нагретого (охлажденного) зонда 121 Аппаратура

Принципиальная схема для определения типа электропроводности методом горячего (а) и холодного термозонда (б) приведена на черт 1

Зонд, изготовленный из любого токопроводящего материала, рекомендуется использование материалов, нс подверженных коррозии при нагревании или работе во влажной среде (например, никеля) Вторым контактом служит металлическая пластина из меди, свинца или алюминия

3 Зак 1923

Индикатор — гальванометр с чувствительностью не ниже 4* 10—9 A/дел, например, типа М-195/2 или М-195/3. Допускается применение других индикаторных устройств с чувствительностью не ниже указанной

Хладоагент —■ жидкий азот по ГОСТ 9293—74 или двуокись углерода твердая техническая по ГОСТ 12162—77.

Зонд нагревают любым нагревательным устройством; температуру горячего зонда контролируют по расплавлению сплава Вуда (температура плавления 60,5 °С).

(Измененная редакция, Изм. № 2).

1.3. Подготовка к измерению

При наличии на поверхности монокристаллического слитка видимых невооруженным глазом следов окисления, побежалостей с поверхности монокристаллического слитка удаляют окисную пленку (травлением, шлифовкой и т. д.); монокристаллические слитки промывают в деионизованной воде и просушивают фильтровальной бумагой. Допускается измерение на поверхности, полученной в результате резки алмазным инструментом или обработки абразивными материалами.

14. Выполнение измерений

1 4.1. Прижимая нагретый (охлажденный) зонд к поверхности монокристаллического слитка, включенного в измерительную схему способом, показанным на черт. 1, добиваются отклонения стрелки нуль-индикатора

1.4 2. Тип электропроводности определяют в соответствии с обозначениями черт. 1 при отклонении стрелки нуль-индикатора, большем на 30 % полной шкалы прибора. Для выполнения указанного требования допускается увеличение разности температур между зондом и монокристаллическим слитком.

21. Сущность метода

Выпрямляющие свойства контакта металл—полу проводник    определяются

типом основных носителем заряда в полупроводнике Метод сснован на качественном сравнении сопротивлений точечного контакта при разтичных полярностях приложенного напряжения. Тип электропроводности сире, едяют по отклонению стрелки чувствительного к току нуль-индикатора или по виду всльгампсрной характеристики, получаемой на экране осциллографа

2. Определение типа электропроводности методом точечно-контактного выпрямления

5

а

о

I - ^очечный контакт (зонд),    2 — монокриста i ычсскич

омический контакт, 4 — автотрансформатор, 5 — ну 0 — отвод к горизонтальным пластинам осцил'ографа, вертикальным пластинам осциллографа, 8 — раушро

иста 1 ычсскич слиток; J — атор, 5 — нуль индикатор; осцил 'ографа, 7 — отвод к 8 — pei у шрозомюе сопро-

- нуль индикатор; фа, 7 — отвод к

тивление

Черт 2

22 \nnapa гура

Принципиальная схема для определения типа электропроводности точечно контактно; о выпрямления с применением н\ль-индикатора {а) яографа {6) приведена на черт 2

п-тип

методом и осцил-

р-тип Черт. 3

В зависимости от удельного электрического сопротивления образца и чувствительности ссцил по^рафа встичина сопротивления (R) может быть различной, но должна обеспечивать полную развертку осциллографа по вертикальной оси

Зонт, изготовленный из вольфрамовой или стальной проволоки Вторым контактом служит металлическая пластина из меди, свинца или алюминия Омический контакт получают нанесением на поверхность образца контактною спла ва Например, при помощи алюмогаллиевого карандаша или индий — галлиевои пасты

Индикаторные устройства — гальгапометры с чувствительностью 4*10—9 А/дел, например, типа М 196/2 или М-195/3, осциллографы, пригодные для наблю дения вольтамп^рных характеристик, типа С1—5, С1 —19, С1—48 или аналоюч-ные нм

23    Подготовка к измерению

При наличии на поверхности монокристаллического слитка видимых нево о-руженным глазом следов окисления, побежалостей с поверхности монокристал-лическс го слитка удаляют окисную пленку (травлением, шлифовкой и т т ), монокриста тлические слитки промывают в деионизованной воде и просушивают фильтровальной бумагой Допускается измерение на поверхности, полученной в результате резки алмазным инстр; снюм или обработки абразивными материалами

24    Выполнение измерении

24 1 При измерениях монокристаллический слиток включают в измерительную схем\ способом, показанным на черт 2

2л 2 Прижимом измерительного зонда к поверхности монокристаллического слитка добиваются отклонения стрелки нуль-индикатора или появления на экране осци злографа вольтамперной характеристики вида, показанного на черт 3, свидетельствующей о наличии в цепи выпрямляющего контакта

Отклонение стрелки нуль индикатора должно быть больше 30 % полной шкалы прибора

Тип электропроводности устанавливают з соответствии с черт 2 и 3

Метод не вводит количественных характеристик Характерный изгиб кривых (см черт 3) не должен рассматриваться с количественной точки зрения

2    4 3 При использовании метода точечно контактного выпрямления с применением осциллографа нельзя определять тип электропроводности по изображению характеристики выпрямления, если характеристика не имеет изгиба или изогнута дважды

Подобные эффекты возникают из за наличия п—р-переходов в материале

3. Требования к квалификации оператора

3    1 Квалификация оператора должна соответствовать требованиям измерителя электрических параметров полупроводниковых материалов третьего или более высокого разряда в соответствии с действующими тарифно-квалификационными разрядами

4. Требования к технике безопасности

4 1 Устройство и техническая эксплуатация применяемого электроизмерительною оборудования должны соответствовать требованиям «Правил технической эксплуатации электроустановок потребителей и правил техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», утвержденных Гос-электронадзором

По условиям электробезопаснссти электроустановки, применяемые для измерения типа электропроводности, относятся к электроустановкам напряжением до 1000 В

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

Обязательное

ИЗМЕРЕНИЕ УГЛА ОТКЛОНЕНИЯ ПЛОСКОСТИ ТОРЦОВОГО СРЕЗА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО СЛИТКА ГЕРМАНИЯ ОТ ЗАДАННОЙ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ПЛОСКОСТИ И ИДЕНТИФИКАЦИЯ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ОРИЕНТАЦИИ ПЛОСКОСТИ ТОРЦОВОГО СРЕЗА СЛИТКА С ЗАДАННОЙ КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКОЙ ПЛОСКОСТЬЮ РЕНТГЕНОВСКИМ ДИФРАКТОМЕТРИЧЕСКИМ МЕТОДОМ

Методика предназначена для измерения у!ла отклонения плоскосш торцового среза монскристаллического слитка германия от заданной кристалл01 рафиче-ской плоскости и идентификации кристаллографической ориентации плоскости торцового среза с заданной кристаллографической плоскостью (hkl) на пластине, отрезанной параллельно плоскости торцового среза

Методика применима в интервале >глов отклонения плоскости торцового среза ст заданной кристалло! рафической плош ости нс более 5 иловых градусов

1. Сущность метода

1 1 Метод основан на использовании явления дифракции рентюновского характеристического излучения в монокристаллическом образце, которое для кристаллов кубической сингонии имеет место при выполнении условия

n\Vh*+k*-

0=arcsin -2а- >    (О

где а — период решетки монскристаллического образца, нм,

I— длина волны характеристического излучения, нм,

0— угол скольжения — угол между падающим на монокристаллический образец первичным пучком рентгеновского излучения и отражающей кристаллографической плоскостью (hkl); hkl — индексы Миллера кристаллографической плоскости,

п — порядок отражения,

1 2. Регистрацию интенсивности отраженного (дифрагированного) излучения проводят с помощью детектора рентгеновского излучения, установленного под углом 2 0 к первичному пучк\

1 3 Геометрическую плоскость пластины (шайбы) совмещают с осью вращения гониометра Первичный пучок направляют на поверхность пластины, пластину вращают вокрут оси рентгеногониометра до тех пор, пока плоскость (hkl) не составит угол 0 с первичным пучком При этом возникает отраженный (дифрагированный) монокристаллической пластиной пучок, который регистрируется детектором рентгеновских квантов Угловое положение пластины у , соответствующее максимальной интенсивности отраженного пучка, измеряют по шкале рентгеногониометра

1 4, Угол отклонения у геометрической плоскости пластины от заданной кристаллографической плоскости (hkl) определяют по формуле

У-

Фо° Ф180 2 ~

j Ф900    Ф2700

V 2

2

9

m

где <Pqo , ?9о° > ?ieo°> ^2703 — значение углов у при различных азимутальных положениях пластины, отличающихся поворотом на углы 0°, 90°, 180° и 270° вокруг нормали к геометрической плоскости пластины

1 5 Угол отклонения у геометрической плоскости торцового среза слитка определяют в соответствии с пунктами 1 1—L4 по пластине, отрезанной параллельно плоскости торцового среза

1 6 Кристаллографическую ориентацию плоскости торцового среза считают идентичной заданной кристаллографической плоскости (hkl) (таблица), если угол у не превышает значений, указанных в технических требованиях на материал Если угол у превышает допустимые значения, а также при отсутствии отраженного образцом пучка при выполнении пп 1.2 и 1.3 в двух азимутальных положениях образца, отличающихся на 90°, то кристаллографическая ориентация плоскости торцового среза не идентична заданной кристаллографической плоскости

Угол скольжения © для кристаллографической плоскости (hkl) монокристаллического германия (СиКа — излучение, А — 0,1540 нм

(1,540 А), а—0,5658 нм (5>,658 А).

Таблица 1

Индекс кристаллографической плоскости

(111)

Индекс отражения

111

0 hkl

13°38'

2. Аппаратура, средства измерений, материалы

21 Рентгеновские установки типов УРС-50И(М) ДРОН 2 (ТУ 25—05 2420—79); ДРОН-ЗМ (ТУ 25—05 2420—79), установки на их основе и другие средства измерений, не уступающие перечисленным по техническим и метрологическим характеристикам, а также аттестованные нестандартные средства измерений с абсолютной погрешностью измерения ориентации на стандартных образцах не более ±8 угловых минут

2 2 Станок для резки с внутренней режущей кромкой типа «Алмаз 6» или другие аналогичные станки, не уступающие ему по техническим и метрологическим характеристикам

2 3 Индикатор многооборотный по ГОСТ 9696—82

2 4 Стойка с плоским столиком С Ш по ГОСТ 10197—70

2 5 Транспортир

2 6 Стеклограф (карандаш)

2 7 Бумага фильтровальная по ГОСТ 12027—81

2    8 Бумага промокательная по ТУ 13—7308001—758—88

3. Подготовка установки к измерениям

3    1 Подготавливают и проверяют установку в соответствии с приложенной к ней эксплуатационной документацией

3 2 Устанавливают по шкалам гониометра для «образца» угол 0ИЬ а для детектора — 2 В

3 3 Устанавливают режим работы напряжение на трубке 10—15 кВ, анодный ток 1—5 m А.

3 4 Устанавливают в коллиматор гониометра вертикальные щели № 1 и 2 шириной 0,1 мм каждая (при использовании стандартных средств измерения).

3 5 Проверяют правильность юстировки оптической схемы рентгеновской установки с помощью стандартного образца (пластины, соответствующей ориентации [hkl] с погрешностью не более 3')

3 6 Измерения проводят на пластинах, отрезанных в соответствии с п 15, толщиной от 0,5 до 20 мм, с указанием стороны, обращенной к торцовому срезу слитка, а также заданной кристаллографической ориентации плоскости торцового среза слитка, от которого отрезана пластина

Пластину, отрезанную от плоскости торцового среза слитка, перед измерениями не шлифуют

4. Подготовка пластины к измерениям

4 1 Пластину промывают водой

4 2 Пластину высушивают с помощью фильтровальной бумаги

4    3 Наносят на поверхность пластины прямоугольную систему координат с помощью транспортира и карандаша

5. Условия проведения измерений

5    1 Температура окружающей среды от +10 до +35 °С

5 2 Относительная влажность не более 80 % при 25 °С

5 3 Остальные условия проведения измерений должны соответствовать требованиям, изложенным в свидетельстве о метрологической аттестации средств измерения

6. Выполнение измерений

6 1 Включают установку, устанавливают рабочий режим

6 2 Останавливают пластину на гониометрическою приставку (держатель образцов) так, чтобы измеряемая поверхность была прижата к базовой плоскости держателя образцов, а ось X была параллельна горизонтальной плоскости дифракции и направлена в сторону детектора

6 3 Подают напряжение на рентгеновскую трубку и открывают шторку перекрытия первичного пучка

6 4 Вращая держатель с исследуемым образцом вокруг оси гониометра в Пределах угла <рдо= 0 +10°, ищут положение, в котором возникает отраженный

пучок

6 5 При отсутствии отраженного пучка поворачивают пластину на 90° относительно исходного положения и вновь пытаются получить отражение, вращая пластину вокруг оси гониометра в пределах у гла “    ±10° Отсутствие отра

жения и в этом положении пластины означает нендентичность кристаллографической плоскостью

6 6 Закрывают шторку перекрытия первичного пучка (или снимают напряжение с рентгеновской трубки при отсутствии шторки)

6 7 При наличии отраженного пучка выводят пластину в положение максимального отражения, вращая ее вокруг оси гониометра в пределах угла <р0о=е±Н^

6 8 Выполняют операцию по п 6 6

6 9 Определяют значение угла <Pi80° по шкале образца гониометра

6 10 Поворачивают пластину на 180° относительно положения по п 6 2, вращая ее вокруг нормали к поверхности, и повторяют операции по пп 6 3, 6 7 и 66

611 Определяют значение угла    по шкале образца гониометра

6 12 Устанавливают пластину в гониометрическую приставку (держатель образцов) так, чтобы измеряемая поверхность была прижата базовой плоскостью держателя образцов, а ось У была направлена в сторону детектора и параллель на плоскости дифракции, затем повторяют операции по пп 6 3, 6 7 и 6 6

613 Определяют значение угла^о по шкале образца гониометра

6 14 Поворачивают пластину на 270° относительно положения по п 6 2, вращая ее вокруг нормали к поверхности, и повторяют операции по пп 6 3,67 и 6 6

6    15 Определяют значение угла о по шкале образца гониометра

7. Обработка результатов измерений

71 Вычисляют значение угла разориентации плоскости торцового среза слитка от заданной кристаллографической плоскости (Ш) по формуле (2)

7    2 Проводят идентификацию кристаллографической ориентации плоскости торцового среза с заданной кристаллографической птоскостью в соответствии с п 1 6

8. Представление результатов измерений и числовые значения показателей

точности

8    1 За результат измерения угла отклонения у плоскости торцового среза от заданной кристаллографической плоскости (Ш) принимают величину, вычислен ную по формуле (2).п 14

8 2 Погрешность измерения величины у не должна превышать ±20' с дове рительной вероятности Р —0,95

9. Требования к квалификации оператора

Квалификация оператора, необходимая для выполнения измерений по данной методике, должна соответствовать квалификации лаборанта рентгенострук-турщика четвертого разряда или более высокого разряда «Единого тарифно квалификационного справочника работ и профессий рабочих»

10. Требования техники безопасности

10 1 Устройство и техническая эксплуатация оборудования, применяемого в соответствии с настоящей методикой, должны отвечать требованиям «Правил технической эксплуатации электроустановок потребителей и правил техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», Москва, «Энер-гоатомиздат», 1986 г (в разделе об установках напряжением свыше 1000 В)

10 2 Устройство и техническая эксплуатация рентгеновскою оборудования, применяемого в соответствии с настоящей методикой, должны отвечать требованиям «Основных санитарных правил при работе с радиоактивными веществами и другими источниками ионизирующих излучений» (ОСП 72/80) и «Норм радиационной безопасности»

Притожение 2 (Измененная редакция, Изм. № 2).

ПРИЛОЖЕНИЕ 3

Обязательное

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОРИЕНТАЦИИ И ОТКЛОНЕНИЯ ПЛОСКОСТИ ТОРЦОВОГО СРЕЗА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО СЛИТКА ОТ ПЛОСКОСТИ ОРИЕНТАЦИИ ОПТИЧЕСКИМ МЕТОДОМ
1. Сущность метода

В основ) положен метод ориентации монокристаллических слитков по световым фигурам, основанный на отражении световых лучей в строго определенном относительно кристаллографических осей направлении протравленного в специальных травитслях монокристаллического слитка германия.

Отраженный от образца прямолинейный пучок света образует на экране световую фигуру

для (111) ■— трехлучевую звезду (может быть треугольник),

для (100) — четырехлучевую звезду (может быть четырехугольник);

для (ПО) — двухл\чевую звезду (может быть вытянутый четырехугольник).

По форме световой фигуры определяется кристаллографическая ориентация, а по ее месторасположению на экране судят о степени отклонения плоскости среза от заданной кристаллографической плоскости.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

2.    Аппаратура и материалы

Установка ЖК78 08 или аналогичная.

Материалы абразивные по ГОСТ 26327—84.

Инструменты алмазные с применением алмазных порошков по ГОСТ 9206—80

Размер зерна основной фракции применяемых абразивных порошков не должен быть более 100 мкм

Кислота фтористоводородная по ТУ 6—09—-3401—75

Перекись водорода по ТУ 6—02—570—75.

Вода питьевая по ГОСТ 2874—82 или техническая

(Измененная редакция, Изм. № 2).
3.    Подготовка к измерению

3 Г Подготовка монокристаллических слитков заключается в шлифовке торца слитка абразивным материалом или алмазными инструментами (на поверхности не допускаются сколы, уступы, трещины) и последующем травлении в течение 3—5 мин в смеси, содержащей фтористоводородную кислоту (HF), перекись водорода (Н202) и воду (Н20) в соотношении компонентов

для (111) и (ПО) — HF;H202:H20-1 2*4;

для (100) — HF;H202:H20-2-2:4.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

3 2. Подготовка установки заключается в проверке нулевого положения плоскости предметного столика с помощью контрольного зеркала, помещенного на эту плоскость, при этом световое пятно выводится в перекрестие на экране с помощью ручки угломерной головки.

4, Проведение измерений

Установить монокристаллический слиток контролируемым торцом на плоскость предметного столика на отверстие в этой плоскости

Повернуть монокристаллический слиток так, чтобы центр световой фигуры оказался на горизонтальной или вертикальной шкале перекрестия экрана

Вращая лимб угломерной головки, совместить центр световой фигуры с перекрестием экрана

Отсчитать по лимбу величину угла отклонения плоскости торцевого среза от заданной кристаллшрафической плоскости

Пр имечание Допускается определять угол отклонения непосретственно по шкале экрана, зная цену деления линейной шкалы в угловых величинах

При использовании аппаратуры, рекомендованной в разд 2, и соблюдении процедур подготовки и выполнения измерений (разд 3 и 4), погрешность определения ориентации не превышает 30'

5. Требования к квалификации оператора

5    I Квалификация оператора в объеме, необходимом для выполнения измерений, должна соответствовать требованиям измерителя электрических па раметров полупроводниковых материалов третьего и более высокого разряда в соответствии с действующими тарифно-квалификационными разрядами

6. Требования к технике безопасности

6    1 Устройство и техническая эксплуатация применяемого электроизмерительного оборудования должны соответствовать требованиям «Правил технической эксплуатации электроустановок и правил техники безопасности при эксплуа тации электроустановок», утвержденных Госэлектронадзором

По условиям электробезопасности электроустановки, применяемые для оптической ориентации монокристалличе ских слитков германия, относятся к электроустановкам напряжением до 1000 В

ПРИЛОЖЕНИЕ 5*

Обязательное

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПЛОТНОСТИ ДИСЛОКАЦИЙ НА ПЛОСКОСТИ (111) И СУММАРНОЙ ДЛИНЫ МАЛОУГЛОВЫХ ГРАНИЦ В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СЛИТКАХ

1. Область применения методики

Метод применим для монокристаллических слитков германия п- и р-типа электропроводности с удельным сопротивлением более 0,С 0045 Ом-см и плотностью дислокаций от 0 до ЫО'" см-(Измененная редакция, Изм. № 1).

* ПРИЛОЖЕНИЕ 4 (Исключено Изм. № 1).

2. Реактивы, материалы и аппаратура

Кислота фтористоводородная по ГОСТ 2567—89, ГОСТ 10484—78.

Кислота азотная по ГОСТ 4461—77, ГОСТ 11125—84, ГОСТ 701—89

Калий бромистый по ГОСТ 4160—74

Калий железосинеродистый по ГОСТ 6816—79.

Калий гидроокись, ос. ч.

Медь азотнокислая

Вода питьевая по ГОСТ 2874—82 или техническая.

Материалы абразивные по ГОСТ 26327—84 Порошки алмазные по ГОСТ 9206—8 ).

Инструменты алмазные с применением алмазных порошков.

Крупность основной фракции применяемых алмазных порошков и абразивных материалов не должна быть более 100 мкм

Линейка измерительная металлическая по ГОСТ 427—75 Бязь отбеленная по НТД.

Бумага фильтровальная лабораторная по ГОСТ 12026—76.

Марля по ГОСТ 9412—77, ГОСТ 11109—90.

Ткань упаковочная суровая.

Весы ВЛТК-2 или ВНЦ-2 по ГОСТ 23676—79 Станок шлифовальный типа ЖК 7809 или аналогичный

Микроскопы металлографические типа МИМ-6, МИМ-7, МИМ-8, МИМ-8М или аналогичные

Микроскоп инструментальный типа МНИ 4 или аналогичный, ММР-4 или аналогичный

Секундомер типа «Агат» по НТД или аналогичный (Измененная редакция, Изм. № 2). 3

3. Подготовка к измерениям

3 1. Контроль плотности дислокаций может осуществляться на торцевых поверхностях монокристаллических слитков, а также на прилегающих к исследуемой поверхности шайбы

Выявление дислокаций на торцах монокристаллических слитков или прилегающих к ним шайбах проводят на шлифованных и химически полированных по* верхностях

32    Механическая обработка

Измеряемые поверхности торцов монокристаллических слитков или шайб шлифуют абразивным материалом, алмазным порошком или алмазным инструментом

Шлифованные поверхности монокристалличсского слитка или шайбы промывают в воде и сушат фильтровальной бумагой или обтирочным материалом.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

33    Химическая полировка

3 3 1 Для химической полировки торцов монокристаллических слитков германия или шайб с ориентацией (III) используют полирующий раствор следующего состава

кислота фтористоводородная — 25 объемных частей,

кислота азотная — 25 объемных частей,

калий бромистый ■— 0,5 г/л раствора.

3 3 2 Торцы монокристаллических слитков или шайбы погружают в ванну с полирующим раствором так, чтобы вся измеряемая поверхность была покрыта тпавителем

33 3 Продолжительность химической полировки составляет 4—5 мин Полировку прекращают при появлении бурых паров

33    4 Монокристаллические слитки или шайбы посте выгрузки из полирующего раствора быстро переносят в чашку с водой, затем тщательно промывают в воде и сушат фильтровальной бумагой или обтирочным материя том

(Измененная редакция, Изм № 2).

34    Выявление дислокаций на моно кристалл и веских слитках с ориентацией (III)

34 1 Для выявления дислокаций на торцах монокристалтического слитка или на шайбах используют травильный раствор состава калий железосинеродистый — 80 г, калий гидроокись — 120 г, вода — 1000 см3

3 4 2 Торцы монокристаллических слитков или пластины погружают в квар цевый или фарфоровый стакан и заливают травильным раствором из расчета не менее 10 см3 на 1 см2 контролируемой поверхности образца (Измененная редакция, Изм. № 2).

3 4 3 Продолжительность травления в кипящем растворе составляет 2—3 мин Для монокристаллических слитков с удельным сопротивлением 0,00045—0,1 Ом*см продолжительность травления составляет 4—5 мин (Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

3 4 4 Монокристаллические слитки или шайбы выгружают из травильного раствора, промывают в воде и сушат фильтровальной бумагой или обтирочным материалом

(Измененная редакция, Изм. № 2).

4 I Плотностью дислокаций считают среднее арифметическое ямок травления на 1 см2 поверхности шлифа

4 1 1 Просмотр измеряемой поверхности проводят на металлографическом микроскопе при увеличении 40—360

Рекомендуется проводить выбор увеличения в зависимости от плотности дислокаций согласно табл 1

4. Проведение измерения

Таблица 1

Плотность дислокации см —

Увеличение

МО1—5*102 5*102—МОМО3—5*105*103—МО1.104—5*104

От 40 до 60 Св 60 до 80 » 80 » 120 » 120 » 170 » 170 » 360

4 1 2 Выбор полей зрения проводят в соответствии с черт 1 и табл 2

Таблица 2

Расположение полей измерения для контроля плотности дислокаций

мм

Диаметр

ооразда

Расстояние полей измере ния от центра образца

Диаметр

образца

Расстояние полей измере ния от центра образца

точки

1, 6 5 9

точки 2 7, 4, 8

точки

1 6, 5 9

точки 2 7, 4 8

14—15

6

4

40—41

18

11

16—17

7

5

42—43

18

12

18—19

8

5

44—45

19

13

20—21

9

6

46—47

20

13

22—23

10

6

48-49

21

14

24—25

11

7

50—51

22

14

26—27

11

7

52—53

23

15

28-29

12

8

54-55

24

15

30—31

13

8

56-57

25

16

32—33

14

9

58-59

25

17

34—35

15

10

60—61

26

17

36—37

16

10

62—63

27

18

38—39

17

11

64—65

28

18

Д 1 3 Значение плотности дислокаций (ND) рассчитывают по формуле

2Q

о -    9 S

где Qn — число ямок травления, подсчитанное в каждом из девяти полей зре ния,

S — площадь поля зрения, определяемая при помощи объектмикрометра, прилагаемого к микроскопу, см4 1 1—4 1 3 (Измененная редакция, Изм. № 2).

4 1 4 (Исключен, Изм. № 2).

4 1 5 Суммарную длину малоугловой границы определяют с помощью линейки

Примечание При возникновении разногласий в оценке малоугловой границы ее параметры уточняют инструментальным микроскопом.

5. Погрешность измерения

5    1 Погрешность измерения определяется выбором полей зрения и зависит от равномерности распределения дислокаций по измеряемой поверхности Для уменьшения погрешности измерения проводят в соответственно выбираемых по лях (см разд 4)

Погрешность измерения плотности дислокации ±50 %

Погрешность измерения суммарной длины малоугловой границы ±0 5 мм

В паспорте плотность дислокаций указывается одной значащей цифрой, умноженной на порядок определяемого значения плотности дислокации

6. Требования к квалификации оператора

6    1 Квалификация оператора, необходимая для выполнения измерении, должна соответствовать требованиям, предъявляемым к измеригелю электрических параметре в полупроводниковых материалов, третьег о ила более высокого разряда в соответствии с действующими тарифно квачифш анионными разрядами

7. Термины и определения

7 1 Дислокация — структурное лиисиное hccoi ершенст ( образующее вн>т ри кристалла границу зоны сдвига При химичсс! ou траг iu uii выход дислока ции на исслс дуемую поверхность выя щстся в вп е шс щ л ионной ямки травления, форма которой опрс дслястся орист аипси not с р i    >    11а плоскости

(ш) дислокационные ямки в светзом поле микрос спа пя    п зся в виде тем

ных равносторонних или равнобе фепньгх трсуго шпиков (ч от 2)

Увеличение 225 Черт 2

Дислокационные ямки травлсния еле оет отличать от ямок травления, об^с явленных микродефектами Последние выявляются в виде неглубоких светлых ямок травления (черт 3)

У\ еличение 225 Черт. 3

7.2 Полоса скольжения — линия пересечения системы плоскостей, по которым произошло скольжение с исследуемой поверхностью кристалла При избирательном химическом травлении полоса скольжения выявляется в виде прямолинейной цепочки дислокационных ямок травления, ориентированных вдоль <110> на плоскости шлифа Ш (черт 4)

Основания дислокационных ямок травления в полосе скольжения расположены по одной прямой (черт 5)

7 3 Малоугловая граница — переходная область между соседними частями кристалла, разориентированными друз относительно друга на угол 10—60", состоящая из одною или нескольких рядов дислокаций При избирательном травлении малоу1ловатая iранипа выявляется в виде цепочки дислокационных ямок травления, ориентированных вдоль <112> на плоскости шлифа (III) (черт. 6).

Цепочка можеi иметь отдельные разрывы величиной не более величины двух ямок травления

Увеличение 1,5 Черт. 4

Увеличение 225 Черт. 5

Ш.....*

Увеличение 1,5

а — малоугловые границы < 112> на плоскости, (III) в виде трехлучевой звезды; 5 — одиночная, малоугловая граница < 112> на плоскости (III).

Черт. 6

Дислокационные ямки травления в малоугловой границе на плоскости (III) распределены так, что вершина предыдущей направлена к основанию последующей (черт. 7).

Увеличение 225 Черт. 7

Дислокационный ряд, в котором расстояние между вершиной ямки травления и основанием последующей превышает величину ямки травления, не считается малоугловой границей.

ПРИЛОЖЕНИЕ б

Обязательное

ИЗМЕРЕНИЕ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ,

КОЭФФИЦИЕНТА ХОЛЛА ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТИПА ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ, КОНЦЕНТРАЦИИ И ХОЛЛОВСКОЙ ПОДВИЖНОСТИ

ОСНОВНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ

ГЕРМАНИИ

Настоящая методика предназначена для измерения удельного электрического сопротивления, коэффициента Холла и определения на основе этих измерений типа электропроводности, концентрации и холловской подвижности основных носителей заряда.

Область распространения методики выполнения измерений (МВИ) и нормы на показатели точности приведены в табл. 1.

Таблица 1

Л

Параметры материала

Суммаоная

ПО-

Наименование

материала

Тип электропроводности

Удельное электрическое СО-

Коэффициент

Холла

см3/Кл

f

Концентрация основных

Подвижность основных носителей заряда ц , см^-'с-1

Температура измерении,

К

грешность методики выполнения измерений с Р=0,95 %

противление Р , Ом-см

носите 1ей заряда /V, см-3

Р

N

Германий

монокрис-

таллический

нелегиро

ванный

п или р

ЬКН-1,6

Более

1,25-Ю2

Менее

5-Ю16

Не менее

Ю3

2Э6

10

20

23

Германий легированный сурьмой

п или р

МО-1—1,6

Более

1,25-Ю2

Менее

5-Ю16

Не менее Ю3

295

10

20

23

Германий легированный галлием

п или р

ыо-1—1,6

Более

1,25-Ю2

Менее

5-Ю10

Не менее 103

296

10

20

23

28 ГОСТ 16153—80

1. СУЩНОСТЬ МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЙ

1.1.    Определение удельного электрического сопротивления основано на измерении разности потенциалов Ux продольного электрического поля Ех и электрического тока 1Х > вызываемого этим полем

1.2.    Определение коэффициента Дн Холла основано на измерении разности потенциалов Uy поперечного электрического поля Еу, возникающего в образце, помещенном в магнитное поле с индукцией Вг> при протекании через него электрического тока 1Х в направлении, перпендикулярном магнитному полю.

1 3. Тип электропроводности полупроводникового материала устанавливают по знаку ЭДС Холла в соответствии с черт 1.

1.4. Концентрацию и подвижность основных носителей заряда определяют расчетным путем на основании данных по измерению удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла

2. ТРЕБОВАНИЯ К СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ

2.1. Структурная схема измерительной установки представлена на черт. 2.

1 — образец, 2 — магнит, 3 —источник постоянного тока, 4 — измери тельное устройство, 5 — коммутирующее устройство

Черт 2

2 1 1 Основная относительная погрешность установки не должна превышать при измерении удельного электрического сопротивления ±5 %, коэффициента Холла ±8%

22 Технические требования к элементам структурной схемы

2.2 1. Магнит, обеспечивающий создание магнитных полей изменяемой полярности, должен соответствовать требованиям, предъявляемым к техническим характеристикам магнита в зависимости от измеряемых параметров материала, приведенным в табл 2.

Таблица 2

Подвижность основных носителей заряда р- , см2В— ’с— не более

Магнитная индукция в зазоре магнита В Тл, не более

Допустимая неоднородность магнитного поля в облает» измерения, % (±)

5-104

0,5

3

2 2 2 Погрешность измерения магнитной индукции не должна превышать

3%

2 2 3 Источник постоянного тока изменяемой полярности должен удовлетворять требованиям к техническим характеристикам источника тока в зависимости от измеряемых параметров материала, приведенных в табл 3.

Таблица 3

Верхний предел удельного

Значение электрического

Допустимая нестабильность

электрического сопротивле

тока I, А не ботее

электрического тока за

ния р , Ом*см, не более

время измерения % (±)

мо°

ыо-1

1,0

1,6*1 о1

мо-2

1,0

2 2 4 Погрешность измерения силы электрического тока не должна превы шать 1 %

22 5 Прибор для измерения электрического напряжения должен удовлетворять требованиям к техническим характеристикам измерительного прибора в зависимости от измеряемых параметров материала, приведенным в табл 4

Таблица 4

Удельное электрическое сопротивле ние р , Ом см не более

Чувствительность В

Входное электричес

кое сопротивление

R , Ом, не менее вх

Погрешность изме рения электрического напряжения %, не более

1-10° МО-6

МО1 мо-6

мо2 ыо-5

МО4 1 МО5 1 МО6 1

2    3 Коммутирующее устройство должно обеспечивать проведение измерений с использованием одного измерительного прибора Сопротивление изоляции монтажа и контактов коммутирующего устройства должно быть не менее входного сопротивления измерительного прибора

3. ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА

3    1. Держатель образца, обеспечивающий

размещение образца с геометрическими размерами согласно п 5 1, соответствие электроизоляционных свойств конструкционных материалов требованиям к входному сопротивлению измерительного прибора,

перпендикулярность плоскости образца направлению магнитного поля (допустимое отклонение от перпендикулярности не более 3°),

возможность проведения измерений при затемнении образца 3 2 Криостат для проведения измерений при температуре кипения жидкого азота

3 3. Прибор для измерения магнитной индукции с погрешностью не более 3 % типа Ш-18

3 4 Индикатор часового типа по ГОСТ 577—88 для измерения толщины образца с погрешностью не более МО'3 см

3 5. Микрометр по ГОСТ 65С 7—90 или индикатор многооборотный по ГОСТ 9696—82 для измерения толщины образца с погрешностью не более 4* 10—4 см.

3 6. Секундомер.

3 7 Станки резки кристаллов алмазным диском типа Алмаз-6 3 8 Азот жидкий технический по ГОСТ 9293—74

3    9 Допускается использование инструментов и материалов, не уступающих указанным по метрологическим и техническим характеристикам

4. ПОДГОТОВКА ОБРАЗЦОВ К ИЗМЕРЕНИЯМ

4    I Измерения выполняют на образцах в виде плоскопараллельных пластин, удовлетворяющих требованиям к характеристикам, образцов, приведенным в табл 5

Таблица 5

Поперечный линейный размер образца L, см, не менее

Толщина образца d, см

Допустимое отклоне ние от среднего по толщине образца, % ч-

Отношение линейных размеров контактов к минимальному расстоянию между ними, не более

0,7

0,02—0,1

5,0

0,1

0,7

ОД—0,2

2,5

0,1

4 2 На образец наносят четыре омических контакта, располагая их на боковой поверхности или периферии пластины (черт 3)

4    3 Обработку поверхности образца и нанесение омических контактов осуществляют в соответствии с методическими указаниями, утвержденными в обязательном порядке

5. УСЛОВИЯ ПРОВЕДЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ

5    1 Измерительную установку располагают в помещении вдали от источников сильного электромашитного излучения

5    2 Измерения выполняют при фиксированной температуре в диапазоне (23 + 2) СС или при температуре кипения жидкого азота

6. ОПЕРАЦИИ ВЫПОЛНЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ

6    1 Измеряют толщину образца в трех точках одной — в центре и двух — на периферии За результат измерений принимают среднее арифметическое полученных значений Толщину образца измеряют с погрешностью не более 10-3 при контроле образцов толщиной более 0,06 см, с погрешностью не более 4-1СН4 — при контроле образцов толщиной не более 0,06 см

6 2 Образец присоединяют к держателю Держатель с образцом помещают в криостат с жидким азотом Через образец пропускают электрический ток, используя соседняюю по периметру образца пару контактов

6 2 1 Значение электрического тока уста навливают в соответствии с требованиями табл 3

6 2 2 Регистрируют значения электрического тока и разности потенциалов, возникающей на второй паре контактов

и3 4

( + /1 2 )

(-'l 2

)

4

( + /3,2 )

Ux 4

(-'3 2

)

Щ,2

(+'3 4 )

"l 2

(-'3. 4

)

^2,3

( + 4 4 )

^2 3

(-'l 4

)

Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт 3)

6 3 Устанавливают фиксированное значение магнитной индукции в зазоре электромагнита

6 3 1 Пропускают электрический ток через образец, используя противоположную по периметру образца пару омических контактов

632 Значение электрического тока устанавливают в соответствии с требованиями табл 3

6 3 3 Регистрируют значе ння магнитной индукции, электрического тока и разности потенциалов, возникающей на другой пар контактов

^2,4

( + *1,3

, +В)

и 2 4

’Л,3 :

, +В)

^2,4

(' *1,3

, -В)

U 2 4

( + /1 3

. -В)

^1,3

( + /2 4 .

. +В)

^.,3

4

, +В)

^ 1.3

( *2 4 ,

. В)

У 1.3

( + /2, 4 ,

, -В)

Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт 3)

Пр имечание Значения электрического тока при измерениях в пределах пункта 6 2 или 63 должны быть одинаковы, значения электрического тока при выполнении измерений разных пунктов могут различаться

7. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ

7 1 Вычисляют значения напряжений U# , U х% по Ф°РмУлам

U/3.4 (+')-Ц*,4 (-'Н</2.3 (+')-</*,3 ("I)]

4

WltA (+0-^,4 (-0+^1.2 ( + П~ии2 (-/)]

U х2    4

(1)

(2)

При вычислении значений напряжений Ux t UXz алгебраически учитывают

знаки величин, полученных при измерениях

7 2 Вычисляют значения коэффициентов , а2 по формулам

<*3.4 ( + 0-u*.i <-*)

ai"    ^f3(+^)-y2f3(-0    {6)

^1,4 ( +    С—/)

*2“    </2,1 (+П-и ( /)    (4)

При вычислении коэффициентов ах и алгебраически учитывают знаки ве личин, полученных при измерениях, и делят большую по абсолютной величине сумму на меньшую, чтобы получить результат более I

7 3 Определяют поправочные коэффициенты/1=f(a1) и f2~f(a2) по табл 6

Таблица 6

а

f

a

f

а

f

1.0

1,000

1,5

0,985

17,0

0,612

90,0

0,413

2.0

0,986

18,0

0,604

95,0

0,408

2,5

0,932

19,0

0,596

100,0

0,403

3,0

0,906

20,0

0,588

110,0

0,395

3,5

0,882

22,0

0,574

120,0

0,388

4,0

0,860

24,0

0,562

130,0

0,382

4,5

0,839

26,0

0,551

140,0

0,376

Продолжение табл б

а

f

а

f

а

f

5,0

0,821

28,0

0,541

150,0

0,371

5,5

0,804

29,0

0,536

160,0

0,366

6,0

0,789

30,0

0,532

170,0

0,361

6,5

0,774

32,0

0,524

180,0

0,357

7,0

0,761

34,0

0,516

190,0

0,353

7,5

0,750

36,0

0,509

200,0

0,350

8,0

0,738

38,0

0,503

250,0

0,335

8,5

0,727

40,0

0,496

300,0

0,324

9,0

0,717

45,0

0,483

350,0

0,315

10,0

0,699

55,0

0,461

450,0

0,301

11,0

0,682

60,0

0,452

500,0

0,295

12,0

0,668

65,0

0,444

600,0

0,286

13,0

0,655

70,0

0,436

700,0

0,279

14,0

0,643

75,0

0,430

800,0

0,273

15,0

0,632

80,0

0,423

900,0

0,268

16,0

0,622

85,0

0,418

1000,0

0,263

7 4. Вычисляют среднее значение напряжения Uх по формуле

п __    ^ U хч'}ъ

Ux—    2

7 5. Вычисляют значение удельного электрического сопротивления р, по формуле

(5)

Ом-см,,

ndYJJ х 4,532-d

р= ТпТЛ =    7

(6)

где d — толщина образца, см;

Ux — среднее значение напряжения, вычисленное по формуле (5);

I — значение электрического тока, при котором проводились измерения по п 7 2 2, А

7 6 Вычисляют значения напряжений Uyi и иуч по формулам

UV3 (+/,+B)-C/i з (-/,+B)-tf, з (+/,_В)+</, з    В)1

и у !=—-!-4-:-!- ;    (7)

[^2,4    —( — / >+В)—^2,4    — В) -^^2,4    ^ *“&)]

иу2=    1    4    1-1- .    (8)

При вычислении значений напряжений Uy^ U алгебраически учитывают

знаки величин, полученных при измерениях

7.7. Вычисляют среднее значение холловского напряжения по формуле

^yi+^ya

-5- *    (9)

7 8 Вычисляют значение коэффициента Холла RH, см3/Кл, по формуле

10 *>urd

Гв

(10)

где V v — среднее значение холловского напряжения, вычисленное по формуле (9), В,

d — толщина образца, см,

/ — значение электрического тока, при котором проводились измерения по п 6 2, А;

В — значение магнитной индукции, при котором проводились измерения по п 62, Тл

7 9 Вычисляют значение концентрации основных носителей заряда М, см-3, но формуле

N=

г

TrT =

6,242-Ю18

Rh

(п)

где г — фактор Холла, принимаемый равным 1, е — заряд электрона —1,602*10-19 Кл

7 10 Вычисляют значение холловской подвижности основных носителей заряда р-н , см^В-Л-с-1, по формуле

Цн= -у— •    (12)

7 11 Допускается проведение измерений и обработки результатов с использованием средств автоматизации по алгоритмам, изложенным в настоящей МВИ, в частности, использование установок типа «Холл-100», ТУ 25—04 (Ж410009), «Холл-200» или других, удовлетворяющих требованиям п 3 1 1 настоящей методики

8. ПРЕДСТАВЛЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ И НОРМЫ НА ПОКАЗАТЕЛИ ТОЧНОСТИ

8 1 Результатом измерения удельного электрического сопротивления являются величины, вычисленные по формулам (6), (15)

8 2 Результатом измерения коэффициента Холла и концентрации основных носителей заряда являются величины, вычисленные по формулам (10), (11) соответственно

8 3 Результатом измерения холловской подвижности основных носителей заряда является величина, вычисленная по формуле (12)

8 4 Тип электропроводности полупроводникового материала устанавливают но знаку коэффициента Холла в соответствии с черт 1

8 5 Результат измерения представляют числом с тремя значащими цифрами 8 6 Интервалы, в которых находятся суммарные погрешности измерений электрофизических параметров с доверительной вероятностью />=0,95, приведены в табл 1

9. ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ОПЕРАТОРА

Квалификация оператора в объеме, необходимом для выполнения измерений должна соответствовать требованиям измерителя электрических параметров полупроводниковых материалов четвертого и более высокого разряда действующего тарифно-квалификационного сборника

10. ТРЕБОВАНИЯ ТЕХНИКИ БЕЗОПАСНОСТИ

10 1 Устройство и техническая эксплуатация использ)емсго электроизмерительного оборудования должны отвечать требованиям «Правил технической эксплуатации электроустановок потребителей и правил техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей», а также требованиям стандартов безопасности труда

П римечание По условиям электробезопасности электроустановки, ис пользуемые для измерения удельного сопротивления, относятся к электроустановкам напряжением до 1000 В

10 2 К проведению измерении допускаются лица, имеющие первую квалификационную группу по электробезопасности, прошедшие инструктаж по технике безопасности на рабочем месте с записью в журнал по технике безопасности ознакомившиеся с инструкциями по эксплуатации электроизмерительных установок

В инструкциях по эксплуатации должен отражаться характер производства, особенности оборудования, требования по технике безопасности, по пожарной безопасности

Инструкции утверждаются руководством данного предприятия ПРИЛОЖЕНИЕ 6 (Измененная редакция, Изм. № 4).

ПРИЛОЖЕНИЕ 7

Обязательное

Марка

Код окп

Марка

Код ОКП

ГЭ а1

17 7441 1111 С2

ГД а1

17 7441 1211 10

ГЭ 61

17 7441 1112 01

ГД 61

17 7441 1212 09

ГЭ г1

17 7441 1114 10

ГД г1

17 7441 1214 07

ГЭ а2

17 7441 1121 00

ГД а2

17 7441 1221 08

ГЭ 62

17 7441 1122 10

ГД 62

17 7441 1222 07

ГЭ г2

17 7441 1124 08

ГД г2

17 7441 1224 05

ГЭ аЗ

17 7441 1131 09

ГД аЗ

17 7441 1231 06

ГЭ 63

17 7441 1132 08

ГД 63

17 7441 1232 05

ГЭ гЗ

17 7441 1134 06

ГД гЗ

17 7441 1234 03

(Введено дополнительно, Изм. № 1).

ПРИЛОЖЕНИЕ 8

Обязательное

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПЛОТНОСТИ ДИСЛОКАЦИЙ В СЛИТКАХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО ГЕРМАНИЯ НА ПЛОСКОСТИ (100)

Настг лщая методика предназначена для выявления дислокаций и измерения плотности дислокаций Nr> в диапазоне от МО1 см~2 * до 5*104 см~2 и измерения длины малоуглозых границ, выявляемых при избирательном травлении в виде прямолинейной цепочки дислокационных ямок травления в монокристаллических слитках (пластинах) германия с отклонением контролируемой поверхности от заданной кристаллографической плоскости (100) нс более 2° электронного и дырочного типа электропроводности, с удельным электрическим сопротивлением не менее 0,005.

1. ТЕРМИНЫ

2.1.    Дислокация — линейный структурный дефект, ограничивающий зону сдвига или область дефекта упаковки внутри монокристалла.

2.2.    Плотность дислокаций — количество дислокаций, выявляемых подсчетом дислокационных ямок травления, приходящихся на единицу площади поверхности монокристалла.

2.3.    Полоса скольжения — протяженное скопление дислокаций, осуществляющих сдвиг в кристалле в одном направлении и лежащих в одном или в близко расположенных плоскостях.

2.4.    Линия скольжения — след пересечения полосы скольжения с поверхностью монокристалла, выявляемый при избирательном травлении в виде цепочки дислокационных ямок травления.

2.5.    Малоугловая граница — скопление дислокаций, образующее поверхность, разделяющую области монокристаллов с разориентацией не более 2 °.

2.6.    Скопление дислокаций — локальное увеличение плотности дислокаций.

2.7.    Избирательное травление — удаление полупроводникового материала химическим или электрохимическим способом, при котором скорость удаления в области дефекта и в бездефектной матрице различна.

2. СУЩНОСТЬ МЕТОДА

Количественный контроль плотности дислокаций следует выполнять методом визуального просмотра и подсчета числа дислокационных ямок тразления на поверхности слитков (пластин), подвергнутых избирательному травлению после механической обработки и химической полировки. Дислокации должны выявляться в виде ямок, имеющих форму конуса или четырехгранной пирамиды со скругленными углами (черт. 1).

Необходимо отличать дислокационные ямки травления от недислокациснных — круглых и ограненных ямок с плоским дном.

Микрокартины травления представлены на черт. 2.

Подсчет дислокационных ямок травления при измерении плотности дислокаций N $ проводят с помощью оптического микроскопа в слегка затемненном поле в 9 полях измерения (поле измерения соответствует полю зрения оптического микроскопа при выбранном увеличении). Выбор полей измерения определи-

ется размером пластины Принятый алгоритм выбора полей определен для случая, если распределение контролируемого параметра носит радиальный характер Координаты основных полей измерения располагают на пересечении базовых осей измерения с окружностями радиуса Г\ и г2, определяемых по формулам

т\=- 4" R2 и г|= 4" №,

где 2R — длина отрезка соответствующей базовой оси измерения (черт 3), уменьшенная на ширину 2 А ,

А— ширина нерабочей кромки, равная 1 мм.

За значение плотности дислокаций принимается среднее арифметическое значение количества дислокационных ямок травления по всем полям измерения, деленное на площадь поля измерения

4. применяемые средства измерения, вспомогательное

ОБОРУДОВАНИЕ И МАТЕРИАЛЫ

4 1. Микроскопы металлографические типа МИМ-6, МИМ-7, МБС, ММР-4, cMetalloplan», «Polivar» или анало] ичные

4 2 Микроскоп инструментальный МИН-4 или аналогичный 4 3 Линейка измерительная металлическая по ГОСТ 427—75 4 4 Весы ВЛТК или ВНЦ-2 по ГОСТ 23676—79 или аналогичные 4 5 Секундомер типа «Mi ат» или аналогичный 4 6 Ру^сушитель электрический типа ЕК-3.

4 7 Станок шлифовальный типа ЖК-78-09 или аналогичный 4 8 Лабораторная посуда из фторопласта, винипласта, полиэтилена, кварца 4 9 Стекло оконное по ГОСТ 111—90 4 10 Материалы абразивные по ГОСТ 26327—84

4 11 Инс! рументы алмазные не основе порошков алмазных по ГОСТ 9206—80

4 12 Перчатки хирургические резиновые по ГОСТ 3—38 пли аналогичные 4 13. Напальчники резиновые 4 14 Бумага фильтровальная по ГОСТ 12026—76 4 15 Кислота фтористоводордная по ГОСТ 10484—78 4 16 Кислота азотная по ГОСТ 11125—84 4 17 Калии бромистый по ГОСТ 4160—79 4 18 Перекись водорода по ГОСТ 177—88

4 19 Медь азотно-кислая по ТУ 6-09-3590, ч; ч д а импорт «Польша».

4 20 Кислота уксусная по ГОСТ 61—75 4 21 Вода питьевая по ГОСТ 2874—84

4 22 Спирт этиловый синтетический по ГОСТ 5962—67 (для протирки оптики микроскопов и обезжиривания образцов при загрязнении)

Допускается применять аналогичные материалы и реактивы импортного и отечсс! венного производства, не уступающие по качеству перечисленным и не ухудшающие метрологические характеристики методики

5. ПОДГОТОВКА ОБРАЗЦОВ К ИЗМЕРЕНИЯМ

Контролируемые поверхности перед избирательным химическим травлением подвергают механической шлифовке и химической полировке

5.1. МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

Контролируемые поверхности торцов или пластин обрабатывают абразивным порошком М-28 или М-14 или алмазным инструментом той же зернистости. Пос-

ле шлифовки образцы промывают проточной водой, сушат фильтровальной бумагой или потоком горячего воздуха.

5.2. ХИМИЧЕСКАЯ ПОЛИРОВКА

Для химической полировки используют раствор (полирующий) следующего состава:

кислота фтористоводородная — 1 часть (объемная),

кислота азотная    — 3 части (объемные).

Полирующий раствор перед употреблением выдерживают не менее 30 мин. (Срок годности раствора — 72 ч при хранении в закрытой посуде). Объем полирующего раствора определяется из соотношения 3—5 см3 раствора на 1 смповерхности образца. При этом вся подлежащая полировке поверхность должна быть покрыта слоем раствора толщиной 1 см.

5.2.1. Полировку ведут при перемешивании раствора поэтапно, с промежуточными промывками водой. Время на этапе — 1,5 мин. Общее время травления 4,5—6,0 мин. Полировка проводится до получения зеркальной поверхности. (После обработки одного образца травитель для повторного применения не пригоден) .

Картины травления на плоскости (100). Увеличение 20ЭХ.

Дислокационные ямки показаны стрелками. Селективный травитель:

а — HF:HN03:CH3C00H:KBr; 6 — 1)    H.0:HF:HN03-Cu(N0,h и 2) HF;HNO,:KBr;

в __ H,02:HF:H,0

Черт. 1

ПОВЕРХНОСТНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ДИСЛОКАЦИЙ

Равномерное

Кольцо, линии скольжения

Малоугловые границы

Черт. 2

5.2.2.    Допускается для химической полировки использование полирующего раствора следующего состава;

кислота фтористоводородная — 1 часть (объемная);

кислота азотная    — 1 часть (объемная);

калий бромистый    — 0,5—0,6 г/дм3 раствора.

Раствор перед употреблением выдерживают 30 мин (не менее). (Срок годности раствора ~ 36 ч при хранении в закрытой посуде).

Контролируемые слитки или пластины погружают в чашку с полирующим раствором при комнатной температуре так, чтобы вся измеряемая поверхность была покрыта слоем травителя. Полировка проводится до получения зеркальной поверхности. (После обработки одного образца травитель для повторного применения не пригоден).

5.2.3.    По окончании полировки п. 5.2.1 или 5 2.2 слитки или пластины промывают водой и сушат фильтровальной бумагой или потоком горячего воздуха или оставляют в емкости с водой! до этапа избирательного травления.

5.3.    Избирательное травление

Для избирательного травления допустимо использование следующих трави-телей и способов обработки:

5.3.1. Травление в гравителе состава:

кислота фтористоводородная — 1 часть (объемная);

перекись водорода    — 1 часть (объемная),

вода    — 2 части (объемные)

Травитель и способ его применения — для монокристаллических слитков с плотностью дислокаций ND ^5*103см-2

Раствор после приготовления выдерживают не менее 30 мин (Срок годности раствора примерно 36 ч, при хранении в закрытой светонепроницаемой посуде)

5 3 11 Контролируемые слитки или пластины погружают в чашку с травильным раствором при комнатной температуре Объем травителя определяют из соотношения 3—5 см3 раствора на 1 см3 поверхности обрабатываемого образца При этом вся подлежащая контролю поверхность должна быть покрыта слоем травителя толщиной примерно 1 см

5.3 1 2 Травление ведут в течение 15 с, после чего слитки промывают водой и сушат фильтровальной бумагой или потоком горячего воздуха

5 3 13 После обработки по п 5 3 12 слитки погружают в чашку с раствором для травления состава

кислота фтористоводородная — 1 часть (объемная), кислота азотная    — 1 часть (объемная),

калий бромистый    — 4—6 г/дм3 раствора

Раетвор перед употреблением выдерживают в течение не менее 30 мин (Срок годности раствора ~36 ч при хранении в закрытой посуде)

53 14 Травление проводят поэтапно с промежуточными промывками водой Время травления на этапе 15—25 с Общее число этапов 3 53 2 Состав раствора для травления кислота фтористоводородная — 5 частей (объемных), кислота азотная    — 5 частей (объемных),

кислота уксусная    — 4—6 частей (объемных),

калий бромистый    — 4—6 г/дм3 раствора

Раствор после приготовления выдерживают не менее 1 ч

532    1 Операция травления осуществляется в соответствии с п 5 3 1(1

5 3 2 2 Травление ведут при перемешивании раствора поэтапно с промежуточными промывками водой в течение 2—3 мин Время обработки на каждом этапе не более 30 с

5 33 Состав раствора для арбитражного травления кислота фтористоводородная — 2 объемные части, кислота азотная    — 1 объемная часть,

10 %-ный раствор азотнокислой меди    — 1 объемная часть

Раствор после приготовления выдерживают не менее 30 мин (Срок годности раствора примерно 72 ч при хранении в закрытой посуде)

533    1 Операция травления осуществляется в соответствии с п 5 3 1.1

5 3 3 2 Травление осуществляют при перемешивании раствора время травления (90±10) с (После обработки одного образца травитель для повторного применения не пригоден)

53 4 После травления по п 53 1 или 5 3 2, или 5 33 слитки или пластины промывают водой и сушат фильтровальной бумагой или потоком горячего воздуха

6. ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЯ

6 1 Измерение плотности дислокаций проводят на металлографическом мик роскопе подсчетом числа дислокационных ямок травления в 9 полях измерения, расположение которых показано на черт 3 и координаты центров указаны в табл 1

При плотности дислокаций ND <5*101см“2 измерение проводят при полном сканировании образца.

Пр имечание При отклонении формы пластины от круга, выбор полей измерения проводить по диаметру вписанной окружности.

Расположение полей измерения

Черт. 3

6.2. Измерение плотности дислокаций рекомендовать проводить при увеличении, указанном в табл. 2.

Таблица 1

Расположение полей измерения для контроля плотности дислокаций

Диаметр 0 = 2Д+2Д, мм

Расстояние полей измерения от центра образца, мм, в точках

1, 6, 5, 9

2, 4, 7, 9

14—15

6

4

16—17

7

5

18—19

8

9

20—21

9

6

22—23

10

6

24—25

11

7

26—27

11

7

28^29

12

8

30—31

13

8

32—33

14

9

34—35

15

10

36—37

16

10

38—39

17

11

40—41

18

11

42—43

18

12

44—45

19

13

46—47

20

13

Продолжение

Диаметр

Я=2Я+2Д,

мм

Расстояние полей измерения от

центра образца, мм, в точках

16 5 9

2 4 7 9

48—49

21

14

50—51

22

14

52—53

23

15

54—55

24

15

56—57

25

16

58—59

25

17

60—61

26

17

62-63

27

18

64—65

28

18

66—67

29

19

68—69

30

19

70—71

31

20

72—73

31

21

74-75

32

21

76—77

33

22

Таблица 2

Плотность дислокаций см-2

Увеличение ^

Меньше 5' 1Э—1

40—200

5-10-1—5*10-2

40—60

5-102—МО3

60—80

О

со

СП

о

со

80—120

5-Ю3—МО4

120—170

МО4—МО5

170-220

6 3 Значение плотности дислокаций ND , см -2 определяется по формуле

N

D “

/z*S ’

где Q/!— число дислокационных ямок травления, подсчитанное п полей измерения,

о    яЛ2

о — площадь поля измерения, S= —т— , см2,

в

каждом из

где D — диаметр поля измерения, см (измеряется объектмикрометром)

6 4 Длину малоугловои границы, выявляемой при избирательном травлении в виде прямолинейной цепочки дислокационных ямок травления определяют с помощью линейки Малоугловую границу необходимо отличать от линии скольжения Наличие линий скольжения и малоугловых границ определяют по макрокартине (черт 2)

С. 48 ГОСТ 16153-80

7. НОРМЫ НА ПОКАЗАТЕЛИ ТОЧНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ

Настоящая методика устанавливает следующие нормы на показатели точности измерений плотности дислокаций интервал, в котором находится погрешность измерения плотности дислокаций составляет не более 60 % с доверительной вероятностью Р~0,95 для значения в диапазоне 5'10'<ND <5*104 При

плотности дислокаций ND <5* 10* см-2 измерение осуществляют при полном сканировании образца и погрешность составляет 25 % Погрешность измерения дли ны малоугловой границы ±2,5 мм с Р=0,95

8. СПОСОБ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ

Значение плотности дислокаций в диапазоне 1-10i<7Vd<5*104 см-2 представляется двумя значащими цифрами, умноженными на порядок определяемого значения плотности дислокаций

9. ТРЕБОВАНИЯ К КВАЛИФИКАЦИИ ОПЕРАТОРА

Квалификация оператора в объеме, необходимом для выполнения измерений по настоящей методике, должна соответствовать требованиям к измерителю электрических параметров полупроводниковых материалов четвертого или более высокого разряда «Сборника тарифно квалификационных работ и профессий рабочих для предприятий металлургии Производство титана и редких металлов, полупроводниковых и кварцевых изделий»

10. ТРЕБОВАНИЯ ТЕХНИКИ БЕЗОПАСНОСТИ

При проведении работ по выявлению дислокаций по п 5 настоящей методики необходимо соблюдать требования инструкции по технике безопасности при механической шлифовке и химическом травлении кристаллов i ермания, а также соблюдать основные правила работы в химической лаборатории

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1.    РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР

РАЗРАБОТЧИКИ

В. С. Матвеев, канд. техн. наук; А. Г. Галканов, М. Б. Рейф-ман, канд. хим. наук

2.    УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 14.03.80

№ Ц67

3.    ВЗАМЕН ГОСТ 16153—70

4.    ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

Обозначение НТД, на который дана ссылка

Номер пункта, подп\нкта перечисления, приложения

ГОСТ 3—88

Приложение 8

ГОСТ 61—75

Приложение 8

ГОСТ 111—90

Приложение 8

ГОСТ 177—88

Приложение 8

ГОСТ 427—75

Приложение 5 и 8

ГОСТ 577—88

Приложение 6

ГОСТ 701—89

Приложение 5

ГОСТ 2567—89

Приложение 5

ГОСТ 2874—82

Приложение 3, 5 и 8

ГОСТ 2991—85

44

ГОСТ 3282—74

d 5

ГОСТ 3560—73

4 6

ГОСТ 4160—74

Приложение 5 и 8

ГОСТ 4461—77

Приложение 5

ГОСТ 5959—80

44

ГОСТ 5962—67

Приложение 8

ГОСТ 6507—90

Приложение 6

ГОСТ 6816—79

Приложение 5

ГОСТ 7376—89

4.4

ГОСТ 8032—84

1.4

ГОСТ 9078—84

4.6

ГОСТ 9206—80

Приложение 3, 5 и 8

ГОСТ 9293—74

Приложение 1, 6

ГОСТ 9412—77

Приложение 5

ГОСТ 9696—82

Приложение 2 и 6

Продолжение

06озна>-ение НТД на который дана ссылка

Ном ер пу нкт а подпу нкта, перечисления приложения

ГОСТ 10197—70 ГОСТ 10354—82 ГОСТ 10484—78 ГОСТ 11109—90 ГОСТ 11125—84 ГОСТ 12026—76 ГОСТ 12027—81 ГОСТ 12162—77 ГОСТ 12923—82 ГОСТ 14192—77 ГОСТ 20477—86 ГОСТ 23676—79 ГОСТ 24392—80 ГОСТ 24597—81 ГОСТ 26327—84 ТУ 25—05 2420 -79 ту 6—09—3401—75 ТЪ 6—02—570—75 П 13-7308001-758-88 Т5 6-09-3590 78

3    4, Приложение 2

4    1

Пр иложение 5 и 8 Приложение 5 Приложение 5, 8 Приложение 5 и 8 Приложение 2 Приложение 1

44

45 42

Приложение 5 и 8 34 4 6

Приложение 3, 5 и 8 Приложение 2 Пр иложение 3 Приложение 3 Приложение 2 Приложение 8

5. Ограничение срока действия снято по решению Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол 3—93 от 17.02.93)

6. ПЕРЕИЗДАНИЕ (октябрь 1993 г.) с Изменениями № 1, 2, 3, 4, утвержденными в декабре 1984 г, мае 1988 г, июле 1990 г, феврале 1993 г. (ИУС 4—85, 8—88, 10—90, 9—93)

Редактор И В Виноградская Технический редактор О Н Никитина Корректор Е Ю Гебрук

Сдано в наб 15,09 93 Подп в печ. 17,0194 Уел п л 3,02 Уел кр отт 3,02 _Уч изд л 3,10 Тир £60 экз С 973__

( рденз «Знак Почета» Издательство стандартов 107076, Москва Колодезный пер , 14. Кал\жскап типография стандартов, ул Московская 236, Зак 1923