ГОСТ 21006-75 Микроскопы электронные. Термины, определения и буквенные обозначения

Термин

Буквенное обозначение

Определение

1. Электронный микроскоп

D. Elektronenmikroskop

-

Микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками средствами электронной оптики

Е. Electron Microscope

F. Microscope

ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ

2. Просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ)

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, проходящими сквозь этот объект

Ндп. Трансмиссионный электронный микроскоп

D. Durchstrahlungs-Elektronenmicroskop

Е. Transmission electron microscope

3. Растровый электронный микроскоп (РЭМ)

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом

Ндп. Сканирующий электронный микроскоп

D. Rasterelelektronenmikroskop

Е. Scanning electron microscope

4. Отражательный электронный микроскоп

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, отраженными этим объектом

D. Reflexions-Eletronenmikroskop

Е. Reflection electron microscope

5. Эмиссионный электронный микроскоп

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом

D. Emissions-Elektronenmikroskop

Е. Emission electron microscope

6. Зеркальный электронный микроскоп

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта, являющегося катодом электронного зеркала

D. Spiegelelektronenmikroskop

Е. Mirror electron microscope

7. Автоэлектронный проектор

Ндп. Микропроектор

-

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электронными пучками, эмиттируемыми этим объектом под воздействием электрического поля

Микроскоп-проектор

КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ

8. Электронная пушка электронного микроскопа

-

Эмиссионная система, предназначенная для ускорения электронов в электронном микроскопе

Электронная пушка

D. Elektronenstranhler

Е. Electron gun

9. Электронное зеркало

D. Elektronenspiegel

-

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для изменения направления осевых составляющих скоростей электронов электронного пучка на обратное

Е. Electron mirror

10. Видеоконтрольное устройство растрового электронного микроскопа (ВКУ)

-

Система визуального наблюдения процессов, протекающих в растровом электронном микроскопе при взаимодействии электронного зонда с объектом

11. Электронная линза электронного микроскопа

-

Электронно-оптический элемент, предназначенный для фокусировки электронных пучков в электронном микроскопе

Линза

D. Elektronenlinse

Е. Electron lens

12. Магнитная линза электронного микроскопа

-

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков магнитным полем

Магнитная линза

D. Magnetische Linse

Е. Magnetic lens

13. Электростатическая линза электронного микроскопа

-

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков электрическим полем

Электростатическая линза

D. Elecktrische Linse

Е. Electric lens

14. Формирующая линза

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая электронный зонд в плоскости объекта

15. Конденсаторная линза электронного микроскопа

-

Электронная линза электронного микроскопа, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект

Конденсор

D. Kondensorlinse

Е. Condenser lens

16. Двойной конденсатор электронного микроскопа

Двойной конденсор

-

Часть электронно-оптической системы, состоящая из двух конденсаторных линз, предназначенная для фокусировки электронных пучков, освещающих объект

D. Doppelkondensor

Е. Double condenser

17. Объективная линза электронного микроскопа

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая первое увеличенное изображение объекта

Объектив

D. Objektivlinse

Е. Objective lens

18. Дифракционная линза

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости промежуточной линзы

19. Промежуточная линза электронного микроскопа

Промежуточная линза

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая промежуточное изображение объекта или его дифракционной картины в предметной плоскости проекционной линзы

D. Zwischenlinse

Е. Intermediate lens

20. Проекционная линза электронного микроскопа

Проекционная линза

-

Электронная линза электронного микроскопа, формирующая увеличенное конечное изображение объекта или его дифракционной картины

Ндп. Проектив

D. Projektiv

Е. Projector

21. Регистрирующая система электронного микроскопа

-

Устройство, предназначенное для регистрации электронов и вторичных излучений в электронном микроскопе

Регистрирующая система

22. Фотокамера электронного микроскопа

Фотокамера

-

Часть регистрирующей системы электронного микроскопа, предназначенная для фотографирования изображения в электронных пучках

D. Aufnahmekammer

Е. Photographic chamber

23. Вакуумная система электронного микроскопа

-

Система, предназначенная для создания вакуума в электронном микроскопе

Вакуумная система

D. Vakuumanlage

Е. Vacuum system

24. Юстировочная система электронного микроскопа

Юстировочная система

-

Устройство, предназначенное для совмещения электронного пучка с оптической осью электронно-оптической системы электронного микроскопа

25. Отклоняющая система электронного микроскопа

Отклоняющая система

-

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магнитными полями

D. Ablenksystem

Е. Deflection system

26. Стигматор

D. Stigmator

-

Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для исправления приосевого астигматизма

E. Stigmator

27. Полюсный наконечник электронного микроскопа

-

Часть магнитопровода электронного микроскопа, концентрирующая поле магнитной линзы в приосевой области

Полюсный наконечник

D. Polschuh

E. Pole piese

28. Колонна электронного микроскопа

Колонна

-

Совокупность конструктивно объединенных электронно-оптических и механических элементов электронного микроскопа

D. Mikroskoprohr

E. Microscope column

29. Шлюзовое устройство электронного микроскопа

Шлюз

-

Устройство, предназначенное для ввода и вывода из колонны электронного микроскопа сменных элементов без существенного нарушения в ней рабочего вакуума

D. Schleuse

E. Airlock

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

30. Светлопольное изображение

D. Hellfeldabbildung

E. Bright-field image

-

Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе электронными пучками, содержащими нерассеянные в объекте электроны, а также рассеянные в пределах апертурного угла объективной линзы

31. Темнопольное изображение

D. Dunkelfeldabbildung

-

Изображение, сформированное в просвечивающем электронном микроскопе только рассеянными в объекте электронными пучками

E. Dark-field image

32. Микродифракция

D. Feinbereichsbeugung

E. Selected ared diffraction

-

Дифракционное изображение малого участка объекта, сформированное в задней фокальной плоскости объективной линзы и увеличенное электронными линзами просвечивающего электронного микроскопа

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

33. Изображение во вторичных электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта

D. Abbildung mit

E. Secondary-Emission mobe

34. Изображение в отраженных электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием отраженных от объекта электронов

D. Abbildung mit

Е. Backscackscattered Electron mode

35. Изображение в поглощенных электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием электронов, поглощенных объектом

D. Abbildung mit

E. Absorbed specimen current mode

36. Катодолюминесцентное изображение

D. Abbildung mit Kathodolumineszenz

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием оптического излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом

E. Cathodoluminescence mode

37. Изображение в наведенном электронным зондом токе

D. Abbildung mit induzierten

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием тока, возникающего в цепи с полупроводниковым объектом при воздействии на него электронного зонда

E. Induced current mode

38. Изображение в рентгеновском характеристическом излучении

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого в объекте электронным зондом

39. Изображение в Оже-электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием Оже-электронов

40. Изображение в прошедших электронах

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе электронами, прошедшими сквозь объект

41. Изображение картин каналирования электронов

D. Abbildung mit Channelling Diagrammen

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием эффекта каналирования электронных пучков в объекте

E. Electron Channeling Pattern mode

42. Изображение при Y-модуляции

-

Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе сложением видеосигнала с током (напряжением) кадровой развертки

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ЭМИССИОННОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

43. Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке

-

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта ионами

44. Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке

-

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием вторичных электронов, возникающих при бомбардировке объекта электронами

45. Изображение в термоэлектронах

-

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием термоэлектронов, испускаемых объектом при нагревании

46. Изображение в фотоэлектронах

-

Изображение, сформированное в эмиссионном электронном микроскопе с использованием фотоэлектронов, испускаемых объектом под действием оптического излучения

ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ

47. Ускоряющее напряжение электронного микроскопа

Разность потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроскопа

Ускоряющее напряжение

D. Beschleunigungsspannung

E. Accelerating voltage

48. Нестабильность напряжения электронного микроскопа

Нестабильность напряжения

Самопроизвольное изменение значения ускоряющего напряжения электронного микроскопа во времени

49. Нестабильность тока электронного микроскопа

Самопроизвольное изменение значения тока электронного микроскопа во времени

Нестабильность тока

50. Электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа

D. Elektronenoptische

Отношение линейного размера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру соответствующего элемента объекта

E. Electron optical magnification

51. Общее увеличение

D.

Увеличение изображения объекта, равное произведению электронно-оптического увеличения и дополнительного увеличения, полученного вне электронного микроскопа

E. Total magnification

52. Разрешающая способность электронного микроскопа

Наименьшее расстояние между двумя деталями объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе

D.

Е. Resolving power

53. Разрешающая способность электронного микроскопа по кристаллической решетке

Наименьшее межплоскостное расстояние кристаллической решетки, плоскости которой изображаются раздельно в электронном микроскопе

D. Netzebenenabbildung

Е. Lattice plane resolution

54. Разрешающая способность электронного микроскопа по точкам

Наименьшее расстояние между двумя микрочастицами объекта, раздельно изображаемыми в электронном микроскопе

D.

Е. Point resolution

55. Электронная яркость

D. Richtsrtahlwert

Ток электронного пучка в пределах единичного телесного угла, приходящийся на единицу площади облучаемой поверхности

Е. Brightnes

56. Апертурный угол формирующей линзы

Половина угла расхождения траекторий электронов в электронном зонде

57. Апертурный угол объективной линзы электронного микроскопа

Половина угла расхождения траекторий электронов, покидающих объект и формирующих изображение

Апертурный угол объективной линзы

58. Апертурный угол осветительной системы электронного микроскопа

Половина угла расхождения траекторий электронов, падающих на объект

Апертурный угол осветительной системы

ВКУ

10

Зеркало электронное

9

Изображение в наведенном электронном зондом токе

37

Изображение во вторичных электронах

33

Изображение во вторичных электронах при ионной бомбардировке

43

Изображение во вторичных электронах при электронной бомбардировке

44

Изображение в Оже-электронах

39

Изображение в отраженных электронах

34

Изображение в поглощенных электронах

35

Изображение в прошедших электронах

40

Изображение в рентгеновском характеристическом излучении

38

Изображение в термоэлектронах

45

Изображение в фотоэлектронах

46

Изображение картин каналирования электронов

41

Изображение катодолюминесцентное

36

Изображение при -модуляции

42

Изображение светлопольное

30

Изображение темнопольное

31

Колонна

28

Колонна электронного микроскопа

28

Конденсор

15

Конденсор двойной

16

Конденсор электронного микроскопа двойной

16

Линза

11

Линза дифракционная

18

Линза магнитная

12

Линза проекционная

20

Линза промежуточная

19

Линза формирующая

14

Линза электронного микроскопа конденсорная

15

Линза электронного микроскопа магнитная

12

Линза электронного микроскопа объективная

17

Линза электронного микроскопа проекционная

20

Линза электронного микроскопа промежуточная

19

Линза электронного микроскопа электронная

11

Линза электронного микроскопа электростатическая

13

Линза электростатическая

13

Микродифракция

32

Микропроектор

7

Микроскоп-проектор

7

Микроскоп электронный

1

Микроскоп электронный зеркальный

6

Микроскоп электронный отражательный

4

Микроскоп электронный просвечивающий

2

Микроскоп электронный растровый

3

Микроскоп электронный сканирующий

3

Микроскоп электронный трансмиссионный

2

Микроскоп электронный эмиссионный

5

Наконечник полюсный

27

Наконечник электронного микроскопа полюсный

27

Напряжение ускоряющее

47

Напряжение электронного микроскопа ускоряющее

47

Нестабильность напряжения

48

Нестабильность напряжения электронного микроскопа

48

Нестабильность тока

49

Нестабильность тока электронного микроскопа

49

Объектив

17

Проектив

20

Проектор автоэлектронный

7

Пушка электронная

8

Пушка электронного микроскопа электронная

8

ПЭМ

2

РЭМ

3

Система вакуумная

23

Система отклоняющая

25

Система регистрирующая

21

Система электронного микроскопа вакуумная

23

Система электронного микроскопа отклоняющая

25

Система электронного микроскопа регистрирующая

21

Система электронного микроскопа юстировочная

24

Система юстировочная

24

Способность электронного микроскопа по кристаллической решетке разрешающая

53

Способность электронного микроскопа по точкам разрешающая

54

Способность электронного микроскопа разрешающая

52

Стигматор

26

Увеличение общее

51

Увеличение электронного микроскопа электронно-оптическое

50

Угол объективной линзы апертурный

57

Угол объективной линзы электронного микроскопа апертурный

57

Угол осветительной системы апертурный

58

Угол осветительной системы электронного микроскопа апертурный

58

Угол формирующей линзы апертурный

56

Устройство растрового электронного микроскопа видеоконтрольное

10

Устройство электронного микроскопа шлюзовое

29

Фотокамера

22

Фотокамера электронного микроскопа

22

Шлюз

29

Яркость электронная

55

Abbildung mit Channelling Diagrammen

41

Abbildung mit Kathodolumineszengz

36

Abbildung mit induzierten

37

Abbildung mit

35

Abbildung mit

34

Abbildung mit

33

Ablenksystem

25

52

Aufnahmekammer

22

Beschleunigungsspannung

47

Doppelkondensor

16

Dunkelfeldabbildung

31

Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop

2

Elektrische Linse

13

Elektronenlinse

11

Elektronenmikroskop

1

Elektronenoptische

50

Elektronenspiegel

9

Elektronenstrahler

8

Emissions-Elektronenmikroskop

5

Feinbereichsbeugung

32

51

Hellfeldabbildung

30

Kondensorlinse

15

Magnetische Linse

12

Mikroskoprohr

28

Netzebenenabbildung

53

Objektivlinse

17

Polschuh

27

Projektiv

20

54

Rasterelelektronenmikroskop

3

Reflexions-Elektronenmikroskop

4

Richtsrtahlwert

55

Schleuse

29

Spiegelelektronenmikroskop

6

Stigmator

26

Vakuumanlage

23

Zwischenlinse

19

Absorbed specimen current mode

35

Accelerating voltage

47

Airlock

29

Backscattered Electron mode

34

Bright-field image

30

Brightnes

55

Cathodoluminescence mode

36

Condenser lens

15

Dark-field image

31

Deflection system

25

Double condenser

16

Electric lens

13

Electron Channeling Pattern mode

41

Electron gun

8

Electron lens

11

Electron microscope

1

Electron mirror

9

Electron optical magnification

50

Emission electron microscope

5

Induced current mode

37

Intermediate lens

19

Lattice plane resolution

53

Magnetic lens

12

Microscope column

28

Mirror electron microscope

6

Objective lens

17

Photographic chamber

22

Point resolution

54

Pole piese

27

Projector

20

Reflection electron microscope

4

Resolving power

52

Scanning electron microscope

3

Secondary-Emission mode

33

Selected ared diffraction

32

Stigmator

26

Total magnification

51

Transmission electron microscope

2

Vacuum system

23

Термин

Пояснение

1. Электронно-оптический элемент

Устройство, предназначенное для формирования электронных пучков или управления ими электрическими и (или) магнитными полями

2. Электронно-оптическая система

Совокупность электронно-оптических элементов

3. Осветительная система

Часть электронно-оптической системы, предназначенной для формирования электронных пучков, освещающих объект

4. Изображающая система

Часть электронно-оптической системы, формирующая увеличенное изображение объекта или дифракционной картины

5. Аберрация

Искаженное изображение объекта, возникающее вследствие непараксиальности и немонохроматичности электронных пучков, дифракции электронов

6. Электронный луч

Совокупность электронов, движущихся по одной траектории

7. Электронный пучок

Совокупность электронных лучей, имеющих общую точку

8. Кроссовер

Минимальное сечение электронного пучка в эмиссионной системе

9. Электронный зонд

Электронный пучок, имеющий минимальное сечение в заданной плоскости

10. Эмиссионная система

Электронно-оптическая система, предназначенная для формирования электронного пучка и управления его интенсивностью

11. Фиктивный катод

Нрк. Мнимый источник

Мнимое изображение катода, образованное полем, прилегающим непосредственно к катоду

12. -образный катод

Нрк. Шпилькообразный катод

Катод, изготовленный из проволоки, согнутой под острым углом, вершина которого является эмиттером

13. Остроконечный катод

Нрк. Точечный катод

Катод, эмиттер которого имеет заостренный конец

Игольчатый катод

Острийный катод

14. Объект исследования

Предмет, исследуемый в электронном микроскопе

Нрк. Препарат

Образец

15. Столик объектов

Устройство, предназначенное для установки и перемещения объектов

16. Апертурная диафрагма

Диафрагма, ограничивающая апертурный угол

17. Селекторная диафрагма

Диафрагма, ограничивающая участок объекта, с которого получают дифракционную картину