ГОСТ 28953-91 Приборы фоточувствительные с переносом заряда. Методы измерения параметров

ГОСТ 28953-91

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

ПРИБОРЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ С ПЕРЕНОСОМ ЗАРЯДА

МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ

Издание официальное

БЗ 3 - 2004

ИИК ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ Москва

УДК 621.383.2.083:006.354

Группа 929

МЕЖГОСУД Л Р С Т В Е Н Н Ы Й С Г А Н Д А Р Г

ПРИБОРЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ С ПЕРЕНОСОМ ЗАРЯДА

ГОСТ

Методы измерения параметров

Photosensitive charge transfer devices.

Methods of measuring parameters

M КС 31.260

ОКП 63 4900

.Дата введения 01.01.92

Настоящий стандарт распространяется на фоточувствительные приборы с переносом заряда линейные и матричные (далее — приборы), предназначенные для работы в радиотехнических и телевизионных системах в области спектра от 350 до 1100 им, и устанавливает методы измерения следующих параметров и характеристик:

- выходного сигнала;

- напряжения насыщения и тока насыщения;

- неравномерности выходного сигнала;

- интегральной чувствительности;

- темнового сигнала и неравномерности темнового сигнала;

- монохроматической чувствительности и области спектральной чувствительности;

- коэффициент передачи модуляции;

- числа дефектов фоточувствительного поля;

- среднего квадратического напряжения шума и динамического диапазона;

- пороговой освещенности и пороговой экспозиции:

- токов утечки между электродами.

Термины, применяемые в стандарте. — по ГОСТ 25532.

Требования настоящего стандарта являются обязательны st и.

I. ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ

1.1. Условия и режим измерений

1.1.1. Измерение параметров приборов проводят в нормальных климатических условиях, установленных в ГОСТ 20.57.406. или в условиях, установленных в ТУ на приборы конкретных типов.

Температура корпуса прибора, при которой измеряют параметры, должна соответствовать установленной в ТУ на приборы конкретных типов.

1.1.2. Электрический режим при измерении параметров приборов должен находиться в пределах норм по ТУ на приборы конкретных типов.

Нестабильность параметров электрического режима в процессе проведения измерений должна находиться в пределах:

± 2 % — для постоянных напряжений;

±5 % * импульсных •

1.1.3. Параметры облучения фоточувствительного поля прибора или его части (освещенность, энергетическая освещенность, световая экспозиция, энергетическая экспозиция) и спектральный состав облучения должны соответствовать установленным в ТУ на приборы конкретных типов.

Издание официальное ★

Перепечатка воспрещена

© Издательство стандартов. 1991 © ИИК Издательство стандартов. 2004

и яоши xnuxadxHOX ndogndu ей дх э иияхахаяхооэ я винaжEdgo£и иьввэйэи blt ни ж ad Huxoauud -ххавс яхвяиьэиаэдо пахитов вниж^ ojoxaahudxxaix винепее хоид nut doxEdaHajodx-ниэ 771

0£ аанак яхпд нажгог эн 748Н 1DOJ ^ои UNwaBBavaduo ‘яоххэчдо-хээх ним пивдвх хннявахвхпизи яояихиеонвив яохнэиавс хпвад и xnndah хнхвэп и xNHuAdx xacdxuo^ £ кэинэжoEиdu э иияхахэяхооз я пивдвх хинявахЕхнизи иисяихигопсив a xBconodu виiodane и схнанашс оионявэхияхзяАнохоф ojowtro HodanEEd яxcIпnяэdu снжвов ан cdogudu авои кэнод

-cd сн пивдвх хпнявахвхппзи винэжEdgoEи HodanEBd винэвпонвхэА яxэoнmэdJou вснхо(воаду

cdogudu ввои о-юнявашяхэяХьохоф иквпивдвх а «пег

-сияоа пнжвов шивдсх хпнявэхвхниэи хнияишЕоивив авои aahogcd anmoiBunhnimdJo ^kndauag

яоши

xnnxadxnox ndogudu сн 41 я иви £ иинaжoEиdu я oHaBdoudu xndoxox эинcжdaшoэ 'яоххаядо-хзэх иви пивдвх хпнявэхвхпизи пяихиюисшгхоьйявоиэи nodogudu oodxancdBu винэйэпси шф fe e l

■яоши xniuadXHox ndogndu вн л 1 о иияхахэяхооз я хо<сяивненехэЛ ппивдех ионявэхехпизи BUHaxccdgocn авои эонявахияхаялкохоф вн anncuodunaodu иви cdogudu вшой охоняшахияхаяАнохоф винэнАвдо Hodxanndcu кинэквн£

cdogudu hi 011 охонявахияхэяАь

-охоф винэьАвдо Hodxancdcu auuBHoduBAxad яхсяиьэиээдо енжвов епэхзиз ввхаэкихио £ ё ё’1 винэнАвги ихинкохаи ей й н я BBiniatrafliidu 'кинанАвЕи скАкнэхек инвоя внивш енеевхА яхпд енжвов KUHadaneu вяхзвабз вн Vih я сши oxouxadxnox винавАвЕИ яохинвохаи вв^

яоиих xnuxadxHOX ndogudu вн дх я эпннэгаонвхэА 'винзвАвеи ихинвохэи auxAdB и винэвАвен ojoxaaBuxcnodxoHon пвоивохаяа •RdoxBnodxouoH хавн

-anudu энахаиз нохаавихно я винэвАвеи шохээвихвпсюхонон яохинвохзи эяхзэвсх д ёёё'1 яоиих xnuxadxHox ndogndu вн xi я лионнатоивхал

1што<ляхэхэяхооз 'винэ^шси яехэоэ днняи^ххаиэ аипкхсяинаиээдо тхаяз игахихошои энняиххэиээ ЯХВНЭП-MdU ХЭЛГЭЮ СХМНЬОХЗИ OJOHXdBVHBXd винэн -лгги хо вэхэвкиехо oxodoxox яехэоэ нпняхчхкхэиэ ‘винэнАвен винаьХвои ихэокивохдоан wdy

IjodAXcdauNax ион

-охаяп ионнЕГвс о схаяз ихинкохэи anuxdBBHEXo xoi -BHanxdu акахэиэ иохзэьихио я вннэкАвеи cdxxauo охошповиэ ехиньохэи аяхэаьЕх д гт

•вхха

-ядо-хэах ивх нпивдЕхиончвахвияизи Mnnaxcdgocn aiou эонявахияхэяЛьохоф вн aiiHEBodimaodu иви cdogudu ввои оюнжгахияхэяЛьохоф эинэмвдо яхвя

I “bh

rtfogudu nrcKiio «маигохпн киюдлкси 'инн ■ axiidgaw 'HMiogndgo oaiagodoX — ^ :cdogi<du спижх! oiD33»hHdia»LV. кннгпн ^ai-g инти doindsMModxMH.'i — f tdogndu —z :rirnn.n<.i окипохя кимггпг onopaduX — /

-кьэиэадо внжиов впэхэиэ вехээьихио 771

I xdah сн cuaranudu

Hodoxox ВИЭХЭ BBHdAxxXdxo эхяонвхзл вн XBBonodu uodogndu sodxancdBU aunadanEn Гё Ч

BdAxBdBuuy 7’1

AdKxEdEUUE oiXHHBaxndanEH сн (Ш.Н — эаввв) иипвхнакХхог VOXoahHHxax-OHSHXEKdoH я нкпннэгяонехэл ’икини иви 7 иинэжохя«1и я unnuuavaHndu •шхев -охай xoiKL'araduo ннахэиз нохээьихио и киахихапао винэнХкеи Axiixaudaxxcdcx О1лня^ххэиэ

■| HHHaxoBHdu я апннэгэяMdu ‘ивохап xoiBHanndu ихзоннатаяэо цохээьихэхйэнс и ихаоннатаязо HX3OHdanoHHEdaH и nodogudu ввои охонявэхняхэяЛьохоф ихаоннатаязо HoxaahxxajdaHc ‘шаоннэтаязо винэвяонвхаЛ вв# д ri

'cdogudu

beou охонягахияхзяХьохоф яоххафэв ввзиь иннэваваино udu яхвянхинА и BxahOBd ей похнэпэвс хгпихэфэЕГ пвсшиэяхсьои-хэи вахавхаЛиог иипвшАшж Hhccadau вхнэипиффсох 'яовшиизохояошхах и OJOHVOXI4H luaoiidanoHflEddH еввнхиз шояонках •ихзоняшахиохэя.Аь HHiiadaivEH udn к 11

’% < + XEBaradu я вэяхиБОхвн внжвов cdogudu ввои оюнявах

-ияхзяХьохоф ихаоннатаязо yoxoabiuajdanc и ихаоннатаязо яlэoнdэкoнявdэн ввняшахизонхо

< « хпнэяшАиии « % 01 *

^винаиАвдо яохохои хпннвохзои вы — % с т

:xcuaradu я взяхшгохвн внжвов нинайэшЕИ винав

-aaodu aoaanodu я nodxaixcdcu хихс яхооняшидЕхаан 1% оё Т xcuairadu я взяхивохвн внжвов cdogudu ввои охонявэхияхзяАьохоф винанАвдо oodxanEdBU (9 эинэжовийи) винахтюивхал nxsotimadjon

I6-CS68Z .00.1 ё Э

ГОСТ 2S953-91 С. 3

обеспечивать синхронизацию работы прибора и устройств отображения и измерения выходного сигнала прибора.

Параметры импульсов управления работой прибора должны соответствовать установленным в ТУ на приборы конкретных типов.

1.2.4. В качестве устройства обработки, отображения и измерения выходного сигнала приборов применяют автоматизированные измерительные системы (АИС), устройства прямого измерения параметров приборов, устройства разбраковки приборов по категориям качества, осциллографы с выделением строки (ОВС), видеоконтрольные устройства (ВКУ).

1.2.4.1. ЭВМ для ЛИС должна иметь:

- объем памяти не менее 4 кбайт.

- разрядность не менее 6.

1.2.4.2. Осциллографы и ОВС. применяемые в качестве средств измерения напряжения, должны иметь погрешность, не выходящую за пределы интервала ± 5 %.

ОВС должен обеспечивать выделение строки и индикацию ее местоположения на экране ВКУ.

ВКУ должен обеспечивать воспроизведение на экране изображения, передаваемого прибором.

1.2.4.3. Усилитель устройства обработки выходного сигнала должен обеспечивать формирование сигнала для устройства отображения и измерения выходного сигнала прибора.

Погрешность измерения коэффициента усиления должна быть в пределах ± 5 %.

Нелинейность амплитудной характеристики усилителя не должна превышать 5 %.

1.2.4.4. Сопротивление резистора нагрузки прибора или рабочий ток выходного устройств;! должны быть установлены в ТУ на приборы конкретных типов.

1.2.4.5. Устройства измерения в ЛИС должны обеспечивать преобразование сигналов фото-чувствительных элементов к виду, удобному для обработки.

Математическое обеспечение АИС с ЭВМ должно предусматривать:

- ввод информации в память ЭВМ:

- проведение измерений по всему фоточувствительному полю (или по заданному фрагменту изображения и по одному фоточувствительному элементу);

- вывод результатов на печать, экран дисплея, автомат для разбраковки или иное индикаторное устройство.

1.2.5. Конструкция измерительной установки должна обеспечивать зашиту прибора от воздействия статического электричества, наводок и электрических помех мерами, указанными в ТУ на приборы конкретных типов.

1.2.6. Конструкция измерительной установки должна исключать влияние засветок от посто-ронних источников света.

1.3. Требования безопасности

1.3.1. Конструкция установок для измерения параметров приборов должна соответствовать ГОСТ 12.2.007.0.

Средства измерения должны соответствовать требованиям ГОСТ 12.2.091.*

1.3.2. Корпусы испытательного оборудования и средства измерения необходимо заземлить до их подключения к сети.

Защитное заземление должно соответствовать требованиям ( ОСТ 12.1.030.

1.3.3. Закрытые камеры установок, в которых размещают приборы при измерении параметров, должны быть оборудованы блокировками целей питания выше 36 В.

1.3.4. На рабочем месте персонала, проводящего измерения, необходимо предусмотреть общий выключатель, с помощью которого возможно одновременное отключение от сети питания испытательного оборудования и средств измерений.

Требования безопасности к рабочему месту персонала, проводящего измерения, должны соответствовать ГОСТ I2.2.O32.

1.3.5. Измерение параметров приборов должно проводиться персоналом, подготовленным в соответствии с ГОСТ 12.4.004. ♦ Правилами техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей» и «Правилами технической эксплуатации электроустановок потребителей», утвержденными Госэнергонадзором.

1.3.6. Общие требования безопасности при проведении измерений должны соответствовать ГОСТ 12.3.019.

• На территории Российской Федерации действует ГОСТ Р 51350—99.

С. 4 ГОСТ 28953-91

1.3.7. Требования электробезопасности при проведении измерений должны соответствовать ГОСТ 12.1.019.

1.3.8. Для обеспечения пожарной безопасности при проведении измерений необходимо соблюдение требований ГОСТ 12.1.004. для обеспечения взрывобезоласности необходимо соблюдение требований ГОСТ 12.1.010 и «Типовых правил для промышленных предприятий*, утвержденных МВД СССР 25.08.54.

2. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ВЫХОДНОГО СИГНАЛА

2.1. Принцип, условия и режим измерений

2.1.1. Выходной сигнал измеряют как разность напряжений или токов от уровня отсчета до уровня напряжения или токов на выходе прибора.

За уровень отсчета принимают один из уровней:

- уровень темнового сигнала прибора:

- уровень темнового сигнала регистра:

- уровень, соответствующий отсутствию зарядового пакета в потенциальной яме (уровень «черного»);

- уровень сигнала при передаче крупных деталей изображения или другой, установленной в ТУ на приборы конкретных типов.

2.1.2. Измерение выходного сигнала проводят при оптическом или электрическом вводе входного сигнала. Способ ввода входного сигнала устанавливают в ТУ на приборы конкретных типов.

2.1.3. При оптическом вводе входного сигнала измерения проводят с применением испытательных таблиц и тест-обьектов или без них, что должно быть установлено в ТУ на приборы конкретных типов.

2.1.4. Общие требования к проведению измерений и требования безопасности — по разд. 1.

2.2. Аппаратура — по разд. 1.

2.3. Подготовка и проведение измерений

2.3.1. При оптическом вводе входного сигнала устанавливают значение параметров облучения фоточувствительного поля прибора в соответствии с условиями измерений конкретных параметров прибора.

2.3.2. При электрическом вводе входного сигнала на входное устройство прибора от формирователя импульсов подают сигнал, параметры которого устанавливают в соответствии с условиями измерений конкретных параметров прибора.

2.3.3. Измеряют уровень сигнала от фоточувствительных элементов всего фоточувствительного поля или его части, указанной в ТУ на приборы конкретных типов, и при необходимости — уровень отсчета, приведенный к выходу прибора.

2.4. Обработка результатов

2.4.1. Выходной сигнал фоточувствительного поля или его части (69 в вольтах вычисляют по одной из формул:

. * . (1)

^ ^- Т ^- ^ ’ ~ 'У £ *4 ’

. ' (2)

г-1

(Ц + t\ )-({/„ + t'_u ) (3)

и_с _ —^--—^---.__.

где С, — уровень сигнала /-го фоточувствительного элемента. В;

Ц> — уровень отсчета для /-го фоточувствительного элемента. В;

6', , L\ — наибольшее и наименьшее значения уровней сигналов от фоточувствительных элементов фоточувствительного поля прибора или его части. В;

*V ’ ^“ > “ ^“большее и наименьшее значения уровней отсчета для фоточувствительного поля прибора или его части. В:

ГОСТ 2X953-91 С. 5

N — число фоточувствительных элементов фоточувствительного поля прибора или его части, для которых проводят измерение выходного сигнала;

jV„ - число фоточувствительных элементов фоточувствительного поля прибора или его части, соответствующее уровню отсчета /-го фоточувствительного элемента.

П р и м с ч а н и с. В формулах ( I). (2) допускается использовать другие опенки среднего значения, например медианное среднее.

2.4.2. При измерении выходного сигнала в отсутствии облучения, подлежащего регистрации (темнового сигнала), в формулах (I)... (3) вместо обозначения С^ применяют обозначение U,.

2.5. Показатели точности измерений

2.5.1. Погрешность измерения выходного сигнала при оптическом вводе входного сигнала находится в интервале ± К) %, а с учетом погрешности установления параметров облучения фоточувствительного поля прибора — в интервале ± 23 %.

2.5.2. Погрешность измерения выходного сигнала при электрическом вводе входного сигнала находится в интервале ± 10 %.

2.5.3. Установленная вероятность для погрешностей I¹ = 0.95.

3. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ НАПРЯЖЕНИЯ НАСЫЩЕНИЯ И ТОКА НАСЫЩЕНИЯ

3.1. Принцип, условия и режим измерений

3.1.1. Метод измерения напряжения насыщения основан на определении максимального выходного сигнала, генерируемого при значениях параметров облучения фоточувствительного поля прибора (освещенности, энергетической освещенности, световой или энергетической экспозиции) или напряжения входного сигнала, обеспечивающих режим насыщения.

3.1.2. Метод измерения тока насыщения основан на определении тока как отношения напряжения насыщения к сопротивлению резистора нагрузки в выходной цепи прибора.

3.1.3. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

3.2. Аппаратура — по разд. 1.

3.3. Подготовка к измерениям

3.3.1. Подготовка к измерениям — по разд. 2.

3.3.2. При измерении напряжения насыщения и тока насыщения матричных приборов наблюдают изображение испытательной таблицы или тест-объекта на экране видеоконтрольного устройства (ВКУ) и осциллограмму выделенной строки, проходящей через крупные детали в любой части изображения.

Постепенно увеличивают значения параметров облучения фоточувствительного поля прибора (освещенность, энергетическую освещенность, световую или энергетическую экспозицию) или размах импульсов входного сигнала до достижения насыщения выходного сигнала.

При этом изображение испытательной таблицы или тест-объекта на экране ВКУ не должно иметь локальных, визуально наблюдаемых искажений (разрыв линий, «заплывание» темных деталей изображения) гы и уровень допустимых искажений изображения должен соответствовать установленному в ТУ на приборы конкретных типов.

3.3.3. При измерении напряжения насыщения и тока насыщения линейных приборов наблюдают изображение осциллограммы выходного сигнала на экране осциллографа.

Постепенно увеличивают значения параметров облучения фоточувствительного поля прибора до прекращения увеличения напряжения выходного сигнала не менее чем у 2 % фоточувствительных элементов прибора.

3.3.4. Напряжение и ток насыщения допускается измерять в автоматизированных измерительных системах. Метод измерения в таких системах устанавливают в ГУ на приборы конкретных типов.

3.4. Проведение измерений

Измеряют выходной сигнал прибора по разд. 2.

3.5. Обработка результатов и показатели точности измерений

Обработка результатов и показатели точности измерений — по разд. 2.

При проведении измерений по п. 3.3.4 обработку результатов проводят в соответствии с алгоритмом измерений, пример которого приведен в приложении 5.

С. 6 ГОСТ 28953-91

4. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ НЕРАВНОМЕРНОСТИ ВЫХОДНОГО СИГНАЛА

4.1. Принцип, условия и режим намерений

4.1.1. Метод измерения основан на сравнении напряжения выходных сигналов с различных участков фоточувствителиного поля прибора.

4.1.2. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

4.2. Аппаратура — по разд. 1.

4.3. Подготовка и проведение измерений

4.3.1. Устанавливают значения параметров облучения фоточувствительного поля прибора в соответствии с ТУ на приборы конкретных типов.

4.3.2. В соответствии с требованиями разд. 2 измеряют выходной сигнал со всех фоточувстви-тельных элементов или с различных участков фоточувствительного поля прибора, равномерно расположенных по полю, что устанавливается в ТУ на приборы конкретных типов, и определяют наибольшее и наименьшее значения выходного сигнала.

4.4. Обработка результатов

4.4.1. Абсолютную неравномерность выходного сигнала (Д t/) в вольтах вычисляют по формуле

д 4 = г; - ц , (4)

где L\ , i/_c — максимальное и минимальное значения напряжения выходного сигнала. В.

4.4.2. Относительную неравномерность выходного сигнала (5 £<) в процентах вычисляют по формуле

⁵^^=±7ГТ7Г¹⁰⁰’ ^(5>

где С , U. — максимальное и минимальное значения напряжения выходного сигнала. В.

4.4.3. Относительную среднюю квадратическую неравномерность выходного сигнала (о С<) в процентах вычисляют по формуле

о и. = —---------100, w

где N — количество фоточувствительных элементов фоточувствительного поля или его фрагментов, для которых проведено измерение выходного сигнала;

U_c — значение напряжения выходного сигнала с /-го фоточувствительного элемента, В;

£/ — напряжение выходного сигнала по фоточувствительному полю или его части. В.

4.5. Показатели точности измерений

4.5.1. Погрешность измерений абсолютной неравномерности выходного сигнала находится в интервале ± 10 %.

4.5.2. Погрешность измерения относительной неравномерности выходного сигнала находится в интервале ± 12 %.

4.5.3. Погрешность измерения относительной средней квадратической неравномерности выходного сигнала находится в интервале ± 7,5 %.

4.5.4. Установленная вероятность для погрешностей Р = 0.95. Закон распределения погрешностей — нормальный.

5. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМНОВОГО СИГНАЛА

5.1. Принцип, условия и режим измерения

5.1.1. Метод основан на измерении напряжения выходного сигнала прибора при отсутствии на фоточувствительном поле прибора облучения, подлежащего регистрации, как разности от уровня отсчета до уровня напряжения или тока на выходе прибора.

За уровень отсчета принимают один из уровней:

- уровень темнового сигнала регистра;

ГОСТ 2X953-91 С. 7

- уровень соответствующий отсутствию зарядового пакета в потенциальной яме (уровень •черного»), или другой, установленный в ТУ на приборы конкретных типов.

5.1.2. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

5.2. Аппаратура — по разд. 1.

5.3. Подготовка к измерениям — по разд. 2.

5.4. Проведение измерений

5.4.1. Перекрывают поток излучения, подлежащий регистрации, или выключают осветитель и измеряют темновой сигнал от всех элементов фоточувствительного поля или его части, указанной в ТУ на приборы конкретных типов, и при необходимости уровень отсчета, приведенные к выходу прибора.

5.5. Обработка результатов — по разд. 2.

5.6. Показатели точности измерений

Погрешность измерения темнового сигнала находится в интервале ± I! % с установленной вероятностью Р= 0,95.

Закон распределения погрешности — нормальный.

6. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ НЕРАВНОМЕРНОСТИ ТЕМНОВОЮ СИГНАЛА

6.1. Принцип, условия и режим измерений

6.1.1. Метод измерения неравномерности темнового сигнала основан на сравнении сигналов с различных участков фоточувствительного поля прибора при отсутствии на фоточувствительном поле прибора облучения, подлежащего регистрации.

6.1.2. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

6.2. Аппаратура — по разд. 1.

6.3. Подготовка к измерениям

6.3.1. Подготовка к измерениям — по разд. 2.

6.3.2. Измеряют напряжение насыщения — по разд. 3.

6.4. Проведение измерений — по п. 5.4.

6.5. Обработка результатов

6.5.1. Абсолютную неравномерность темнового сигнала (ДЦ) в вольтах вычисляют по формуле

дс; = ц -1; , (7)

ШЬ СП

где С, . t', , — максимальное и минимальное значения напряжения темнового сигнала. В.

6.5.2. Относительную неравномерность темнового сигнала (of,) в процентах вычисляют по формуле

f - f , St; = -^—— |()().

(8)

где U. , U. — максимальное и минимальное значения напряжения темнового сигнала. В: СМ* »«1.

““ напряжение насыщения, В.

6.5.3. Относительную среднюю квадратическую неравномерность темнового сигнала (о f_r) в процентах вычисляют по формуле _______

° V,

<С.,- С,)-’ ---------- 100.

(9)

где N — количество (фоточувствительных элементов фоточувствительного поля, для которых проведено измерение напряжения темнового сигнала;

f, — напряжение темнового сигнала с /-го фоточувствительного элемента или /-го участка фоточувствительного поля. В:

f, — среднее значение напряжения темнового сигнала для фоточувствительных элементов фо-точувствительного поля, для которых проведено измерение напряжения темнового сигнала. В;

Цшс“ напряжение насыщения. В.

С. 8 ГОСТ 28953-91

6.6. Показатели точности измерений

6.6.1. Погрешность измерения абсолютной неравномерности темнового сигнала находится в интервале ±11%.

6.6.2. Погрешность измерения относительной неравномерности темнового сигнала находится в интервале ± 13 %.

6.6.3. Погрешность измерения относительной средней квадратической неравномерности темнового сигнала находится в интервале ± 6 %.

7. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ МОНОХРОМАТИЧЕСКОЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ И ОБЛАСТИ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ

Настоящий стандарт устанавливает два метода измерения монохроматической чувствительности (метод опорного приемника и метод образцового излучателя) и метод определения области с пектрал ьной чувствителькости.

Измерения проводят с применением автоматизированных измерительных систем.

7.1. Измерение монохроматической чувствительности методом опорного приемника

7.1.1. Принцип, условия и режим измерений

7.1.1.1. Метод измерения основан на сравнении чувствительности прибора на заданной длине волны оптического изучения с известной монохроматической чувствительностью опорного приемника.

7.1.1.2. Измерение монохроматической чувствительности проводят при напряжении выходного сигнала (фоточувствительного элемента, не превышающем напряжение насыщения.

7.1.1.3. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

7.1.2. Аппаратура

7.1.2.1. Измерения проводят на установке, структурная схема которой приведена на черт. 2.

/ — осветитель монохроматора; 2- источник питании осветителя; 3 - световой затвор с устройствам управления: 4 — вольтметр контроля напряжения пи гания осветителя; 5 — устройство выделения .монохроматического излучения; 6— опорный приемник; '-прибор; f — синхрогенератор или блок залипни электрического режима; 9- резистор нагрузки ампервольтметра иля измерения выходного сигнала опорного приемника; // — усилитель; /2 — устройство отображения выходного сшиала; /3 — устройство измерения; 14— ЭВМ; 15— графопостроитель

Черт. 2

7.1.2.2. Осветитель монохроматора должен содержать источник излучения и ахроматический конденсатор.

При измерении спектральной характеристики чувствительности приборов используют источники излучения, имеющие сплошной спектр.

В качестве источника света осветителя используют лампу накаливания со светящимся телом, имеющую форму, удобную для проецирования на выходную щель монохроматора.

Конденсатор должен обеспечивать пропускание потока излучения в диапазоне длин волн от 350 до 1100 нм на входную щель монохроматора.

экЛнdoф

ou хошкэиычя (ист ей хвйэике) иве вн хвшоя я (\) чхэончкэхияхэяХь ок\хзэкихвко4хонош яохелчк&эй exxogBdgQ с 17

МЯ€ ЧЛВКВП я АКЭОНЕС ОНЧКаЛВЯОГЭКЭОи ЕКЕНХИЭ олонвохня BHHdhBHg ££17 и а хнннвевхА нояховна виг лккояо<1и ft I7^_I t 17 ¹¹¹¹ ои вина<1энси S t 17

Tt 17 ^{и 011} BdoxBwodxoHOK накати aHudum udu от/ и ои ХНКаВЯНВЯВНВЛЗ.А “ИКОН XEHHLT ВН ЕХИНКЭИОи OJOHdOUO ВВВНЛИЭ ОЛОИГОХНЯ ВМНЭЪВНЕ bigg члвнви Я АКЭОНЕС И KNBdaHCH КИНЭМЬТИ OAOXOdhHXBKOdXOHOH пиков АННЫ ККНЭНСИ И BdOXBNOdXOHOK woxoxou нннгохпя вхиннэиОи ojoHdouo чхэонх^эяои отХнч калиялзяЛьохоф лотвкйдо tVI7

BdoxBwodxonoK киногап анэп кипю1ХяА31аялооз “полет о икон имев эносвивиг коннегве я винанХкеи олохээьихвпоОхонок пн воя инист иинэ4анги iidu вввшио олонеохня винаьвнг |\яе яхвиви я авзонсе и лоп«1эпси ‘вкахихаязо никвк кин -Ехии винэжкОивн и cdoxBKodxonoK накат ионвохня и цонгохя uodancsd квнакси ан f t 17

£ reed он oioHHadaraH ‘винатпэен винaжвduвн % об or % ос хо кияелэоз вхиэкэкс охончкалиа -хэялтюхоф олоннакэгня ло квнлио ндохь хвх EdaxBnodxoHon накат пшикни нэмнанэкЕИ кинэвакеи вхолои чхэонток xoiAdHK&ad “кинэнлети щохээьилеиойхонотх никоя пнивТ ввнэкеи ан TV 17

-влнапэгЕ олонякэхиахэяльолоф олоннакатя отинанвис лпатчлодивн о«лто<.<я

-лзлэялооэ “никоя лимит xoiBKaraduo ‘колет кпннвкве о BdoxBKodxoHOK экохня вн винавХкеи олох -oahiixEKodxoHOK никоя Аникк ввнанси *и edoxBKodxoHon икат danced лошяикявнвлэд i t 17

HHHaddKCH аинакаяоиц t!7

ехиэпэкс олонякалиалз

-яЛьолоф охоннакавня edaxden эииэжвйдоси хвнос хилс я лотеяикпвнвлэЛ онякэлеяогакэои и ‘вноф яоххафат ло хншгодояз “хвнос хнннэтэяэо oHdanoimBd я икон олончкалипхэяХвохоф ‘ивклл ои и adman я “яолнапакс хпнчкалиихэяАнолоф ихки аанак эн хитежйэвоз “яохлзввЛ чхкн ло^идня

ккои олончкалмялэяльолоф олоннатаязо auHaxcedgocH вяхаиоскзА олонч^лнояоапие auedxc вн Аотеготкдвн н винавАкси oxoxoahiUEHodxoHow кинэкэгня оялоноЦлол логввон/хя ТТ17

ИХЯОНВХЭА BMflOdMAVBdJ KBMoahHUOHdau вэлаЕхзАиолг ан noxnnnandu nnudouo а цинайанси иинавэяойи udu exMiiHandu олон -douo илоончкахияхояЛь HmtxoMda^BdBx нончткхаиэ нлвнипйо дояс члвиеи я хвэоне^ то 7 ивинэйэкси х вхяололвоц £17

акия мoxэahифвdл я иипв^офни HOH4KaxMdaKCH эинакмвлэга4и чхвяиьаиэадо нэжког ЧL'autodлoouoфвdJ <1117

I TtEd ои - НЯС tlT 17

I uted ои — KHHddawEM ояхэцойхэд tit 17

I тих! ои — вквнлмэ олонвохня винажейдоло оялоцоихол TIT 17

I reBd ou чкаликиэд Ц Т17

aVON KOЯOdфИП МОНЧКЭКЕ^Ви Я ИHПBWdoфИИ ВОЯНЯ И Тб'О =d HXOOHXKOdaH Ионнэкяонеаэл udii % 8 TyamoiEmHfladu эн сичхэонтэ4лои овинэжвйивн и ежи эннэйэкЕн дотаяв -инэиэадо ‘dxanx4KoedauHE хо1ЛЕЧКоиэи EXHUKandu oxondouo еквнлиэ BHHadancH ыТ 0ITT7

I TEBd ou

— edogndu BdoxoHEHedx олонгохня exoa ojdhoged doxBEHKMgsxo нем ихе&Ьвн doxoMcaj “6T 17

I weed ou — EKHxad олохэаыи1лхэкс кннвгес хонд ики doxBdaHaxodxHio ST 17

•% 01 - сн

-ocEUBHK хввОх вн ‘% 8 ээкод ан — яохинкаиОи xHHdouo MXflodgnKBx qxooumadjou ввняонэо 'иквноЕвививтои BaHHtimoieBndxadau икон hmlt аноЕвивив коннвеехХ я минэй

-окси aunaraBodii хитавяинаиоадо “яохннкаиОи xnHdouo охчгохэан члвнэиж1и вэлэвхоЛиоГГ

мн 0011 or о<Т ло »<коя ннвт аносвивиг я BdoxBKodxoHOK акохня вн кинэкАвси олохэаьилвкоОхонок илэонток oлoняL■Eнoинdouodu ‘вввнлнэ аинанАвои эито<еяиьэиээдо “ихинкаиби xoiBHawudu BOXHHKdHdu xnndouo аелээквх я 77 17

I TEBd ои — винэкАкеи олохэаьилвкодхонок кинакэгня оялоиоахэд 9Т 17

Т О эжах эн илэоным вэавкх Охэклчкоя xoiBHanudu кинвиш ехинколэи кинажкОивн кинаОати кит тт 17 иинколэоэ woxndxxo ики колнОхвс я вОоялвс ошпвахиф и Ыоялвс aMuahOiBxadau члвяинаиэадо онжвок иodoялEC кпяолаяэ кинэьчн^пА оялаиоОпд ввалилаязо винавАкси вхохои аинвянОаОи чхвяиьаиэадо нажков douxet цояохэпэ tTI 7

'% ГО т ээкод эн ихсМлвн вхох члзончкидвхээн хювяиьэиээдо andoxox ‘ехох олоннкохзои нхннымэи хавнакийи вкахихаязо кинвхии вхиньохзи аялэаьех я £Т 17

6 Э I6-ES68Z .1.30.1

С. 10 ГОСТ 28953-91

\=£ Ч’ ^(,0)

где Ху — дискретные значения длин волн оптического излучения, нм;

_п -___ — среднее значение выходного сигнала от фоточувствительного поля прибора на дис

кретных значениях длин волн, В (А);

п, — значение выходного сигнала с /-го выделенного по п. 7.1.3.3 участка фоточувствительного поля прибора на дискретных значениях длин волн. В (А);

i = I. 2, 3. 4 или 5 — номер измеряемого участка фоточувствительного поля прибора;

«я — выходной сигнал опорного приемника на дискретных значениях длин волн, В (Л);

Л’., — монохроматическая чувствительность опорного приемника на дискретных значениях длин волн, В/Вт (А/Вт).

7.1.6. Показатели точности измерений

Погрешность определения монохроматической чувствительности прибора с установленной вероятностью Р = 0.95 находится в интервалах:

± 12 % — в диапазоне длин волн от 520 до 980 нм;

±15 %* » * » » 350 » 520 нм и от 980 до 1100 нм.

Закон распределения погрешности — нормальный.

7.2. Измерение монохроматической чувствительности методом образцового излучателя

7.2.1. Принцип, условия и режим измерений

7.2.1.1. Измерение монохроматической чувствительности методом образцового излучателя основано на сравнении среднего значения сигнала прибора и мощности монохроматического потока изучения известного излучателя, указанного в ТУ на приборы конкретных типов.

7.2.1.2. Условия и режим измерений, требования безопасности — по разд. 1.

7.2.2. Аппаратура

7.2.2.1. Измерения проводят на установке, структурная схема которой приведена на черт. 3.

I — образцовый излучатель; 2— источник ни гания ииучителя: 3~ световой затвор с устройством управления: 4— вольтметр контроля напряжения питания образцового излучатели: 5 — прибор. 6— синхрогенсраюр: 7— резистор нагрузки или стабилизатор рабочею тока выходною транзистора прибора; S — усилитель; 9 — устройство отображения выходного сигнала; 10 — устройство измерения; fl — ЭВМ; 12— графопостроитель

Черт. 3

7.2.2.2. Требования к аппаратуре — по п. 7.1.2.

7.2.2.3. Образцовый излучатель обеспечивает излучение светового потока в заданном узком спектральном диапазоне. Погрешность калибровки потока излучения не должна превышать 10 %.

7.2.3. Подготовка к измерениям

7.2.3.1. Измеряют напряжение насыщения по разд. 3.

7.2.3.2. Заносят в память ЭВМ значения мощности потока излучения образцового излучателя.

7.2.3.3. Включают питание образцового излучателя и наблюдают на экране видеоконтрольного устройства изображение освещенного фоточувствительного поля.

Выбирают пять участков — в центре и по углам фоточувствительного поля аналогично п. 7.1.3.3.

ГОСТ 28953-91 С. 11

7.2.4. Проведение измерений

Последовательно заносят и память ЭВМ значения выходного сигнала для пяти точек изображения, выбранных по п. 7.2.3.3.

7.2.5. Обработка результатов

Монохроматическую чувствительность (5J в вольтах на ватты вычисляют по формуле

\ Ф ’

где Ф₄ — мощность потока излучения образцового излучателя, Вт.

7.2.6. Погрешность измерений

Погрешность определения монохроматической чувствительности методом образцового излучателя с установленной вероятностью Р = 0.95 находится в интервалах ± 9.5 %, на краях диапазона — ± 13.5 %.

Закон непределения погрешности — нормальный.

7.3. Метод определения области спектральной чувствительности

7.3.1. Принцип, условия и режим измерений

7.3.1.1. Метол измерения области спектральной чувствительности основан на определении длин волн, на которых относительная спектральная чувствительность составляет не менее 0,1 своего максимального значения.

7.3.1.2. Измерение области спектральной чувствительности проводят при напряжении выходного сигнала фоточувствительного элемента, не превышающем напряжения насыщения.

7.3.1.3. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

7.3.2. Аппаратура — по п. 7.1.2.

7.3.3. Подготовка к измерениям — по п. 7.1.3.

7.3.4. Проведение измерений — по пп. 7.1.4.1—7.1.4.4.

7.3.5. Обработка результатов

7.3.5.1. Относительную спектральную характеристику чувствительности (5^„ (X,)) в процентах вычисляют по формуле

^₍у.^ 100. "²>

где $ — максимальная монохроматическая чувствительность. В/Вт (А/Вт).

7.3.5.2. Диапазон длин волн, для которого значение относительной спектральной характеристики чувствительности превышает 0,1 5, . вычисляют по формуле

I^^InpH^e |ХьЛ₂1 ^ 5* (X,) 2 О. !£„.,• °³⁾

7.3.6. Погрешность измерений

Погрешность определения области спектральной чувствительности прибора с установленной вероятностью Р= 0.95 находится в интерватах:

± 12 % — в диапазоне длин волн от 520 до 980 нм;

± 15 % » » » • • 350 * 520 нм и от 980 до 1100 нм.

Закон распределения погрешности — нормальный.

8. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТА ПЕРЕДАЧИ МОДУЛЯЦИИ

8.1. Принцип, условия и режим измерений

8.1.1. Метод измерения коэффициента передачи модуляции основан на сравнении напряжений выходного сигнала при передаче изображений группы штрихов заданных пространственных частот или на сравнении выходных сигналов, генерируемых от электрически введенных на вход прибора сигнала заданной частоты и сигнала, заполняющего не менее четырех последовательных фоточувствительных элементов входного регистра.

8.1.2. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. I.

8.2. Аппаратура — по разд. 1.

С. 12 ГОСТ 28953-91

8.3. Подготовка и проведение измерений

8.3.1. Подготовка к измерениям — по разд. 2.

8.3.2. При оптическом вводе сигнала устанавливают испытательную таблицу 0577 или 0577—2 для измерения коэффициента передачи модуляции в вертикальном направлении.

Фокусировкой оптической системы добиваются наилучшей различимости деталей изображения, т. е. такого качества изображения группы штрихов на фоточувствительном поле прибора, при котором напряжение выходного сигнала с мелких деталей становится наибольшим.

8.3.3. При электрическом вводе сигнала на входное устройство прибора подают сигнал от генератора импульсов, частота и размах которого указаны в ГУ на приборы конкретных типов.

8.3.4. Измеряют выходной сигнал с крупных деталей изображения и выходной сигнал с мелких деталей изображения по разд. 2.

8.4. Обработка результатов

Коэффициент передачи модуляции (A'j в процентах вычисляют по формуле

где U — напряжение сигнала от группы штрихов. В;

С — напряжение выходного сигнала с крупных деталей изображения. В.

8.5. Показатели точности измерений

8.5.1. Погрешность измерения коэффициента передачи модуляции при оптическом вводе сигнала должна находиться в интервале ± 7,5 %.

8.5.2. Погрешность измерения коэффициента передачи модуляции при электрическом вводе сигнала находится в интервале ± 3 %.

8.5.3. Установленная вероятность для погрешностей Р=0,95.

Закон распределения погрешностей — нормальный.

9. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ЧИСЛА ДЕФЕКТОВ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ПОЛЯ

9.1. Принцип, условия и режим измерений

9.1.1. Метод основан на подсчете числа участков фоточувствительного поля, содержащих дефектные фоточувствительные элементы, выходной сигнал которых отличается от среднего значения выходного сигнала фоточувствительного поля или его части, включающей анализируемый элемент, на заданную часть напряжения или тока насыщения.

9.1.2. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

9.2. Аппаратура

9.2.1. Измерения следует проводить на установке, структурная схема которой приведена в разд. I.

9.2.2. Требования к аппаратуре — по разд. 1.

9.3. Подготовка к измерениям

Измеряют напряжение насыщения по разд. 3.

9.4. Проведение измерений

9.4.1. Устанавливают параметры облучения на фоточувствительном поле прибора, обеспечивающее напряжение выходного сигнала, равное (0.5 ± 0.2) ел. мзм. от напряжения насыщения или в соответствии с требованиями ТУ на приборы конкретного типа, и измеряют напряжение выходного сигнала по разд. 2.

9.4.2. Определяют верхний и нижний уровни отсчета напряжения сигнала белых и черных дефектов (t^r₀, С_ч) в вольтах по формулам:

t^ = ^ + P^J (15)

и., = и_с — рк'_Н1Л, (16)

где f_t — напряжение выходного сигнала, измеренное по п. 9.4.1. В;

р — 0.2 ел. изм. или в соответствии с ТУ на приборы конкретных типов:

U_UilL “ напряжение насыщения. В.

9.4.3. Сравнивают напряжение выходного сигнала каждого фоточувствительного элемента U_Li с напряжением выходного сигнала t;. измеренного по л. 9.4.1.

ГОСТ 28953-91 С. 13

9.5. Обработка результатов

Определяют раздельно число белых и черных дефектов по фоточувствительному полю или в зонах, показанных на черт. 4.

Размеры зоны должны быть указаны в ТУ на приборы конкретных типов.

9.6. Показатели точности измерений

Погрешность измерения числа дефектов фоточувствительного поля находится в интервале ± 12 % с установленной вероятностью Р = 0,95.

Закон распределения погрешности — нормальный.

Зона!

Зона 2

Зона f

Черт. 4

10. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ

10.1. Принцип, условия и режим измерений

10.1.1. Метод основан на определении изменения выходного сигнала прибора, которое соответствует изменению уровня облучения в заданном спектральном диапазоне фоточувствительного поля прибора.

10.1.2. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

10.2. Аппаратура — по разд. 1.

10.3. Подготовка и проведение измерений

Устанавливают два значения параметров облучения фоточувствительного прибора или его части в соответствии с ТУ на приборы конкретных типов и измеряют для них выходные сигналы прибора по разд, 2. Допускается в качестве наименьшего принимать нулевые значения параметров облучения.

10.4. Обработка результатов

Интегральную чувствительность (5₍) вычисляют по одной из формул в соответствии с требованиями, установленными в ГУ на приборы конкретных типов

где й^ , L;, — напряжение выходного сигнала. В;

Е. Е₂ — освещенность фоточувствительного поля прибора, лк:

Е_с . Е^ — энергетическая освещенность фоточувствительного поля прибора. Вт м~-;

//.. Н, — световая экспозиция фоточувствительного поля прибора, лк с;

Н., Н. - энергетическая экспозиция фоточувствительного поля прибора. Дж м \

10.5. Показатели точности измерений

Погрешность определения интегральной чувствительности находится в интервале ± 13 % с установленной вероятностью /’ = 0.95.

Закон распределения погрешности — нормальный.

С. 14 ГОСТ 28953-91

II. МГГОД ИЗМЕРЕНИЯ СРЕДНЕГО КВАДРАТИЧЕСКОГО ЗНАЧЕНИЯ НАПРЯЖЕНИЯ ШУМА И ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДИНАМИЧЕСКОГО ДИАПАЗОНА

11.1. Принцип, условия и режим измерений

11.1.1. Метол измерения шумов основан на измерении темновых сигналов фоточувствительных элементов прибора за два никла считывания сигналов не менее чем со 128 фоточувствительных элементов прибора или за 128 считываний с одного фоточувствительного элемента прибора.

Определение динамического диапазона основано на сравнении напряжения насыщения и среднего квадратического напряжения шума.

11.1.2. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. I.

11.2. Аппаратура — по разд. 1.

11.3. Подготовка и проведение измерений

11.3.1. Измеряют напряжение насыщения по разд. 3.

11.3.2. Затемняют фоточувствительное поле прибора и измеряют темновой сигнал от отдельных фоточувствительных элементов для двух циклов считывания или от одного фоточувствительного элемента по разд. 5.

11.4. Обработка результатов

11.4.1. Среднее квадратическое напряжение шумов (оС ) в вольтах для двух циклов считывания вычисляют по формуле

^ - ■ <²¹>

где U > — напряжение выходного сигнала /-го фоточувствительного элемента, полученное при измерении для первого считывания. В;

U "— напряжение выходного сигнала /-го фоточувствительного элемента, полученное при измерении для второго считывания. В;

/V — число фоточувствительных элементов, по которым производится усреднение сигнала.

11.4.2. Среднее квадратическое напряжение шумов (сС_ш) в вольтах для считывания сигнала от одного фоточувствительного элемента вычисляют по формуле

°^ ^{= (2|а}>

где U_{ — напряжение выходного сигнала /-го фоточувствительного элемента. В:

А¹' — число считываний сигнала одного фоточувствительного элемента.

11.4.3. Динамический диапазон (Д) в относительных единицах вычисляют по формуле

(22)

где 6'_нк — напряжение насыщения. В.

11.5. Показатели точности измерений

11.5.1. Погрешность измерения среднего квадратического напряжения шумов находится в интервале ± 6 %.

11.5.2. Погрешность измерения динамического диапазона находится в интервале ± 12 %.

11.5.3. Установленная вероятность для погрешностей Р= 0.95.

Закон распределения погрешностей — нормальный.

12. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПОРОГОВОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ И ПОРОГОВОЙ экспозиции

12.1. Принцип, условия и режим измерений

12.1.1. Метод измерения пороговой освещенности и пороговой экспозиции основан на определении параметров облучения, при которых выходной сигнал равен среднему квадратическому напряжению шума.

12.1.2. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. I.

12.2. Аппаратура — по разд. 1.

ГОСТ 28953-91 С. 15

12.3. Подготовка и проведение измерений

12.3.1. Измеряют интегральную чувствительность прибора по разд. 10.

12.3.2. Затемняют фоточувствительное поле прибора и измеряют среднее квадратическое напряжение шумов по разд. II.

12.4. Обработка результатов

12.4.1. Пороговую освещенность (£_пор) в люксах вычисляют по формуле

Е = (23)

где о U_a — среднее квадратическое напряжение шума. В;

S_v — интегральная чувствительность. В/лк.

12.4.2. Пороговую энергетическую освещенность (£_{с пор}) в люксах вычисляют по формуле

Е = ЯА (24)

II пр у >

где о и* — среднее квадратическое напряжение шума. В:

5_Г — интегральная чувствительность. В/(Вт м-²).

12.4.3. Пороговую экспозицию (Н_|1ор) в люксах в секунду вычисляют по формуле

Я =2А (25)

* * лор ’

где о U_a — среднее квадратическое напряжение шума. В:

S_v — интегральная чувствительность. В/(лк с).

12.4.4. Пороговую энергетическую экспозицию {Н_{с 1|Ор}) в джоулях на квадратный метр вычисляют по формуле

где об¹- среднее квадратическое напряжение шума. В;

S_v — интегральная чувствительность. В/(Джм^-2).

12.5. Показатели точности измерений

Погрешность измерения пороговой освещенности и пороговой экспозиции находится в интервале ± 16 % с установленной вероятностью /’= 0,95.

Закон распределения погрешности — нормальный.

13. МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ТОКА УТЕЧКИ МЕЖДУ ЭЛЕКТРОДАМИ

Настоящий раздел устанавливает два метода измерения тока утечки между электродами:

- метод измерения измерителем параметров полупроводниковых приборов;

- метол измерения микроамперметром.

13.1. Метод измерения измерителем параметров полупроводниковых приборов

13.1.1. Принцип, условия и режим измерений

13.1.1.1. Метод измерений состоит в прямом измерении тока между одиночным электродом и группой электродов, группами электродов, одиночными электродами при заданном напряжении между ними в статическом режиме работы прибора.

13.1.1.2. Номера выводов прибора, между которыми измеряют ток утечки, полярность и разность потенциалов между электродами должны соответствовать требованиям ТУ на приборы конкретных типов или технических инструкций (ТИ) для измерения статических параметров приборов. Пример записи в ТУ или в ТИ приведен в приложении 4.

13.1.1.3. Условия, режим измерений и требования безопасности — по разд. 1.

13.1.2. Аппаратура

13.1.2.1. Ток утечки между электродами измеряют по одной из структурных схем, приведенных на черт. 5.

13.1.2.2. Измеритель статических параметров приборов типа изделия ХШМ 1.149.002.

13.1.2.3. ЭВМ — любой тип управляющих ЭВМ. например ВУМС, ДВК с устройством управления внешних приборов.

С. 16 ГОСТ 28953-91

I — прибор: 2— измеритель параметрон полуправод-пиковых приборов; 3— ЭВМ; 4— цифра леча тающее устройство ШПУ>

1 — прибор; 2— коммутирующее устройство; 3— измеритель статических параметров полупроводниковых приборов; 4- ЦПУ: S- ЭВМ

Черт. 5

13.1.2.4. ЦПУ — любое цифропечатающее устройство типа «Robotron», «Consul».

13.1.2.5. Коммутирующее устройство должно обеспечивать подключение выводов прибора к измерителю параметров полупроводниковых приборов в заданном порядке, а при использовании ЭВМ — в соответствии с установленной программой.

13.1.2.6. Измеритель параметров полупроводниковых приборов обеспечивает подачу на электроды прибора постоянного напряжения положительной или отрицательной полярности в диапазоне от 0 до 30 В с погрешностью не более 5 % в ручном и автоматическом режимах с индикацией результатов измерений на табло или с помощью ЦПУ.

13.1.3. Подготовка и проведение измерений

Выводы прибора, указанные в ТУ, ТИ через коммутирующее устройство последовательно вручную или автоматически подключают к измерителю параметров полупроводниковых приборов, подают на них напряжение, указанное в ГУ. и измеряют ток утечки, который фиксирует на табло измерителя параметров полупроводниковых приборов или с помощью ЦПУ.

13.1.4. Показатели точности измерений

Относительная погрешность измерения токов утечки между электродами с установленной вероятностью Р = 0.95 находится в интервале ± 15 %.

'Закон распределения погрешности — нормальный.

13.2. Метод измерения микроамперметром

13.2.1. Принцип, условия и режим измерений — по п. 13.1.1.

13.2.2. Аппаратура

13.2.2.1. Принципиальная схема включения приборов для измерения тока утечки между электродами приведена на черт. 6.

fit рд

xf(v) о--□--@-Ttr--^{0 X}W

(уЛру

X2(V) О---------------—X----0X965)

XI (И), Х2 (К) — выводы олп подключения прибора; Я/ — огра-ничигельныН резистор; РА — микроамперметр; РИ— вольтметр: .V3 (О ), Х4 (G • — выводи для подключении источника питания

Черт. 6

13.2.2.2. Ограничительный резистор МЛТ-05-24 кОм ± 10 % ОЖО.467.107 ТУ. если другой не указан в ТУ на конкретный тип прибора.

13.2.2.3. Класс точности измерительных приборов с учетом добавочных и шунтирующих сопротивлений не должен быть ниже:

1.5 — для вольтметров и микроамперметров:

4.0 — для микроамперметров, измеряющих токи менее 10 мкА.

Стрелочные электроизмерительные приборы должны обеспечивать измерение тока (напряжения) в последних 2/3 шкалы.

13.2.3. Подготовка и проведение измерений

13.2.3.1. На электродах прибора, между которыми измеряют ток утечки, создают разность потенциалов и контролируют ее вольтметром или по шкале источника калиброванных напряжений.

ГОСТ 28953-91 С. 17

При подаче разности потенциалов от калиброванного источника питания контроль вольтметром исключают.

13.2.3.2. Ток утечки между электродами измеряют микроамперметром.

13.2.4. Показатели точности измерений — по п. 13.1.4.

ПРИЛОЖЕНИЕ I

Обязательное

МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОСВЕЩЕННОСТИ. ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ. НЕРАВНОМЕРНОСТИ ОСВЕЩЕННОСТИ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ

1. Принцип измерений

1.1. Определение освещенности, создаваемой осветителем и оптической системой в плоскости фотометрирования основано на измерении фототока фотоприемника, проградуированного в световых единицах, входное окно которого расположено в фотометрирусмой плоскости перпендикулярно направлению потока излучения.

1.2. Для оптических систем, имеющих нулевую оптическую плотность, освещенность может быть рассчитана на известной силе света осветителя.

1.3. Определение энергетической освещенности основано на измерении фототока фотоприемника, проградуированного в энергетических единицах, или на сопоставлении лучистого и светового потоков излучения в плоскости фотометрирования.

1.4. Определение неравномерности освещенности и энергетической освещенности в плоскости фотометрирования основано на сравнении выходных сигналов фотоприемника, располагаемого в различных участках рабочего поля в плоскости фотометрирования.

2. Аппаратура

2.1. Определение освещенности, энергетической освещенности и неравномерности освещенности и энергетической освещенности проводят на установке, структурная схема которой приведена на черт. 7.

□—43—43

/—оптическая система с набором диафрагм; 2— фотоириемних; 3 — измеритель фототока фотопрлемиика

Черт. 7

2.2. Оптическая система должна удовлетворять требованиям п. 1.2 настоящего стандарта.

2.3. Фотоприемник для измерения освещенности должен удовлетворять следующим требованиям:

- относительная спектральная характеристика чувствительности должна соответствовать кривой относительной водности издучения для стандартного фотометрического наблюдателя МКО, ординаты которой приведены в табл. I;

- погрешность калибровки фотоприемника по световой чувствительности должна быть в пределах ± 5 %.

С. 18 ГОСТ 28953-91

Таблица I

Относительная видносгь излучения для стандартного фотометрического наблюдателя МКО

* Допускаемое отклонение нс нормируется.

2.4. Погрешность калибровки фотоприемника для измерения энергетической освещеннос ти должна быть в пределах ± 18 %.

2.5. Погрешность измерений линейных размеров рабочей части фоточувствительиой поверхности фотоприемника или части диафрагмы, ограничивающих участки его фоточувствитсльной поверхности, должна быть в пределах ± I %; при измерении неравномерности освещенности диафрагма, ограничивающая участок фоточувствительиой поверхности фотонриемника. должна имегь диаметр (диагональ), нс превышающий 0.1 максимального размера фотометрируемого поля, но нс менее 1 мм.

2.6. Погрешность измерителя фототока фотоприемника, обеспечивающего измерение постоянного тока в цепи фоточувствитсльной поверхности фотоприемника или его выходной пени, не должна превышать ± 10 % для значений токов от 10 ⁴ до 10^-13 А.

2.7. При установлении рабочих значений параметров облучения фоточувствительного поля прибора с использованием несслективных поглотителей света коэффициент пропускания последних должен быть измерен с погрешностью нс более ± 10 % для одиночных поглотителей света и групп таких поглотителей, калибруемых как одиночный поглотитель.

При использовании диапозитивов испытательных таблиц и тест-объсктов рабочее значение параметров облучения определяют с учетом коэффициентов пропускания их белых полей.

3. Метод определения освещенности и энергетической освещенности

3.1. Подготовка и проведение измерений

3.1.1. Включают источник света оптической системы и устанавливают сто электрический режим в соответствии с протоколом фотомстрнрования.

Оптическую систему, содержащую объектив, настраивают так. чтобы в плоскости фотомстрирования было спроецировано сфокусированное изображение испытательной таблицы, размеры которого должны соответствовать указанным в ТУ на приборы конкретных типов.

3.1.2. Устанавливают фотоприемник так. чтобы сто входное окно с ограничивающей диафрагмой находилось в плоскости фотомстрирования.

3.1.3. Устанавливают режим фотоприемника и измеряют фототок фотонриемника как разность токов при освещенной и полностью затемненной фоточувствитсльной поверхности фотоприемника.

ГОСТ 28953-91 С. 19

3.1.4. При определении освещенности, создаваемой в плоскости фотометрирования осветителем с известной силой света, измеряют расстояние от центра поверхности тела накала лампы осветителя по перпендикуляру до плоскости фотометрирования.

3.2. Обработка результатов

3.2.1. Освещенность и энергетическую освещенность (£, £.) в люксах и в ваттах на квадратный метр вычисляют по формулам:

где /ф — фототок фотоприемника. А;

е — световая чувствительность фотоприемника. А/лк;

Ее — энергетическая освещенность фотоприемника. А (Втм^-2).

3.2.2. При проведении измерений no п. 3.1.4 освещенность (£) в люксах вычисляют по формуле

(28) где / — сила света осветителя, кд;

/ — расстояние, м.

3.3. Показатели точности измерений

3.3.1. Погрешность определения освещенности с установленной вероятностью Р = 0.95 находится в интервале ± 10 %.

Закон распределения погрешности — нормальный.

3.3.2. Погрешность определения энергетической освещенности с установленной вероятностью Р= 0,95 находится в интервале ± 8 %.

Закон распределения погрешности — нормальный.

4. .Методы определения относительной неравномерности освещенности и энергетической освещенности

4.1. Подготовка и проведение измерений

4.1.1. Подготовка к измерениям — но и. 3.1.1—3.1.3.

4.1.2. Последовательно устанавливают входное окно фотоприемника с ограничивающей диафрагмой в плоскости фотометрирования в положения, указанные на черт. 8 (для линейных ФППЗ —с шагом, равным диаметру ограничивающей диафрагмы, при этом участки нс должны перекрываться), и в каждом из них измеряют фототок фотоприемника.

Для матричных. ФППЗ

Для линейных ФППЗ

Черт. 8

4.2. Обработка результатов измерений

4.2.1. Относительную неравномерность освещенности и энергетической освещенности (Н_с) в процентах вычисляют по формуле

Н_с = ± '-■ ^ кто.

(29)

где Ли». /щш — наибольшее и наименьшее значения фототока фотоприемника из значений, измеренных по п. 4.1.2. А (отн. ед.).

С. 20 ГОСТ 28953-91

4.3. Показатели точности измерении

Погрешность определения относительной неравномерности освещенности и энергетической освещенности с установленной вероятностью Р- 0.95 находится в интервале ± 10 %.

Закон распределения погрешности — нормальный.

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

Справочное

методы ОПРЕДЕЛЕНИЯ СПЕКТРАЛЬНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ИЗЛУЧЕНИЯ ОСВЕТИТЕЛЯ И ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ

1. Принцип измерения

Определение спектральной характеристики изучения осветителя и оптической системы основано на сравнении монохроматического излучения образцового излучателя и поверяемого осветителя и оптической системы на различных длинах волн оптического изучения — метод образцового излучателя или на сравнении характеристики спектральной чувствительности опорного приемника, измеренной с помощью поверяемого осветителя и оптической системы с нормированной (паспортной) характеристикой спектральной чувствительности опорного приемника (метод опорного приемника).

I. Метод образцового излучателя

1.1. Аппаратура

1.1.1. Определение спектральной характеристики излучения поверяемого осветителя и оптической системы проводят на установке, структурная схема которой приведена на черт. 9.

/—осветитель и оптическая система; 2 — обращений излучатель; 3— устройство выделении монохроматическою излучения; 4 — |||ото11рисммик с устройством питания и измерения выходкою сигнала

Черт. 9

1.1.2. Осветитель и оптическая система должны удовлетворять требованиям п. 1.2.2 настоящего стандарта.

1.1.3. Образцовый излучатель — лампа накаливания электрическая светоизмерительная рабочая по ГОСТ 10771 с известным распределением энергии излучения по длинам волн в диапазоне от 350 до 1100 нм.

1.1.4. В качестве устройства выделения монохроматического излучения применяют монохроматоры млн дихроичные поглотители света, обеспечивающие следующие характеристики монохроматического нмучсния:

- полуширина выделяемого интервала длин волн — нс более 5 нм;

- шаг выделения интервалов длин волн — нс безлес 20 нм.

Монохроматор должен удовлетворять требованиям ГОСТ 17333 в диапазоне длин волн от 350 до 1100 нм.

1.1.5. Фотоприемник должен удовлетворять требованиям приложения I настоящего стандарта, кроме требований к его относительной спектральной чувствительности.

1.1.5.1. Спектральная чувствительность фотонриемника должна обеспечивать измерения в диапазоне длин волн от 350 до 1100 нм.

Допускается применять несколько фотоприемников, обеспечивающих проведение измерений в указанном диапазоне длин перекрывающимися поддиапазонами.

1.1.6. Устройства питания и измерения выходного сигнала фотоприс.мников должны обеспечивать питание фотоприемников в соответствии с требованиями ТУ на фотоприемники конкретных типов и измерение

ГОСТ 28953-91 С. 21

выходного сигнала фотоприемника методами, изложенными в соответствующей эксплуатационной документации. с погрешностью, не превышающей ± 5 %.

1.2. Подготовка и проведение измерений

1.2.1. Проводит подготовку осветителя, оптической системы, образцового излучателя, устройства выделения монохроматического излучения и фотоприемника в соответствии с эксплуатационной документацией.

1.2.2. Настраивают электрический режим фотоприемника.

1.2.3. При использовании монохроматора положение фотоприемника за выходной шелью выбирают так. чтобы сто фоточувствитсльная поверхность находилась в поле излучения монохроматора.

Это положение фотоприемника в процессе и змерений должно оставаться неизменным.

Последовательно устанавливают перед входной щелью монохроматора образцовый источник и поверяемый осветитель с оптической системой, устанавливают длину волны монохроматического излучения монохроматора в диапазоне длин волн от 350 до 1100 нм с шагом не более 20 нм и отмечают показания измерителя выходного сигнала фотоприемника.

Измерения на каждой длине волны проводят при настройке монохроматора, обеспечивающей получение достоверного отсчета выходного сигнала фотоприемника.

1.2.4. При использовании дихроичных поглотителей света их последовательно устанавливают между образцовыми источником или проверяемым осветителем с оптической системой и фотоприемником: отмечают показания измерителя выходного Сигнала фотоприемника на каждой длине волны.

1.3. Обработка результатов измерений

1.3.1. Спектральную плотность мощности поверяемого осветителя с оптической системой (Ф_д ) в ваттах вычисляют по формуле

Ф. =i«v

гдсд_д. д₀ — значения выходных сигналов фотоприемника, измеренные при облучении поверяемым осветителем и образцовым излучателем, отн. ед.:

Фи — мощность монохроматического излучения, измеренная образцовым излучателем. Вт.

1.3.2. По полученным результатам строят спектральную характеристику излучения поверяемого облучателя.

1.4. Показатели точности измерений

Погрешность определения спектральной характеристики излучения методом образцового излучателя находится в интервале ± 15 % с установленной вероятностью ? = 0.95.

Закон распределения погрешности — нормальный.

2. Метод опорного приемника

2.1. Аппаратура

2.1.1. Спектральную характеристику излучения поверяемого осветителя системы определяют на установке. структурная схема которой приведена на черт. 10.

EHIH0

/ — осветитель и оптическая система; 2 — устройство выделения монохроматического излучения; J — опорный фотоприемник с устройств вами питания и измерения выходного сигнала

Черт. 10

2.1.2. Осветитель и оптическая система должны удовлетворять требованиям гг. 1.2.2 настоящего стандарта.

2.1.3. Требования к устройствам выделения монохроматического излучения — по п. 1.1.4 настоящего приложения.

2.1.4. Требования к опорному фотоприемнику — по п. 1.1.5 (кроме п. 1.1.5.2) настоящего приложения.

2.1.5. Требования к устройствам питания и измерения выходного сигнала фотопривмника — по п. 1.1.6 настоя щего приложен ня.

2.2. Подготовка и проведение измерений

2.2.1. Проводят подготовку осветителя и оптической системы, устройства выделения монохроматического излучения и опорного фотоприемника в соответствии с эксплуатационной документацией на них.

С. 22 ГОСТ 28953-91

2.2.2. Настраивают электрический режим опорного фотоприемника.

2.2.3. При использовании монохроматора положение опорного фотонриемника за выходной щелью выбирают так, чтобы его фоточувствительная поверхность полностью освещалась излучением монохроматора.

Эю положение опорного фотонриемника в процессе измерений должно оставаться неизменным.

Сканируя спектр, измеряют выходной сигнал опорною фотонриемника в диапазоне длин волн от 350 до 1100 нм с шагом нс более 20 нм.

2.2.4. При использовании дихроичных поглотителей света их последовательно устанавливают между поверяемым осветителем и опорным фотоприемником, отмечают показания измерителя выходного сигнала опорного фотоприемникз на каждой длине волны.

2.3. Обработка результатов

2.3.1. Спектральную плотность мощности поверяемого осветителя с оптической системой (Ф_х> в ваттах вычисляют по формуле

. -л (31)

где а_х — значение выходного сигнала опорного фотоприемника, измеренное по пп. 2.2.3; 2.2.4. А (В);

А,, — монохроматическая чувствительность опорного фотоприемника. A/Вт (В/Вт).

2.3.2. По полученным результатам строят спектральную характеристику излучения поверяемою облучателя.

2.4. Показатели точности измерении

Погрешность определения спектральной характеристики излучения облучателя методом опорного приемника находится в интервале ± 15 % с установленной вероятностью Р = 0,95.

Закон распределения погрешности — нормальный.

ПРИЛОЖЕНИЕ 3 Справочное

ТЕЛЕВИЗИОННЫЕ ИСПЫТАТЕЛЬНЫЕ ТАБЛИЦЫ И ТЕСТ-ОБЪЕКТЫ

I. Технические требования

1.1. В зависимости от формы рабочей фоточувствитсльной поверхности отношение размеров сторон испытательных таблиц (ширины к высоте) должно быть 4:3.

1.2. Размеры рабочего поля диапозитивов таблиц должны быть 18 х 24; 24 х 32 мм.

1.3. Отклонение рабочего поля от номинального нс должно быть более ± 0.04 мм.

1.4. Требования к штриховым мирам и денситометричсским параметрам таблиц — в соответствии с ГОСТ 14872.

1.5. Неравномерность толщины линий в штриховых мирах по отношению к их номинальному значению нс должна превышать ± 10 %.

1.6. Требования к таблицам и их элементам, предназначенным для проверки невещательных систем, устанавливают по согласованию с заказчиком.

1.7. Испытательные таблицы могут содержать испытательные элементы, обеспечивающие проверку только одного или нескольких параметров.

1.8. Для измерения параметров приборов используют испытательные таблицы:

ИТ — 72 по ГОСТ 20466; универсальные испытательные таблицы по ГОСТ 14872: 0177. 0377. 0477 — для настройки, установки электрического режима, измерения напряжения или тока насыщения: 0577—0577—2 — для измерения коэффициента передачи модуляции; 0164 — для измерения неравномерности выходного сигнала; 0485—1.0485—2 — для измерения параметров в автоматизированных измерительных устройствах; тест-объекты TI—84. Т4—84 — для измерения неравномерности выходного сигнала, напряжения или тока насыщения.

Таблица 0177

ГОСТ 28953-91 С. 23

Таблица 0377

С. 24 ГОСТ 28953-91

Таблица 0477

Таблица 0577

ГОСТ 28953-91 С. 25

Таблица 0485-1

Таблица 0485-2

нита

м

С. 26 ГОСТ 28953-91

Тест-объект Т1—84

Тест-объект 14 — 84

2. Методы испытаний

2.1. Проверку технических требований к диапозитивам таблиц проводят в нормальных климатических условиях по ГОСТ 20.57.406.

2.2. Проверку размеров диапозитивов проводят с помощью микроскопа, обеспечивающего измерение линейных размеров ± I мкм. Ширину черных и белых линий в клиньях измеряют на крайних цифровых отметках, в группах линий — в среднем сечении группы.

ГОСТ 28953-91 С. 27

При определении ширины черных и белых линий на каждой отметке измеряют черную и белую линии в средней части и по краям сечения клина или группы. Измерение проводят в сечении, перпендикулярном к направлению линий.

2.3. Коэффициент пропускания прозрачных участков и черных крупных деталей диапозитивов таблиц измеряют с помошью микрофотометра.

ПРИЛОЖЕНИЕ 4

Рекомендуемое

ПРИМЕР ЗАПИСИ В ТЕХНИЧЕСКИХ УСЛОВИЯХ УСЛОВИЙ ИЗМЕРЕНИЯ ТОКА УТЕЧКИ МЕЖДУ ЭЛЕКТРОДАМИ

При измерении тока утечки между одиночным электродом и группой электродов в ТУ. ТИ приводят следующую запись:

«Ток утечки между одиночным электродом и остальными электродами, соединенными между собой и с подложкой, измеряют в соответствии с разд. 13 методом ... * при подаче на этот электрод напряжения ...** В».

При измерении тока утечки между группами электродов или между отдельными электродами и группой электродов последовательность и условия испытаний приводят в виде табл. 2.

Таблица 2

* Указывают конкретный метод измерения I или 2.

” Указывают конкретное значение и знак напряжения на отдельном электроде относительно подложки.

С. 28 ГОСТ 28953-91

ПРИЛОЖЕНИЕ 5

Справочное

ПРИМЕР АЛГОРИТМА ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАПРЯЖЕНИЯ НАСЫЩЕНИЯ СВЕТОВОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ

ГОСТ 28953-91 С. 29

ПРИЛОЖЕНИЕ 6

Справочное

ТЕРМИН, ПРИМЕНЯЕМЫЙ В НАСТОЯЩЕМ СТАНДАРТЕ. И ЕГО ПОЯСНЕНИЕ

Погрешность установления — погрешность, вносимая совокупностью параметров, характеризующих метрологическое состояние средств измерений, сохраняющая постоянство значения н межповерочные интервалы.

ПРИЛОЖЕНИЕ 7

Справочное

РАСЧЕТ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗМЕРЕНИЙ ВЫХОДНОГО СИГНАЛА

I. Интервал, в котором с установленной вероятностью Р = 0.95 находится погрешность измерения

выходного сигнала 1гг.) в процентах вычисляют по формуле

л_£ = ± 1.96

(32)

где л • — дисперсия г-й частной погрешности измерении;

г = 1... п — номер источника частной погрешности.

2. Источники частных погрешностей и их характеристики приведены в табл. 3.

Таблица 3

С. 30 ГОСТ 28953-91

3. Результаты расчета суммарной погрешности измеряемых величин приведены в табл. 4.

Таблица 4

ИНФОРМАНИОНН Ы Е ДАН Н Ы Е

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством электронной промышленности СССР

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по управлению качеством продукции и стандартам от 29.03.91 № 401

3. ВЗАМЕН OCT II 0290.0-86; ОСТ 11 0290.1-86; ОСТ 11 0290.2-87; ОСТ 11 0290.3-87; OCT II 0290.4-87; (КТ 11 0290.5-87; ОСТ 11 0290.6-87; OCT II 0290.7-87

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

5. ПЕРЕИЗДАНИЕ. Ноябрь 2004 г.

Редактор В. II. Огурцов Технический редактор В.Н. Прусакова Корректор U B. Бучпая Комп мотернйи верстка Е.Н. Мартсмьяповои

Изд. лип. № 02354 от 14.07.2000. Сдано н набор 14.10.2004. Подписано г. печать 30.11.2004. Уел. печ. я. 3.72.

Уч.-изд. л. 3.25. Тираж 55 акт. С 4532. Зак. 365.

ИПК Издательство станлартов, 107076 Москва. Колодезный пер.. 14. h«p://w»-w.itandardx.ru e-mail: info&silandank.ni

Набрано и отпечатано в ИПК И тдательстио стандартов