allgosts.ru29. ЭЛЕКТРОТЕХНИКА29.045. Полупроводниковые материалы

ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа

Обозначение:
ГОСТ 26239.0-84
Наименование:
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
Статус:
Действует
Дата введения:
01/01/1986
Дата отмены:
-
Заменен на:
-
Код ОКС:
29.045

Текст ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа

ГОСУДАРСТВЕННЫЕ СТАНДАРТЫ

СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ

МЕТОДЫ АНАЛИЗА

ГОСТ 26239.0-84-ГОСТ 26239.9-84

Издание официальное

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО СТАНДАРТАМ

Москва

ГОСУДАРСТВЕННЫЕ СТАНДАРТЫ

СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ

МЕТОДЫ АНАЛИЗА

ГОСТ 26239.0-84-ГОСТ 26239.9-84

Издание официальное

МОСКВА — 1985

РАЗРАБОТАНЫ Министерством цветной металлургии СССР

ИСПОЛНИТЕЛИ

Ю. А. Карп», М. Н. Щулепнкков, М. К. Винников, Г. Г. Главки, НАГрадскма, О. I. Зама, Т. И, Зябпова, В, Е, Квин, В. А Крылов, И,А Кровли, Н, И. Марунииа, В. Г. Мискарынц, В, М, Михайлов, М, Г, Назарова, В, А Орлова, А И, Степанов, Н, С, Сысоева, В, И. Фирсов, Г, И. Александрова

ВНЕСЕНЫ Министерством цветной металлургии СССР

Член Коллегии А 0. Снурников

УТВЕРЖДЕНЫ И ВВЕДЕНЫ В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государ-(тленного комитета СССР по стандартам от 13 июля \Щ г, № Ж

УДК 669.782:543.06:006.354 Группа В59

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ, Общие требования к методам анализа

Semiconductor silicon, raw materials lor its production and quartz. General requirements for methods of analysis

ОКСТУ 1709

ГОСТ

26239.0-84

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. № 2490 срок действия установлен

с 01.01.86 до 01.01.91

Несоблюдение стандарта преследуется по закону

1. Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения (технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца.

2. Общие требования к методам анализа по ГОСТ 26239.0—84 (СТ СЭВ 314—76).

3. Отбор и подготовку проб к анализу проводят по нормативнотехнической документации.

4. Анализируемые пробы и материалы, используемые для приготовления образцов сравнения и стандартных растворов, взвешивают с погрешностью не более 0,0002 г.

5. Для взятия навесок используют аналитические лабораторные весы типа ВЛА-200-М или ВЛР-20Г, технические весы ВПТ-1, торсионные весы ВТ-500 по ГОСТ 13718—68 или аналогичных типов.

6. Для нагревания растворов применяют электрическую плитку с закрытой спиралью по ГОСТ 14919—83.

7. Для приготовления растворов и проведения анализов применяют дистиллированную воду по ГОСТ 6709—72 и реактивы квалификации не ниже ч.д.а., если не указана другая.

8. Для проведения анализа применяют мерную лабораторную посуду не ниже второго класса точности по ГОСТ 20292—74 (бюретки, пипетки) и ГОСТ 1770—74 (цилиндры, мензурки, колбы), а

Издание официальное ★

Перепечатка воспрещена

© Издательство стандартов, 1985

также стеклянную посуду (стаканы, конические колбы и др.) по ГОСТ 25336—82, тигли фарфоровые по ГОСТ 9147—80, тигли кварцевые по ГОСТ 19908—80, воронки стеклянные делительные и конические по ГОСТ 25336—82, бюксы стеклянные по ГОСТ 25336—82, эксикаторы по ГОСТ 25336—82, посуду из стеклоугле-рода марки СУ-2000.

9. Допускается применение другой аппаратуры, материалов, посуды и реактивов, при условии получения метрологических характеристик, не хуже указанных в соответствующих стандартах на методы анализа.

10. В стандартах на методы анализа указаны величины допускаемых расхождений при доверительной вероятности Р = 0,95 или Р = 0,90 для нескольких значений массовых долей. Допускаемые расхождения для промежуточных значений рассчитывают методом линейной интерполяции.

11. Проверку правильности результатов анализа полупроводникового кремния или исходных продуктов для его получения проводят не реже одного раза в месяц и не менее 7V/20 раз в месяц* где N—число проб, проанализированных за месяц, с использованием той же аппаратуры, реактивов и материалов.

12. Правильность результатов анализа контролируют способами, указанными в соответствующих государственных стандартах на методы анализа.

13. Требования безопасности при проведении анализов полупроводникового кремния и исходных продуктов его получения — по нормативно-технической документации. Порядок и виды обучения работников безопасности труда проводят в соответствии с ГОСТ 12.0.004—79.